맞춤기술찾기

이전대상기술

HEMT 수소센서

  • 기술번호 : KST2019022041
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 게이트에 수소를 감지할 수 있는 물질이 담지된 HEMT 수소센서에 관한 기술로서, 기판과, 기판 상부에 적층되는 버퍼층과, 버퍼층 상부에 적층되고 2차원 전자가스 채널을 포함하는 채널 형성층과, 채널 형성층 상부에 적층되어 채널 형성층에 2차원 전자가스 채널이 형성되게 하는 채널 공급층과, 채널 공급층 상부에 적층되는 소스와, 채널 공급층 상부에 적층되는 드레인과, 채널 공급층 상부에 적층되는 게이트와, 게이트 상부에 코팅된 수소검출층을 포함한다.
Int. CL G01N 27/414 (2006.01.01)
CPC G01N 27/4141(2013.01)
출원번호/일자 1020170172329 (2017.12.14)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1974983-0000 (2019.04.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190507) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.14)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한혁수 서울특별시 용산구
2 정영규 경기도 화성
3 이창우 서울특별시 강남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-1248115-15
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-1254734-42
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0020283-40
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0787933-35
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0050896-46
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0050936-85
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0193789-70
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0384131-37
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2019.04.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0384150-05
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2019.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0293528-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판과;상기 기판 상부에 적층되는 버퍼층과;상기 버퍼층 상부에 적층되고 2차원 전자가스(two-dimensional electron gas) 채널을 포함하는 채널 형성층과;상기 채널 형성층 상부에 적층되어 상기 채널 형성층에 상기 2차원 전자가스 채널이 형성되게 하는 채널 공급층과;상기 채널 공급층 상부에 적층되는 소스와;상기 채널 공급층 상부에 적층되는 드레인과;상기 채널 공급층 상부에 적층되는 게이트와;상기 게이트 상부에 코팅된 수소검출층을 포함하고,상기 수소검출층은 환원그래핀산화물이며,상기 환원그래핀산화물은 상기 게이트와의 전기전도도 향상을 위해, 랭뮤어 블로드젯(Langmuir-Blodgett) 방식을 이용하여 단원자층으로 코팅되고,상기 환원그래핀산화물은 수소 가스의 흡착력을 향상시키기 위해 Co, V 중에서 선택된 적어도 하나 내지는 둘의 전이금속이 도핑되며,상기 전이금속은 상기 게이트와 마주보는 영역에 도핑되고, 상기 게이트와 대향되는 면에는 도핑되지 않아, 상기 환원그래핀산화물이 수소분자 이외의 물질은 상기 전이금속으로 접근할 수 없게 여과막 기능을 하는 것을 특징으로 하는 HEMT 수소센서
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 환원그래핀산화물은 전기전도성 향상 및 상기 전이금속의 도핑 사이트 형성을 위해 질소가 도핑되는 것을 특징으로 하는 HEMT 수소센서
7 7
제6항에 있어서,상기 전이금속 및 상기 질소는 원팟(one-pot) 도핑되는 것을 특징으로 하는 HEMT 수소센서
8 8
제1항에 있어서,상기 환원그래핀산화물은 비표면적 향상을 위해 동결 건조되는 것을 특징으로 하는 HEMT 수소센서
9 9
제1항에 있어서,상기 HEMT 수소센서는 표면의 손상 방지를 위해 패시베이션(passivation) 처리 된 것을 특징으로 하는 HEMT 수소센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 청정생산시스템기술 연구개발사업 수소에너지 산업 대응을 위한 수소제조용 다공성 3D 나노구조체 촉매 및 고감도 수소감지 스마트 세라믹 센서 원천기술 개발