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다층구조의 기능성 패턴 형성 방법.

  • 기술번호 : KST2019022064
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 다층구조의 기능성 패턴 형성 방법이 제공된다. 상기 다층구조의 기능성 패턴 형성 방법은, 마스터 기판을 준비하는 단계, 상기 마스터 기판 상에 연성 물질을 제공하는 단계, 상기 연성 물질을 상기 마스터 기판으로부터 분리하여, 베이스 패턴을 포함하는 베이스 기판을 제조하는 단계, 상기 베이스 패턴 상에 제1 기능성 물질을 제공하는 단계, 상기 제1 기능성 물질 상에, 상기 제1 기능성 물질과 다른 특성을 갖는 제2 기능성 물질을 제공하는 단계, 및 상기 제1 및 제2 기능성 물질이 제공된 상기 베이스 기판을 타겟 기판과 접촉시켜, 상기 제1 및 제2 기능성 물질을 동시에 상기 타겟 기판 상에 전사하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020170175758 (2017.12.20)
출원인 한국세라믹기술원, 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1989600-0000 (2019.06.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190930) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박운익 경상남도 진주시 소호로 *
2 조정호 경기도 수원시 장안구
3 홍연우 대구광역시 수성구
4 정영훈 경상남도 진주시 초북로 **, *
5 최영중 경상남도 진주시 소호로 *
6 박태완 경상남도 진주시 소호로 *
7 정연식 대전광역시 유성구
8 한혁진 대전광역시 유성구
9 한유진 대전광역시 유성구
10 조승희 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 ** *동 ***호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
2 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-1269227-56
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-1287118-00
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.06.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.09.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0145034-03
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0832785-19
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0118434-49
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.02.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0118435-95
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
9 등록결정서
Decision to grant		 2019.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0411412-32
10 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
 2019.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5025949-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 기판의 베이스 패턴 상에 제1 기능성 물질을 제공하는 단계; 상기 베이스 패턴의 제1 영역을 노출시키고, 상기 제1 영역을 제외한 나머지 영역을 덮는 제1 쉐도우 마스크를 상기 베이스 기판 상에 배치하는 단계;노출된 상기 제1 영역 상의 상기 제1 기능성 물질 상에 제2 기능성 물질을 제공하는 단계; 상기 제1 쉐도우 마스크를 제거하는 단계;상기 제1 영역과 다른 상기 베이스 패턴의 제2 영역을 노출시키고, 상기 제2 영역을 제외한 나머지 영역을 덮는 제2 쉐도우 마스크를 상기 베이스 기판 상에 배치하는 단계; 노출된 상기 제2 영역 상의 상기 제1 기능성 물질 상에 제3 기능성 물질을 제공하는 단계; 및상기 베이스 기판으로부터 상기 제2 쉐도우 마스크를 제거하는 단계상기 제1 내지 제3 기능성 물질이 제공된 상기 베이스 기판을 타겟 기판과 접촉시켜, 상기 제1 내지 제3 기능성 물질을 동시에 상기 타겟 기판 상에 전사하는 단계를 포함하는 다층구조의 기능성 패턴 형성 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 베이스 기판을 준비하는 단계를 더 포함하되,상기 베이스 기판을 준비하는 단계는, 마스터 패턴이 형성된 마스터 기판을 준비하는 단계; 상기 마스터 기판 상에 연성 물질을 제공하는 단계; 및상기 연성 물질을 상기 마스터 기판으로부터 분리하여, 상기 마스터 패턴의 역상을 갖는 상기 베이스 패턴을 포함하는 상기 베이스 기판을 제조하는 단계를 포함하는 다층구조의 기능성 패턴 형성 방법
3 3
제1 항에 있어서, 상기 제2 기능성 물질은, 상기 제1 영역 상의 상기 제1 기능성 물질 상에 한정적으로 제공되고, 상기 제3 기능성 물질은, 상기 제2 영역 상의 제1 기능성 물질 상에 한정적으로 제공되는 것을 포함하는 다층구조의 기능성 패턴 형성 방법
4 4
제1 항에 있어서,상기 제2 쉐도우 마스크는, 제1 부분, 및 상기 제1 부분보다 두께가 두꺼운 제2 부분을 포함하고, 상기 제1 부분은 상기 제1 영역을 덮고, 상기 제2 부분은 상기 제1 영역을 제외한 영역을 덮는 것을 포함하는 다층구조의 기능성 패턴 형성 방법
5 5
제4 항에 있어서,상기 제1 부분과 상기 제2 부분의 두께의 차이는, 상기 제1 및 제2 기능성 물질의 두께의 합과 같은 것을 포함하는 다층구조의 기능성 패턴 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주) 신우전자 산업핵심기술개발사업 다공성 전극과 고전도성 전해질을 이용한 초소형 전기화학 가스센서 및 계측전송 기술개발
2 한국세라믹기술원 한국세라믹기술원 정책연구사업 멀티기능성 웨어러블 첨단센서용 패턴전사 기술개발
3 한국과학기술원 미래창조과학부 원천기술개발사업 레이저-소재 상호작용 기반 디스플레이 핵심소재 개발