요약 | 본 개시는 광가교제 화합물로서, 양 말단이 아지드기로 치환된 알킬 화합물인 광가교제 화합물을 제공한다. |
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Int. CL | G03F 7/008 (2006.01.01) G03F 7/027 (2006.01.01) G03F 7/004 (2006.01.01) |
CPC | G03F 7/008(2013.01) G03F 7/008(2013.01) G03F 7/008(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020170058553 (2017.05.11) |
출원인 | 전자부품연구원 |
등록번호/일자 | 10-1903889-0000 (2018.09.21) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20181002) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2017.05.11) |
심사청구항수 | 6 |