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히터전극패턴에 전압을 인가하여 발열시키는 단계;상기 히터전극패턴에 인접하여 배치된 온도센서패턴의 저항값의 변화를 센싱하는 단계; 및상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량에 대응되는 상기 히터전극패턴의 소비전력의 변화량이 보상되도록 상기 히터전극패턴에 가해지는 전압을 조절하는 단계;를 포함하는 마이크로 가스센서의 캘리브레이션 방법
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청구항 1에 있어서,상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량에 대응되는 상기 히터전극패턴의 소비전력의 변화량이 보상되도록 상기 히터전극패턴에 가해지는 전압을 조절하는 단계는,상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량이 증가하는 방향으로 변화된 경우, 상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량에 대응되는 소비전력의 증가량에 대한 전압의 증가분만큼 상기 히터전극패턴에 가해지는 전압을 감소시켜 상기 히터전극패턴에 인가하고, 상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량이 감소하는 방향으로 변화된 경우, 상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량에 대응되는 소비전력의 감소량에 대한 전압의 감소분만큼 상기 히터전극패턴에 가해지는 전압을 증가시켜 상기 히터전극패턴에 인가하는 단계를 더 포함하는 마이크로 가스센서의 캘리브레이션 방법
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청구항 1에 있어서상기 히터전극패턴에 인접하여 배치된 온도센서패턴의 저항값의 변화를 센싱하는 단계는,상기 히터전극패턴의 발열온도가 변화됨에 따라, 상기 온도센서패턴의 저항값이 변화되는 단계;상기 온도센서패턴이 상기 히터전극패턴의 발열온도가 변화되기 전의 온도센서패턴의 저항값과 상기 히터전극패턴의 발열온도가 변화된 후 상기 온도센서패턴의 저항값의 차를 그 변화량으로 센싱하는 단계; 및상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량이 양(+)의 값인지 (-)의 값인지 판단하는 단계;를 포함하고,상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량에 대응되는 상기 히터전극패턴의 소비전력의 변화량이 보상되도록 상기 히터전극패턴에 가해지는 전압을 조절하는 단계는,상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량이 양(+)인 경우에는, 그 대응되는 소비전력의 변화량에 대응되는 전압의 변화량 만큼 상기 히터전극패턴에 가해지는 전압을 감소시켜 상기 히터전극패턴에 인가하고, 상기 온도센서패턴의 저항값의 변화량이 음(-)인 경우에는, 그 대응되는 소비전력의 변화량에 대응되는 전압의 변화량 만큼 상기 히터전극패턴에 가해지는 전압을 증가시켜 상기 히터전극패턴에 인가하는 단계;를 더 포함하는 마이크로 가스센서의 캘리브레이션 방법
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