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통합 센서의 제조 방법 및 이를 이용한 통합 센서

  • 기술번호 : KST2019022318
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 통합 센서의 제조 방법은, 기판 상의 습도 센서가 형성될 영역에 금속 또는 전도성 유기 재료로 하부 전극을 형성하는 단계; 상기 하부 전극 상에 감습 유전층을 형성하는 단계; 상기 하부 전극 및 감습 유전층을 포함한 영역 및 상기 기판 상의 온도 센서가 형성될 영역에 제1 도전층을 형성하는 단계; 상기 제1 도전층 상부에 제2 도전층을 형성하는 단계; 상기 감습 유전층 상부 영역 및 상기 온도 센서가 형성될 영역을 제외한 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 제거하여 습도 센서의 상부 전극 및 온도 센서의 제1 전극을 형성하는 단계; 및 상기 온도 센서의 감온 저항 패턴을 형성하는 상기 제1 도전층 상부의 상기 제2 도전층을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL G01N 27/22 (2006.01.01) G01K 7/16 (2006.01.01)
CPC G01N 27/223(2013.01) G01N 27/223(2013.01)
출원번호/일자 1020170134540 (2017.10.17)
출원인 인창전자주식회사, 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1830304-0000 (2018.02.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.10.17)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인창전자주식회사 대한민국 경기 안양시 만안구
2 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유정훈 서울특별시 서초구
2 이진민 서울특별시 성북구
3 홍성민 경기도 용인시 수지구
4 김원효 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인창전자주식회사 경기 안양시 만안구
2 한국전자기술연구원 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-1021059-33
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2017.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-1033055-87
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2017.10.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2017.10.24 수리 (Accepted) 9-1-2017-0035573-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0841856-39
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0027823-50
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2018-0027779-38
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2018.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0037635-09
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0063286-75
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.01.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0063321-86
11 등록결정서
Decision to grant
2018.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0076572-79
12 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0124517-92
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상의 습도 센서가 형성될 영역에 금속 또는 전도성 유기 재료로 하부 전극을 형성하는 단계;상기 하부 전극 상에 감습 유전층을 형성하는 단계;상기 하부 전극 및 감습 유전층을 포함한 영역 및 상기 기판 상의 온도 센서가 형성될 영역에 제1 도전층을 형성하는 단계;상기 제1 도전층 상부에 제2 도전층을 형성하는 단계;상기 감습 유전층 상부 영역 및 상기 온도 센서가 형성될 영역을 제외한 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 제거하여 습도 센서의 상부 전극 및 온도 센서의 제1 전극을 형성하는 단계; 및상기 온도 센서의 감온 저항 패턴을 형성하는 상기 제1 도전층 상부의 상기 제2 도전층을 제거하는 단계를 포함하고,상기 상부 전극은, 상기 감습 유전층 상에 형성된 제1 도전층 및 상기 제1 도전층 상에 형성된 제2 도전층을 포함하되,상기 제1 도전층은 상기 감온 저항 패턴과 동일한 재질을 사용하고,상기 제2 도전층을 제거할 시 제1 도전층이 동시에 제거되지 않도록 상기 제1 도전층과 상기 제2 도전층의 재질을 달리 사용하고,상기 제1 도전층은 니크롬(NiCr)이고,상기 제2 도전층은 골드(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 황동 중 적어도 하나 이상이고,상기 기판과 상기 하부 전극 사이에 상기 기판 상의 전체 영역에 형성된 기저 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 센서의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 하부 전극과 상기 감습 유전층 사이에 절연층을 형성하는 단계를 더 포함하는 통합 센서의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 도전층은 감온 저항 특성을 가지는 금속을 스퍼터링하여 형성하는 것을 특징으로 하는 통합 센서의 제조 방법
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삭제
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기판 상의 습도 센서 배치 영역에 금속 또는 전도성 유기 재료로 형성된 하부 전극;상기 기판의 온도 센서 배치 영역 및 상기 하부 전극 상에 형성된 절연층;상기 기판의 습도 센서 배치 영역의 상기 하부 전극 상부의 절연층 상에 형성된 감습 유전층;상기 감습 유전층 상에 형성된 상부 전극;상기 기판의 온도 센서 배치 영역의 절연층 상에 형성된 감온 저항 패턴을 포함하고,상기 상부 전극은, 상기 감습 유전층 상에 형성된 제1 도전층 및 상기 제1 도전층 상에 형성된 제2 도전층을 포함하되,상기 제1 도전층은 상기 감온 저항 패턴과 동일한 재질을 사용하고,상기 제2 도전층을 제거할 시 제1 도전층이 동시에 제거되지 않도록 상기 제1 도전층과 상기 제2 도전층의 재질을 달리 사용하고,상기 제1 도전층은 니크롬(NiCr)이고,상기 제2 도전층은 골드(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 황동 중 적어도 하나 이상이고,상기 기판과 상기 하부 전극 사이에 상기 기판 상의 전체 영역에 형성된 기저 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통합 센서
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삭제
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삭제
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제5항에 있어서,상기 상부 전극에는 습기를 머금은 공기가 상기 감습 유전층에 접할 수 있도록 소정의 투공 패턴이 형성된 통합 센서
9 9
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 인창전자 주식회사 2016년 R&D재발견프로젝트 시행계획 공고(2차) 사용자 편의의 임베디드형 온/습도 복합센서 기술 개발