| 1 |
1
고효율 비확산 게터(non-evaporable getter)의 제조방법에 있어서,i) 비확산 게터의 구조를 설계하는 단계;ii) 금속분말을 준비하는 단계;iii) 3D 프린팅에 의해 상기 금속분말을 상기 i) 단계에서 설계한 구조로 성형하여 3차원 형상의 비확산 게터를 제조하는 단계; 를 포함하고, 상기 i) 단계의 비확산 게터의 구조는 3차원 다공성 구조이고,상기 iii) 단계의 3D 프린팅 공정 중 조사되는 에너지빔에 의해 상기 금속분말이 정련되어 상기 금속분말 대비 상기 비확산 게터의 순도가 향상되고,상기 고효율 비확산 게터는 표면에 미세 조도가 형성되는 것을 특징으로 하는 고효율 비확산 게터의 제조방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 3D 프린팅에 의해 제조되는 고효율 비확산 게터의 산소함량은 상기 금속분말의 산소함량 대비 20% 이상 감소되는 것을 특징으로 하는 고효율 비확산 게터의 제조방법
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서,상기 iii) 단계는 직접 금속 레이저 소결(direct metal laser sintering), 전자빔 용해(electron beam melting), 선택적 레이저 용해(selective laser melting), 선택적 레이저 소결(selective laser sintering), 직접 금속 적층(direct metal deposition), 레이저 직접 금속 적층(laser-aided direct metal deposition)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나의 3D 프린팅 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 고효율 비확산 게터의 제조방법
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서,상기 iii) 단계는,iii-1) 3D 프린팅 장치의 작업대에 상기 금속분말을 도포하여 소정의 두께로 분말 베드를 형성하는 단계;iii)-2) 상기 분말 베드에 선택적으로 전자빔을 조사하여 상기 금속분말을 용융시키는 단계;iii-3) 상기 작업대를 상기 분말 베드의 두께만큼 하강시키는 단계; 를 포함하고,상기 iii-1) 단계 내지 상기 iii-3) 단계를 반복하여 3차원 형상의 비확산 게터를 제조하는 것을 특징으로 하는 고효율 비확산 게터의 제조방법
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서,상기 iii) 단계는, iii-a) 금속판에 선택적으로 레이저빔을 조사하여 용융 풀(molten pool)을 형성하는 단계; iii-b) 상기 용융 풀 내로 상기 금속분말을 공급하고 완전히 용융시켜 용융체를 형성하는 단계;iii-c) 상기 용융체를 응고시켜 2차원 금속층을 제조하는 단계; 를 포함하고, 상기 iii-a) 단계 내지 상기 iii-c) 단계를 반복하여 2차원 금속층을 적층함으로써 3차원 형상의 비확산 게터를 제조하는 것을 특징으로 하는 고효율 비확산 게터의 제조방법
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서,상기 금속분말은 티타늄, 티타늄계 합금, 지르코늄 및 지르코늄계 합금으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 고효율 비확산 게터의 제조방법
|
| 8 |
8
청구항 1에 따른 고효율 비확산 게터의 제조방법으로 제조되는 비확산 게터
|
| 9 |
9
청구항 8에 있어서, 상기 비확산 게터는 수소, 산소, 질소 및 탄화가스에 대해 흡착 특성을 가지는 금속을 포함하며, 상기 금속은 티타늄, 티타늄계 합금, 지르코늄 및 지르코늄계 합금으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 비확산 게터
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
청구항 8에 따른 고효율 비확산 게터를 구비하는 진공관
|
