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고평탄 구리도금막 형성을 위한 전해 구리 도금용 유기첨가제 및 이를 포함하는 전해구리 도금액

  • 기술번호 : KST2019022370
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 관점에 따른 전해 구리 도금용 유기첨가제는. 패턴이 형성된 기판 상에 전해 도금 방식으로 구리막을 형성하기 위한 구리 도금액에 첨가되는 것으로서, 상기 패턴 상에 형성되는 상기 구리막의 균일도 및 평탄도를 높이기 위해 적어도 2종의 평탄제를 포함한다.
Int. CL C25D 3/38 (2006.01.01) C25D 5/02 (2006.01.01)
CPC C25D 3/38(2013.01) C25D 3/38(2013.01)
출원번호/일자 1020160032872 (2016.03.18)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1733141-0000 (2017.04.27)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170508) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.03.18)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이민형 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 이운영 대한민국 인천광역시 연수구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2016-0263664-97
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0314113-37
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0759275-20
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.12.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1197557-51
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-1197559-42
6 등록결정서
Decision to grant		 2017.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0282963-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
패턴이 형성된 기판 상에 전해 도금 방식으로 구리막을 형성하기 위한 구리 도금액에 첨가되는 것으로서,상기 패턴 상에 형성되는 상기 구리막의 균일도 및 평탄도를 높이기 위해 적어도 2종의 평탄제를 포함하고, 상기 평탄제는,상기 구리막의 표면을 볼록하게 만드는 제 1 평탄제; 및상기 구리막의 표면을 오목하게 만드는 제 2 평탄제를 포함하고,무게백분율(wt%) 기준으로 상기 구리 도금액 내에서 상기 제 1 평탄제의 농도는 상기 제 2 평탄제의 농도보다 높으며,상기 제 1 평탄제는 하기의 화학식 1로 표현되는 구조를 가진 화합물을 포함하고,상기 제 2 평탄제는 하기의 화학식 2로 표현되는 구조를 가진 화합물을 포함하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제:003c#화학식 1003e#(A는 에테르 작용기, 에스테르 작용기 및 카르보닐 작용기 중 하나 이상을 포함하고,T1 과 T2는 단독으로 수소를 포함하거나, 에테르 작용기를 포함하는 1개 내지 10개 사이의 탄소를 갖는 선형 구조의 알킬이거나, 또는 에테르 작용기를 포함하는 5개 내지 20개 사이의 탄소를 갖는 가지형 구조의 알킬이고,T3과 T4는 단독으로 수소를 포함하거나, 1개 내지 10개 사이의 탄소를 갖는 선형 구조의 알킬이거나, 또는 5개 내지 20개 사이의 탄소를 갖는 가지형 구조의 알킬이고,m과 n의 합은 1내지 50까지의 정수이고,o는 1내지 100까지의 정수이고,X는 염소(Cl), 브롬(Br), 요오드(I), 질산염(NO3), 황산염(SO4), 탄산염(CO3) 및 수산기(OH)로 이루어진 이온 군 중 하나 이상을 포함함),003c#화학식 2003e#(R1은 단독으로 수소를 포함하거나, 또는 1개 내지 10개 사이의 탄소를 갖는 선형 구조의 알킬이거나, 또는 5개 내지 20개 사이의 탄소를 갖는 가지형 구조의 알킬이고,R2는 글리시독시프로필트리메톡실란, 부틸 메타아크릴레이트, 에틸 메타아크릴레이트, 글리시딜 메타아크릴레이트, 글리시딜 아크릴레이트, 글리시딜 에스테르, 글리시딜 아민, 글리시돌로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하고, R3와 R4는 하나 또는 두 개의 헤테로 원자(질소, 산소, 황, 인 등)를 포함하는 불포화 헤테로 고리 화합물로 아지린, 옥시린, 티이린, 디아지린, 아제트, 옥세트, 티에트, 디옥트, 다이티에트, 피롤, 퓨란, 티오펜, 포스폴, 이미다졸, 피라졸, 옥소졸, 이소옥사졸, 티아졸, 이소티아졸, 피리딘, 피란, 티오피란, 포스피닌, 디아진, 옥사진, 티아진, 디옥신, 다이티인, 아제핀, 옥세핀, 티데핀, 디아제핀, 티아제핀 및 아조신으로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하고,q와 r의 합은 1 내지 300까지의 정수이고,X는 염소(Cl), 브롬(Br), 요오드(I), 질산염(NO3), 황산염(SO4), 탄산염(CO3) 및 수산기(OH)로 이루어진 이온 군 중 하나 이상을 포함함)
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 평탄제에 대한 상기 제 1 평탄제의 농도비는 무게백분율(wt%) 기준으로 4
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 평탄제에서, A는 N-니트로소메탄아민, N'-하이드록시이미도포름아미드, (하이드록시니트릴리오)메탄나이드암모니에이트, 우레아, 디아제닐메탄올 또는 3-디아지리디놀 중의 하나이고, T1은 단독으로 수소를 포함하고, T2는 에테르 작용기가 포함된 6개의 탄소를 갖는 가지형구조의 알킬이고, m과 n의 합은 5 내지 10의 정수이고, o는 2 내지 30의 정수이고, X는 할로겐 이온 중에 하나인, 전해 구리 도금용 유기첨가제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 평탄제는 100 g/mol 내지 500,000 g/mol 범위의 분자량을 갖는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서,상기 제 2 평탄제에서, R1은 3개의 탄소를 갖는 선형 구조의 알킬이고, R2는 부틸 메타아크릴레이트, 에틸 메타아크릴레이트, 또는 글리시딜 메타아크릴레이트 중에 하나이고, R3와 R4는 불포화 헤테로 고리 화합물로 아지린, 피롤, 피라졸, 피리딘, 디아진, 이미다졸 또는 티아진 중에 하나이고, q와 r의 합은 150 내지 250 까지 정수이고, X는 할로겐 이온 중에 하나인, 전해 구리 도금용 유기첨가제
8 8
제 1 항에 있어서,상기 제 2 평탄제는 100 g/mol 내지 500,000 g/mol 범위의 분자량을 갖는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
9 9
제 1 항에 있어서,억제제 및 가속제를 더 포함하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 억제제는, Polyoxyalkylene glycol, Carboxymethylcellulose, N-nonylphenolpoly glycol ether, Octandiobis glycol ether, Oleic acid polyglycol ester, Polyethylene glycol, Polyethylene glycol dimethyl ether, Poly(ethylene glycol)-block-poly(propylene glycol)-block-poly(ethylene glycol), Polypropylene glycol, Poly vinyl alcohol, Stearyl alcoholpolyglycol ether, Stearic acidpolyglycol ester, 3-Methyl-l-butyne-3-ol, 3-Methyl-pentene-3-ol, L-ethynylcyclohexanol, phenyl-propynol, 3-Phenyl-l-butyne-3-ol, Propargyl alcohol, Methyl butynol-ethylene oxide, 2-Methyl-4-chloro-3-butyne-2-ol, Dimethyl hexynediol, Dimethylhexynediol-ethylene oxide, Dimethyloctynediol, Phenylbutynol, 및 1,4-Butandiol Diglycidyl Ether로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
11 11
제 9 항에 있어서, 상기 가속제는, (O-Ethyldithiocarbonato)-S-(3-sulfopropyl)-ester, 3-[(Amino-iminomethyl)-thiol]-1-propanesulfonic acid, 3-(Benzothiazolyl-2-mercapto)-propyl-sulfonic acid, sodium bis-(sulfopropyl)-disulfide, N,N-Dimethyl-dithiocarbamyl propyl sulfonic acid, 3,3-Thiobis(1-propanesulfonic acid), 2-Hydroxy-3-[tris(hydroxymethyl) methylamino]-1-propanesulfonic acid, sodium 2,3-dimercaptopropanesulfonate, 3-Mercapto-1-propanesulfonic acid, N,N-Bis(4-sulfobutyl)-3,5-dimethylaniline, sodium 2-Mercapto-5-benzimidazolesulfonic acid, 5,5′-Dithiobis(2-nitrobenzoic acid), DL-Cysteine, 4-Mercapto-Benzenesulfonic acid, 및 5-Mercapto-1H-tetrazole-1-methanesulfonic acid로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
12 12
제 9 항에 있어서, 상기 가속제 및 상기 억제제는 100 g/mol 내지 100,000 g/mol 범위의 분자량을 각각 갖는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
13 13
구리 이온을 함유하는 전해질; 및상기 전해질에 첨가되는 제 9 항에 따른 유기첨가제를 포함하는, 전해 구리 도금액
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 제 1 평탄제는 상기 도금액 1 리터당 0
15 15
제 13 항에 있어서,상기 제 2 평탄제는 상기 도금액 1 리터당 0
16 16
제 13 항에 있어서, 상기 억제제 및 상기 가속제는 상기 도금액 1 리터당 0
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4 WO2017159965 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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3 JP2020063517 JP 일본 DOCDBFAMILY
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