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1
패턴이 형성된 기판 상에 전해 도금 방식으로 구리막을 형성하기 위한 구리 도금액에 첨가되는 것으로서,상기 패턴 상에 형성되는 상기 구리막의 균일도 및 평탄도를 높이기 위해 적어도 2종의 평탄제를 포함하며, 상기 2종의 평탄제는 상기 구리막의 표면을 볼록하게 만드는 아래의 화학식 1의 구조를 갖는 제 1 평탄제; 및상기 구리막의 표면을 오목하게 만드는 아래의 화학식 2의 구조를 갖는 제 2 평탄제를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
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2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 화학식 1의 구조를 갖는 제 1 평탄제는 50,000 g/mol 내지 700,000 g/mol 범위의 분자량을 갖는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
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3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 화학식 2의 구조를 갖는 제 2 평탄제는 100 g/mol 내지 500,000 g/mol 범위의 분자량을 갖는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
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4 |
4
제 1 항에 있어서, 상기 화학식 1의 구조를 갖는 제 1 평탄제 및 상기 화학식 2의 구조를 갖는 제 2 평탄제는 전해 구리 도금액 1 리터당 0
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5 |
5
제 1 항 내지 제 4 항의 어느 한 항에 있어서,억제제 및 가속제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
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6 |
6
제 5 항에 있어서, 상기 억제제는, 폴리옥시알킬렌 글리콜, 카복시메틸셀룰로스, N-노닐페놀 폴리글리콜 에테르, 옥탄디올 비스 글리콜 에테르, 올레산 폴리 글리콜 에스테르, 폴리에틸렌 글리콜, 폴리에틸렌 글리콜 디메틸 에테르, 폴리에틸렌 글리콜-블록-폴리프로필렌 글리콜-블록-폴리에틸렌 글리콜, 폴리프로필렌 글리콜, 폴리비닐 알코올, 스테아릴 알코올 폴리글리콜 에테르, 스테아린산 폴리 글리콜 에스테르, 3-메틸-1-뷰타인-3-올, 3-메틸-펜텐-3-올, L-에틴닐사이클로헥사놀, 페닐 프로피놀, 3- 페닐-1-뷰타인-3-올, 프로파길 알코올, 메틸 뷰타이놀-에틸렌 옥사이드, 2-메틸-4-클로로-3-뷰타인-2-올, 디메틸 헥사인디올, 디메틸헥사인디올-에틸렌 옥사이드, 디메틸옥타인디올, 페닐뷰타이놀 및 1,4-부탄디올 디글리시딜 에테르로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
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7
제 5 항에 있어서, 상기 가속제는, (O-에틸디티오카보네이토)-S-(3-설포프로필)-에스테르, 3 - [(아미노-이미노메틸)-티올]-1-프로판 술폰산, 3-(벤조티아졸-2-머캅토)-프로필 술폰산, 소디움 비스-(술포프로필)-디설파이드, N, N-디메틸 디티오카바마일 프로필 술폰산, 3,3-티오비스(1-프로판 술폰산), 2-히드록시-3-[트리스(히드록시메틸)메틸아미노]-1-프로판 술폰산, 소디움 2,3-디머캡토프로판 술폰산, 3-머캅토 -1-프로판 설폰산, N,N-비스(4-설포부틸)-3,5-디메틸아닐린, 소디움 2-머캅토-5- 벤지이미다졸 술폰산, 5,5'-디티오비스(2-니트로 벤조산), DL-시스테인, 4-머캅토-벤젠 설폰산 및 5-머캅토-1H-테트라졸-1-메탄 술폰산으로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
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8
제 5 항에 있어서, 상기 가속제 및 상기 억제제는 100 g/mol 내지 100,000 g/mol 범위의 분자량을 각각 갖는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금용 유기첨가제
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9
제 5 항에 있어서, 상기 가속제 및 상기 억제제는 전해 구리 도금액 1 리터당 0
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구리 이온을 함유하는 전해질; 및상기 전해질에 첨가되는 전해 구리 도금용 유기첨가제를 포함하고,상기 전해 구리 도금용 유기첨가제는 패턴이 형성된 기판 상에 형성되는 구리막의 균일도 및 평탄도를 높이기 위해, 가속제, 억제제 및 적어도 2종의 평탄제를 포함하며, 상기 2종의 평탄제는 상기 구리막의 표면을 볼록하게 만드는 아래의 화학식 1의 구조를 갖는 제 1 평탄제; 및상기 구리막의 표면을 오목하게 만드는 아래의 화학식 2의 구조를 갖는 제 2 평탄제를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금액
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11
제 10 항에 있어서, 상기 제 1 평탄제의 분자량 범위는 50,000 g/mol 내지 700,000 g/mol이고, 상기 전해 구리 도금액 1 리터당 0
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12
제 10 항에 있어서,상기 제 2 평탄제는 100 g/mol 내지 500,000 g/mol 범위의 분자량을 갖고, 상기 도금액 1 리터당 0
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13
제 10 항에 있어서, 상기 억제제는, 폴리옥시알킬렌 글리콜, 카복시메틸셀룰로스, N-노닐페놀 폴리글리콜 에테르, 옥탄디올 비스 글리콜 에테르, 올레산 폴리 글리콜 에스테르, 폴리에틸렌 글리콜, 폴리에틸렌 글리콜 디메틸 에테르, 폴리에틸렌 글리콜-블록-폴리프로필렌 글리콜-블록-폴리에틸렌 글리콜, 폴리프로필렌 글리콜, 폴리비닐 알코올, 스테아릴 알코올 폴리글리콜 에테르, 스테아린산 폴리 글리콜 에스테르, 3-메틸-1-뷰타인-3-올, 3-메틸-펜텐-3-올, L-에틴닐사이클로헥사놀, 페닐 프로피놀, 3- 페닐-1-뷰타인-3-올, 프로파길 알코올, 메틸 뷰타이놀-에틸렌 옥사이드, 2-메틸-4-클로로-뷰타인-2-올, 디메틸 헥사인디올, 디메틸헥사인디올-에틸렌 옥사이드, 디메틸옥타인디올, 페닐뷰타이놀 및 1,4-부탄디올 디글리시딜 에테르로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전해구리 도금액
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제 10 항 에 있어서, 상기 가속제는, (O-에틸디티오카보네이토)-S-(3-설포프로필)-에스테르, 3 - [(아미노-이미노메틸)-티올]-1-프로판 술폰산, 3-(벤조티아졸-2-머캅토)-프로필 술폰산, 소디움 비스-(술포프로필)-디설파이드, N, N-디메틸 디티오카바마일 프로필 술폰산, 3,3-티오비스(1-프로판 술폰산), 2-히드록시-3-[트리스(히드록시메틸)메틸아미노]-1-프로판 술폰산, 소디움 2,3-디머캡토프로판 술폰산, 3-머캅토 -1-프로판 설폰산, N,N-비스(4-설포부틸)-3,5-디메틸아닐린, 소디움 2-머캅토-5- 벤지이미다졸 술폰산, 5,5'-디티오비스(2-니트로 벤조산), DL-시스테인, 4-머캅토-벤젠 설폰산 및 5-머캅토-1H-테트라졸-1-메탄 술폰산으로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 전해 구리 도금액
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제 10 항에 있어서, 상기 억제제 및 상기 가속제는 100 g/mol 내지 100,000 g/mol 범위의 분자량을 각각 갖고, 상기 도금액 1 리터당 0
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