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유기물 패턴의 형성 방법 및 이를 포함한 유기발광 디스플레이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019022466
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유기물 패턴의 형성 방법에 관한 것으로, 베이스기판과 베이스기판 상에 형성된 광열변환층 및 광열변환층 위에 형성되며 표면에 목적이 되는 유기물 패턴 형상에 대응되는 요홈 패턴이 형성된 패턴층으로 구성된 도너기판을 제작하는 도너기판 준비 단계; 상기 패턴층의 요홈 패턴에만 유기물 패턴을 구성하는 유기물질을 주입하는 유기물질 주입 단계; 및 유기물질이 주입된 패턴층에 타겟 기판을 접촉 시키고, 상기 타겟 기판의 반대편에서 상기 광열변환층에 빛을 조사함으로써 상기 패턴층에 주입된 유기물질이 타겟 기판으로 전사되는 유기물질 전사 단계를 포함하여 구성되며, 상기 유기물질 전사 단계는 빛이 조사된 광열변환층에서 발생된 열이 패턴층에 주입된 유기물질을 가열하여 수행되는 것을 특징으로 한다.본 발명은, 도너기판에 유기물 패턴에 대응되는 요홈 패턴을 형성하고 요홈 패턴에만 유기물질을 주입한 뒤에 이를 전사함으로써, 전면에 형성된 유기층의 일부만을 전사하기 위한 격벽층이나 광반사층을 불필요한 간단한 구조의 도너기판으로 전사 공정을 수행할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01) H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020160118138 (2016.09.13)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1797959-0000 (2017.11.09)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.09.13)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조관현 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 강경태 대한민국 서울특별시 서초구
3 이상호 대한민국 서울특별시 동작구
4 강희석 대한민국 서울특별시 강남구
5 황준영 대한민국 경기도 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.09.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0895565-76
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0589564-67
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.09.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0893020-04
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0893025-21
5 등록결정서
Decision to grant
2017.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0770331-38
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
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베이스기판과 베이스기판 상에 형성된 광열변환층 및 광열변환층 위에 형성되며 표면에 목적이 되는 유기물 패턴 형상에 대응되는 요홈 패턴이 형성된 패턴층으로 구성된 도너기판을 제작하는 도너기판 준비 단계;상기 패턴층의 요홈 패턴에만 유기물 패턴을 구성하는 유기물질을 주입하는 유기물질 주입 단계; 및유기물질이 주입된 패턴층에 타겟 기판을 접촉 시키고, 상기 타겟 기판의 반대편에서 상기 광열변환층에 빛을 조사함으로써 상기 패턴층에 주입된 유기물질이 타겟 기판으로 전사되는 유기물질 전사 단계를 포함하여 구성되며,상기 유기물질 전사 단계는 빛이 조사된 광열변환층에서 발생된 열이 패턴층에 주입된 유기물질을 가열하여 수행되는 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 유기물질 주입 단계는, 액체 상태의 유기물질을 패턴층의 표면에 적하하여 모세관 현상에 의해서 상기 패턴층의 요홈에 유기물질을 주입하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 유기물질 전사 단계에서 광열변환층에 빛을 조사하기 위한 광원이 플래시 램프, 텅스텐 할로겐 램프 및 레이저 빔 중에 하나인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 베이스기판은 광원에서 조사된 빛이 상기 광열변환층에 도달할 수 있는 광투과성 재질인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
5 5
청구항 4에 있어서,상기 베이스기판이 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리에폭시, 폴리에틸렌, 폴리스티렌, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 중에 하나 이상을 포함하는 합성수지 기판과 유리 기판 및 석영 기판 중에 하나인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 패턴층이 산화알루미늄(Al2O3), 실리콘옥사이드(SiO2) 및 질화 실리콘(SiNx) 중 선택된 하나의 재질로 구성된 단층 구조인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 패턴층이 산화알루미늄(Al2O3), 실리콘옥사이드(SiO2) 및 질화 실리콘(SiNx) 중 선택된 하나 이상의 재질로 구성된 다층 구조인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
8 8
청구항 1에 있어서,상기 패턴층의 요홈 패턴이 드라이에칭 공정을 형성된 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
9 9
청구항 1에 있어서,상기 광열변환층이 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 및 이들 중 하나 이상의 금속을 포함하는 합금 중에 하나의 재질로 구성된 단일층인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 광열변환층이 제1금속층과 산화물층 및 제2금속층이 순차로 적층된 구조이고,상기 제1금속층과 제2금속층은 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W) 및 이들 중 하나 이상의 금속을 포함하는 합금 중에 하나의 재질로 구성되고,상기 산화물층은 투명금속산화물 재질인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
11 11
청구항 1에 있어서,상기 베이스기판과 상기 광열변환층 사이에, 열에너지 확산을 방지하는 버퍼층이 더 형성된 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
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청구항 11에 있어서,상기 버퍼층이 광열변환층에 비해 열전도율이 낮은 재질인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
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청구항 11에 있어서,상기 버퍼층의 열전도율이 1
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청구항 11에 있어서,상기 버퍼층이 산화티탄, 산화규소, 질화산화규소, 산화지르코늄, 탄화규소, 산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx) 및 유기 고분자 중 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 유기물 패턴의 형성 방법
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유기물질로 화소를 구성한 유기발광 디스플레이를 제조하는 방법으로서,유기물질로 구성된 유기발광 디스플레이의 구성요소를 증착하는 과정에서 청구항 1 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 따른 유기물 패턴의 형성 방법을 적용한 것을 특징으로 하는 유기발광 디스플레이의 제조방법
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청구항 15에 있어서,상기 유기물질로 구성된 구성요소가 유기발광 화소인 것을 특징으로 하는 유기발광 디스플레이의 제조방법
17 17
청구항 15에 있어서,상기 유기물질로 구성된 구성요소가 유기 발광층인 것을 특징으로 하는 유기발광 디스플레이의 제조방법
18 18
청구항 15에 있어서,상기 유기물질로 구성된 구성요소가 정공주입층인 것을 특징으로 하는 유기발광 디스플레이의 제조방법
19 19
청구항 15에 있어서,상기 유기물질로 구성된 구성요소가 정공수송층인 것을 특징으로 하는 유기발광 디스플레이의 제조방법
20 20
청구항 15에 있어서,상기 유기물질로 구성된 구성요소가 전자주입층인 것을 특징으로 하는 유기발광 디스플레이의 제조방법
21 21
청구항 15에 있어서,상기 유기물질로 구성된 구성요소가 전자수송층인 것을 특징으로 하는 유기발광 디스플레이의 제조방법
22 22
청구항 15에 있어서,TFT가 형성된 능동 매트릭스 회로층과 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광 디스플레이의 제조방법
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1 기획재정부 한국생산기술연구원 역량강화과제 용액 기반 스마트 E-bandage 제작 마이크 나노 공정 기술 개발