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비아를 구비하는 관통전극을 평탄제 및 구리전해질을 포함하는 구리도금액에 침지시키는 단계;상기 평탄제가 상기 관통전극의 비아의 측면 상부에 코팅되도록 제1전류를 인가하는 제1전류인가단계;상기 제1전류보다 낮은 제2전류를 인가하여, 상기 비아의 바닥에 상기 구리전해질의 도금막을 형성하는 제2전류인가단계; 및상기 제1전류보다 높은 제3전류를 인가하여, 상기 구리전해질의 도금막 위에서부터, 상기 비아의 입구까지 상기 구리전해질이 충전되는 제3전류인가단계를 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 제1전류인가단계의 상기 제1전류의 전류밀도는 0
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제1항에 있어서,상기 평탄제는,[화학식 1]상기의 화학식 1로 표현되는 구조를 가진 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 관통전극의 충전방법:(A는 에테르 작용기, 에스테르 작용기 및 카르보닐 작용기 중 하나 이상을 포함하고,T1과 T2는 단독으로 수소를 포함하거나, 에테르 작용기를 포함하는 1개 내지 10개 사이의 탄소를 갖는 선형 구조의 알킬이거나, 또는 에테르 작용기를 포함하는 5개 내지 20개 사이의 탄소를 갖는 가지형 구조의 알킬이고,T3과 T4는 단독으로 수소를 포함하거나, 1개 내지 10개 사이의 탄소를 갖는 선형 구조의 알킬이거나, 또는 5개 내지 20개 사이의 탄소를 갖는 가지형 구조의 알킬이고,m과 n의 합은 1내지 50까지의 정수이고,o는 1내지 100까지의 정수이고,q와 r의 합은 1 내지 300까지의 정수이고, X는 염소(Cl), 브롬(Br), 요오드(I), 질산염(NO3), 황산염(SO4), 탄산염(CO3), 및 수산기(OH)로 이루어진 이온 군 중 하나 이상을 포함함)
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제2항에 있어서,상기 평탄제에서, A는 N-니트로소메탄아민, N'-하이드록시이미도포름아미드, (하이드록시니트릴리오)메탄나이드암모니에이트, 우레아, 디아제닐메탄올 또는 3-디아지리디놀 중의 하나이고, T1은 단독으로 수소를 포함하고, T2는 에테르 작용기가 포함된 6개의 탄소를 갖는 가지형 구조의 알킬이고, m과 n의 합은 5 내지 10의 정수이고, o는 2 내지 30의 정수이고, X는 할로겐 이온 중에 하나인 것을 특징으로 하는 관통전극의 충전방법
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제1항에 있어서,상기 평탄제는 100 g/mol 내지 500,000 g/mol 범위의 분자량을 갖는 것을 특징으로 하는 관통전극의 충전방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 구리도금액은 억제제 및 가속제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관통전극의 충전방법
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제5항에 있어서,상기 억제제는,Polyoxyalkylene glycol, Carboxymethylcellulose, N-nonylphenolpoly glycol ether, Octandiobis glycol ether, Oleic acid polyglycol ester, Polyethylene glycol, Polyethylene glycol dimethyl ether, Poly(ethylene glycol)-block-poly(propylene glycol)-block-poly(ethylene glycol), Polypropylene glycol, Poly vinyl alcohol, Stearyl alcoholpolyglycol ether, Stearic acidpolyglycol ester, 3-Methyl-l-butyne-3-ol, 3-Methyl-pentene-3-ol, L-ethynylcyclohexanol, phenyl-propynol, 3-Phenyl-l-butyne-3-ol, Propargyl alcohol, Methyl butynol-ethylene oxide, 2-Methyl-4-chloro-3-butyne-2-ol, Dimethyl hexynediol, Dimethylhexynediol-ethylene oxide, Dimethyloctynediol, Phenylbutynol, 및 1,4-Butandiol Diglycidyl Ether로 이루어진 물질 군 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 관통전극의 충전방법
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제5항에 있어서,상기 가속제는,(O-Ethyldithiocarbonato)-S-(3-sulfopropyl)-ester, 3-[(Aminoiminomethyl)-thiol]-1-propanesulfonic acid, 3-(Benzothiazolyl-2-mercapto)-propyl-sulfonic acid, sodium bis-(sulfopropyl)-disulfide, N,N-Dimethyldithiocarbamylpropyl sulfonic acid, 3,3-Thiobis(1-propanesulfonic acid), 2-Hydroxy-3-[tris(hydroxymethyl) methylamino]-1-propanesulfonic acid, sodium2,3-dimercaptopropanesulfonate, 3-Mercapto-1-propanesulfonic acid, N,N-Bis(4-sulfobutyl)-3,5-dimethylaniline, sodium 2-Mercapto-5-benzimidazolesulfonic acid, 5,5′-Dithiobis(2-nitrobenzoic acid), DL-Cysteine, 4-Mercapto-Benzenesulfonic acid, 및 5-Mercapto-1H-tetrazole-1-methanesulfonic acid로 이루어진 물질 군 중 어느 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 관통전극의 충전방법
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제5 항에 있어서,상기 가속제 및 상기 억제제는 각각 100 g/mol 내지 100,000 g/mol 범위의 분자량을 각각 갖는 것을 특징으로 하는 관통전극의 충전방법
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제1항에 있어서,상기 제2전류의 전류밀도는 0
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제1항에 있어서,상기 제3 전류의 전류밀도는 0
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