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중앙에 히터가 설치된 하층부;상기 하층부에서 상기 히터를 중심으로 1축 상에 형성된 제1온도센서;상기 하층부에서 상기 히터를 중심으로 2축 상에 형성된 제2온도센서;상기 하층부의 상면에 결합하고, 상기 하층부 방향으로 내부 공간이 형성된 상층부; 및일부위가 상기 상층부의 내부 공간에 노출되도록 상기 상층부에 형성된 제3온도센서;를 포함하고,상기 상층부의 상면으로부터 상기 상층부의 내부 공간으로 홀이 형성되며,상기 제3온도센서는, 증착물질을 상기 상층부의 상면에 증착시켜 상기 증착물질이 상기 홀을 채우면서 형성되고 상기 상층부의 내부 공간에 노출되는 제3온도센서 인입부위 및, 상기 제3온도센서 인입부위에 연결되며 상기 상층부의 상면에 상기 증착물질을 증착시켜 형성되는 제3온도센서 연결부위를 구비하는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 히터는 상기 하층부 상면의 중앙 부위에 굴곡 형상으로 밀집 배치되는 금속 배선을 구비하는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서
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청구항1에 있어서, 상기 제1온도센서의 일부위는 상기 상층부의 내부 공간 내 가스와 접촉하도록 상기 히터와 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서
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청구항1에 있어서, 상기 제2온도센서의 일부위는 상기 상층부의 내부 공간 내 가스와 접촉하도록 상기 히터와 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 하층부는,반도체 기판,상기 반도체 기판 상면에 절연 물질로 형성되고 상기 히터와 상기 제1온도센서 및 상기 제2온도센서가 위에 형성되는 제1절연막, 및상기 반도체 기판 하면에 절연 물질로 형성되는 제2절연막을 구비하는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 하층부는,상면의 중심 영역에 홈을 구비하는 반도체 기판,상기 홈을 제외한 상기 반도체 기판의 상면에 절연 물질로 형성되고 상기 히터의 양 말단과 상기 제1온도센서 양 말단 및 상기 제2온도센서의 양 말단이 위에 형성되는 제1절연막, 및상기 반도체 기판 하면에 절연 물질로 형성되는 제2절연막을 구비하는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서
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i) 상층부의 하면에 상층부절연막을 형성하는 단계;ii) 상기 상층부의 하면을 식각하여 내부 공간을 형성하는 단계;iii) 증착물질을 증착하여 제3온도센서 인입부위의 말단을 상기 상층부의 내부 공간 상부면에 형성하는 단계;iv) 상기 상층부의 상면에 홀을 형성하는 단계;v) 상기 증착물질을 상기 상층부 상면에 증착시켜, 상기 상층부에 형성된 상기 홀을 채우면서 상기 제3온도센서 인입부위의 말단을 포함하는 상기 제3온도센서 인입부위를 형성하고, 상기 증착물질로 제3온도센서 연결부위를 형성하는 단계;vi) 하층부 상면에 상기 증착물질의 박막을 형성하는 단계;vii) 상기 하층부에서 상기 증착물질의 박막을 패터닝하여 히터, 제1온도센서, 제2온도센서 및 제3온도센서 하층부부위를 형성하고, 상기 하층부에 홈을 형성하는 단계; 및viii) 상기 상층부와 상기 하층부를 결합하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서의 제조방법
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청구항 13에 있어서,상기 상층부와 상기 하층부는 에폭시, 실리콘 및 고분자 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 물질에 의해 접합되는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서의 제조방법
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청구항 13에 있어서,상기 증착물질은 금속, 금속나노와이어 및 탄소나노튜브로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 열대류형 가속도 센서의 제조방법
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