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기판;상기 기판의 상면에 설치되어 밀폐 공간을 형성하는 덮개;상기 밀폐 공간에 위치하여 열을 발생시키며 스피닝이 가능한 탄소나노튜브로 형성된 탄소나노튜브 방적사를 구비한 발열체와, 상기 발열체 양단 각각에 형성되는 발열체 연결단자를 포함하는 발열부;상기 밀폐 공간 내에서 상기 발열부의 좌측에 이격되어 위치하여 온도에 따라 전기 저항이 변하며 스피닝이 가능한 탄소나노튜브로 형성된 상기 탄소나노튜브 방적사를 구비한 제1저항체와, 상기 제1저항체 양단 각각에 형성되는 제1저항체 연결단자를 포함하여 온도를 감지하는 제1온도감지부; 및상기 밀폐 공간 내에서 상기 발열부의 우측에 이격되어 위치하여 온도에 따라 전기 저항이 변하며 스피닝이 가능한 탄소나노튜브로 형성된 상기 탄소나노튜브 방적사를 구비한 제2저항체와, 상기 제2저항체 양단 각각에 형성되는 제2저항체 연결단자를 포함하여 온도를 감지하는 제2온도감지부;를 포함하고,상기 발열부, 상기 제1온도감지부 및 상기 제2온도감지부는 상기 기판의 상면에 형성되고, 상기 발열체, 상기 제1저항체 및 상기 제2저항체는 나란하도록 배치되며, 상기 탄소나노튜브는 비정질 산화물층, 산화알루미늄층 및 철(Fe)로 형성되는 촉매층이 순차적으로 적층된 베이스기재를 이용하여 형성되고,상기 촉매층의 두께는 1
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청구항1에 있어서, 상기 베이스기재는 실리콘(Si)으로 형성된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서
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3
삭제
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 비정질 산화물층은 이산화규소(SiO2)로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서
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청구항 1에 있어서,상기 탄소나노튜브 방적사는 상기 탄소나노튜브로 형성된 스핀 가능 탄소나노튜브 시트로부터 스피닝이 가능한 상기 탄소나노튜브를 뽑아 꼬아서 제조된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서
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7
청구항 1에 있어서,상기 발열체, 상기 제1저항체 또는 상기 제2저항체는 직선으로 연장되는 얀(yarn) 형태인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서
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8
청구항 1에 있어서,상기 비정질 산화물층, 상기 산화알루미늄층 또는 상기 촉매층은 상기 베이스기재 상에 증착으로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서
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9
청구항 1에 있어서,기판, 및상기 기판에 결합되어서 내부에 상기 밀폐 공간을 형성하는 덮개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서
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10
청구항 1의 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서의 제조방법에 있어서,i) 상기 베이스기재를 마련하는 단계;ii) 상기 베이스기재 상에 상기 비정질 산화물층, 상기 산화알루미늄층 및 상기 촉매층을 순차적으로 형성하는 단계;iii) 상기 ii) 단계의 상기 베이스기재를 챔버 내에 위치시키는 단계;iv) 상기 챔버 내에 분위기 가스, 환원가스와 탄소함유 가스를 주입하면서 상기 챔버 내 온도를 성장 온도까지 상승시키는 단계;v) 상기 촉매층에서 상기 파티클이 형성되는 단계;vi) 상기 성장 온도를 유지하여 탄소나노튜브를 성장시키는 단계;vii) 상기 탄소나노튜브를 이용하여 상기 탄소나노튜브 방적사를 형성하는 단계;viii) 상기 탄소나노튜브 방적사를 이용하여 상기 발열체, 상기 제1저항체 또는 상기 제2저항체를 형성하는 단계; 및ix) 기판 상에 상기 발열부, 상기 제1온도감지부 및 상기 제2온도감지부를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서의 제조방법
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청구항 10에 있어서,상기 성장 온도는 500 내지 1000도(℃)인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서의 제조방법
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청구항 10에 있어서,상기 vi) 단계의 상기 환원가스는 수소 가스인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서의 제조방법
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13
청구항 10에 있어서,상기 iv) 단계의 상기 분위기 가스는 아르곤 가스인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서의 제조방법
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청구항 10 내지 청구항 13 중 어느 하나의 항에 의해 제조되는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서가 설치되는 스마트폰
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청구항 10 내지 청구항 13 중 어느 하나의 항에 의해 제조되는 탄소나노튜브를 이용한 열대류형 기울기 및 가속도 센서가 설치되는 로봇
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