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기판이 안착되고, 기판을 3축 방향으로 이동시키는 스테이지;기판에 전도성 잉크를 토출하도록 제공되는 전도성 잉크 토출장치;상기 잉크 토출장치의 잉크 챔버에 연결되어 전도성 잉크를 공급하는 잉크 공급수단;상기 전도성 잉크 토출장치의 토출 노즐에 전압을 인가하여 전도성 잉크를 대전시키고, 상기 스테이지에는 상기 토출 노즐과 반대되는 전압을 인가하는 전원장치;상기 잉크 챔버에 연결되어 기체를 공급하여 전도성 잉크의 토출 압력을 조절하는 기체 공급수단;상기 토출 노즐에서 토출되는 전도성 잉크의 크기를 측정하는 토출 모니터링 장치; 및상기 토출 모니터링 장치로부터 데이터를 수신하고, 기 설정된 크기로 전도성 잉크가 토출되게 상기 전원장치를 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 전도성 잉크 토출장치는,전도성 잉크가 저장되고, 비전도성 재질로 마련되는 잉크 챔버;상기 잉크 챔버의 하부에 배치되고, 비전도성 재질로 마련되는 어댑터;상기 어댑터의 하부에 배치되고, 상기 잉크 챔버에 연계되어 전도성 잉크를 외부로 토출하는 토출 노즐;상기 잉크 챔버에 구비되어 저장된 전도성 잉크가 휘발되어 변성되지 않도록 3~15℃의 온도 범위를 만족하도록 냉각하는 냉각부; 및상기 토출 노즐에 구비되어 토출되는 전도성 잉크가 특정 온도 범위를 만족하도록 가열하는 가열부;를 포함하고,상기 제어부는,기판에 10㎛ 이하의 선 폭을 가지는 선형의 패턴을 형성하도록, 2
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제1항에 있어서, 상기 제어부는,상기 토출 모니터링 장치로부터 수신되는 데이터를 피드백하여 기판에 토출되는 전도성 잉크의 크기가 기 설정된 크기로 토출되도록 상기 토출 노즐에 인가되는 전압을 조절하는 것을 특징으로 하는 패터닝 시스템
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제1항에 있어서, 상기 토출 모니터링 장치는,상기 토출 노즐에서 토출되는 전도성 잉크의 이미지를 촬영하고, 촬상된 이미지를 처리하여 토출되는 전도성 잉크의 크기를 파악하는 것을 특징으로 하는 패터닝 시스템
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제1항에 있어서,상기 전도성 잉크 토출장치는,상기 잉크 챔버에 구비되어 저장된 전도성 잉크의 수위를 측정하는 수위센서;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 수위센서로부터 데이터를 수신하여 상기 잉크 챔버에 전도성 잉크가 일정 수위를 유지하도록 상기 잉크 공급수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 패터닝 시스템
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제1항에 있어서,상기 제어부는, 상기 잉크 챔버에 저장된 전도성 잉크가 상기 토출 노즐의 단부까지 공급될 수 있도록 상기 잉크 챔버 내부의 압력을 조절하도록 상기 기체 공급수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 패터닝 시스템
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제1항에 있어서, 상기 전도성 잉크 토출장치는,상기 잉크 챔버에 구비되어 저장된 전도성 잉크의 온도를 측정하는 챔버 온도센서;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 챔버 온도센서로부터 온도 데이터를 수신하여 상기 냉각부를 제어하는 것을 특징으로 하는 패터닝 시스템
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제1항에 있어서, 상기 전도성 잉크 토출장치는,상기 토출 노즐에 구비되어 토출되는 전도성 잉크의 온도를 측정하는 노즐 온도센서;를 더 포함하고,상기 제어부는, 상기 노즐 온도센서로부터 온도 데이터를 수신하여 상기 토출 노즐에서 토출되는 전도성 잉크가 20~100℃의 온도 범위를 만족하도록 상기 가열부를 제어하는 것을 특징으로 하는 패터닝 시스템
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전도성 잉크 토출장치의 잉크 챔버에 10㎕/hr 유량으로 전도성 잉크를 공급하는 전도성 잉크 공급단계;상기 잉크 챔버에 저장된 전도성 잉크가 휘발되어 변성되지 않도록 3~15℃의 온도 범위를 만족하도록 상기 잉크 챔버를 냉각하는 잉크챔버 냉각단계;상기 전도성 잉크 토출장치의 토출 노즐에서 토출되는 전도성 잉크가 20~100℃의 온도 범위를 만족하도록 상기 토출 노즐을 가열하는 토출노즐 가열단계;상기 잉크 챔버에 기체를 공급하여 상기 잉크 챔버 내부에 -0
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제12항에 있어서, 상기 토출잉크 판정단계에서 전도성 잉크가 기 설정된 크기로 토출되지 않으면, 상기 잉크 토출단계로 되돌아가 토출 노즐과 기판이 안착되는 스테이지 간의 전압차를 다시 조절하여 기판에 전도성 잉크를 토출하는 것을 특징으로 하는 패터닝 시스템의 제어방법
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제12항에 있어서, 토출잉크 판정단계는,상기 토출 노즐에서 토출되는 전도성 잉크를 토출 모니터링 장치가 촬영하는 촬영단계; 촬상된 이미지를 처리하여 토출되는 전도성 잉크의 크기를 측정하는 크기 측정단계; 및측정된 토출잉크의 크기가 기 설정된 크기에 대응되는지 판단하는 크기 비교단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 패터닝 시스템의 제어방법
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