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부상대상물과 대향되는 플레이트;상기 플레이트에 상기 부상대상물을 부상하기 위한 진동을 인가하도록 초음파를 발생하는 진동자; 및상기 플레이트에 결합되어, 상기 플레이트를 지지하는 지지부재;를 포함하고,상기 지지부재는,단일의 판넬 형상으로 형성되고, 상기 플레이트의 휨변형이 방지됨으로써 상기 플레이트의 표면이 수평방향으로 균일하게 형성되어 상기 부상대상물에 인가되는 진동의 세기가 균일하도록 둘레부를 이루는 어느 한 측면이 상기 진동자에 의하여 상기 플레이트에 형성되는 노달라인을 따라 상기 플레이트에 선접촉하며 결합되는 초음파 부상모듈
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제1항에 있어서,상기 지지부재를 지지하는 베이스와 상기 지지부재 사이에 구비되며, 상기 지지부재와 상기 베이스 사이의 이격거리를 조절하여 상기 플레이트의 높이를 조절하는 레벨조절부를 더 포함하는 초음파 부상모듈
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제4항에 있어서,상기 레벨조절부는,상부면이 상기 지지부재에 결합되고, 저면은 경사면을 이루는 제1부재; 및저면은 상기 베이스에 안착되고, 상부면은 상기 제1부재의 저면에 대응되게 경사면을 이루며, 상기 제1부재에 대하여 상대 이동하는 제2부재;를 포함하는 초음파 부상모듈
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제4항에 있어서,상기 베이스와 상기 레벨조절부 사이에 구비되며, 상기 베이스에 형성된 레일 또는 홈에 이동 가능하게 결합되어 상기 플레이트와 결합되는 면의 길이방향으로 상기 지지부재의 길이를 조절하는 길이조절부를 더 포함하는 초음파 부상모듈
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제4항에 있어서,상기 지지부재와 상기 레벨조절부 사이에 구비되며, 상기 레벨조절부에 형성된 레일 또는 홈에 이동 가능하게 결합되어 상기 플레이트와 결합되는 면의 길이방향으로 상기 지지부재의 길이를 조절하는 길이조절부를 더 포함하는 초음파 부상모듈
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제6항 또는 제7항에 있어서,상기 플레이트에 대향되게 형성되며, 상기 레벨조절부와 상기 길이조절부 사이에 구비되며, 상기 길이조절부가 이동 가능하게 결합되도록 레일 또는 홈이 형성되는 보조플레이트를 더 포함하는 초음파 부상모듈
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제1항에 있어서,상기 지지부재는,서로 교차되는 하나 이상의 상기 노달라인에 결합되도록 복수 개가 구비되는 초음파 부상모듈
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제1항에 있어서,상기 지지부재는,상기 플레이트에 볼팅되도록 표면에 볼팅부재가 삽입되는 관통홀이 형성되는 초음파 부상모듈
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