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베이스 기판을 준비하는 단계; 상기 준비된 베이스 기판에 마이크로 채널을 함몰 형성하는 단계; 상기 마이크로 채널이 형성된 상기 베이스 기판의 표면을 따라, 상기 베이스 기판 상부에 광열변환층을 형성하는 단계; 및 상기 베이스 기판에서 상기 마이크로 채널이 형성된 부분의 표면에 위치하는 광열변환층 부분을 제외하고, 나머지 광열변환층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 광열변환층을 형성하는 단계와 상기 나머지 광열변환층을 제거하는 단계 사이에, 상기 형성된 광열변환층 상부에 상기 마이크로 채널을 채우면서 유기물층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 마이크로 채널을 함몰 형성하는 단계에서, 상기 마이크로 채널은 포토리소그래피 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 나머지 광열변환층을 제거하는 단계에서, 상기 나머지 광열변환층은 CMP로 제거되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 유기물층을 형성하는 단계와 상기 나머지 광열변환층을 제거하는 단계 사이에, 상기 마이크로 채널에 삽입된 유기물층 부분에 인접한 나머지 유기물층을 제거하는 단계를 더 포함하고, 상기 나머지 광열변환층을 제거하는 단계 이후, 상기 마이크로 채널에 삽입된 상기 유기물층 부분을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제5항에 있어서, 상기 유기물층은 감광성 폴리머로 구성되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제6항에 있어서, 상기 감광성 폴리머는 폴리스티렌, 폴리메틸메타아크릴레이트, 폴리아크릴로니트릴, 폴리아미드, 폴리이미드, 폴리아릴에테르, 헤테로사이클릭 폴리머, 파릴렌, 불소 고분자, 에폭시 수지, 벤조사이클로부틴계 수지, 실록세인계 수지, 실란 수지, 폴리비닐알코올, 폴리아크릴 아마이드, 폴리에틸렌글리콜, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리메틸비닐에테르, 폴리에틸렌이민, 폴리아닐린, 폴리피롤, 실리콘 수지, 디아조 수지, 아지드 수지, 폴리에스테르 수지, 및 카르복실계 수지로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제6항에 있어서, 상기 나머지 유기물층을 제거하는 단계에서, 상기 나머지 유기물층은 노광-현상 공정으로 제거되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제6항에 있어서, 상기 나머지 광열변환층을 제거하는 단계에서, 상기 나머지 광열변환층은 식각 공정으로 제거되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제6항에 있어서, 상기 유기물층 부분을 제거하는 단계에서, 상기 유기물층 부분은 노광-현상 공정으로 제거되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 유기물층을 형성하는 단계와 상기 나머지 광열변환층을 제거하는 단계 사이에, 상기 마이크로 채널을 채우면서 상기 광열변환층에 인접한 유기물층 부분을 제외하고, 평평한 광열변환층-유기물층 상면이 노출되도록 나머지 유기물층을 제거하는 단계를 더 포함하고, 상기 나머지 광열변환층을 제거하는 단계 이후, 상기 마이크로 채널을 채우면서 상기 광열변환층에 인접한 상기 유기물층 부분을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제11항에 있어서, 상기 유기물층은 파라핀계 폴리머로 구성되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제12항에 있어서, 상기 파라핀계 폴리머는 n-테트라데칸, n-펜타데칸, n-헥사데칸, n-헵타데칸, n-옥타데칸, n-노나데칸, n-이코산, n-도코산, n-테트라코산, n-헥사코산, n-옥타코산, 및 n-트리아콘탄으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제12항에 있어서, 상기 나머지 유기물층을 제거하는 단계에서, 상기 나머지 유기물층은 가열 또는 용해 공정으로 제거되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제12항에 있어서, 상기 나머지 광열변환층을 제거하는 단계에서, 상기 나머지 광열변환층은 식각 공정으로 제거되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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제12항에 있어서, 상기 유기물층 부분을 제거하는 단계에서, 상기 유기물층 부분은 가열 또는 용해 공정으로 제거되는 것을 특징으로 하는, 모세관-유도 전사를 위한 역 마이크로채널 형성방법
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