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증착챔버;상기 증착챔버의 하부벽과 결합하고, 증착 대상인 기판을 지지하며, 상하 및 좌우 방향의 직선 이동 또는 회전을 수행하는 스테이지부;상기 증착챔버의 하부에 위치하여 상기 스테이지부와 결합하고, 상기 스테이지부를 상하 및 좌우 방향으로 직선 이동 또는 회전시키는 스테이지구동부;상기 증착챔버의 상부벽과 결합하고, 상기 증착챔버 내부에 가스를 주입하는 샤워헤드부;상기 증착챔버의 타 측벽에 결합하고, 상기 기판 상 증착물질이 증착되어 형성된 증착부를 향해 분석광을 조사하는 분석광원부;상기 분석광이 상기 증착부에 반사되어 산란된 산란광을 집광하고, 상하 방향으로 직선 이동을 수행하는 라만렌즈부; 및상기 증착챔버의 상부벽에 결합되고, 상기 라만렌즈부와 결합하여 상기 라만렌즈부를 상하 방향으로 직선 이동시키는 라만렌즈구동부;를 포함하고,하나의 공간인 상기 증착챔버의 내부에서 증착 공정과 라만분석 공정을 수행하며,라만분석 공정 시, 상기 스테이지부에 구비된 스테이지와 상기 라만렌즈부가 서로 근접하도록 상기 스테이지부와 상기 라만렌즈부가 동시에 이동하여, 상기 라만렌즈부의 이동거리 증가에 따른 진동 증가를 방지하고,상기 라만렌즈구동부는, 상기 라만렌즈구동부 내 형성된 상기 라만렌즈부의 이동공간을 개방 또는 폐쇄시키는 커버부를 구비하며, 상기 라만렌즈부가 하 방향으로 직선 이동하는 경우, 상기 라만렌즈부가 상기 커버부의 커버를 밀어 상기 라만렌즈부가 상기 증착챔버의 내부로 노출되고, 상기 라만렌즈부가 상 방향으로 직선 이동하는 경우, 상기 커버가 복원력에 의해 닫혀, 상기 라만렌즈부가 상기 증착챔버의 내부로부터 격리되는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 스테이지부는, 상기 기판을 가열시키는 히터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서, 상기 증착챔버의 일 측벽에 결합하고, 상기 증착챔버의 내부로 에너지광을 조사하여 상기 가스에 에너지를 공급하는 에너지광원부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 4에 있어서,상기 에너지광원부는, 상기 에너지광원부의 외측면이 원뿔의 옆면을 그리는 원추운동을 수행하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 4에 있어서,상기 에너지광은 플라즈마 빔 또는 레이저 빔인 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 샤워헤드부는 상기 라만렌즈구동부의 주위를 둘러싸는 링의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 증착챔버의 내부에서 상기 가스를 배출시키는 펌프부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 8에 있어서,상기 펌프부는 상기 증착챔버의 내부에 주입된 상기 가스의 일부를 회수하여 상기 샤워헤드부로 공급하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 분석광원부는, 상기 분석광원부의 외측면이 원뿔의 옆면을 그리는 원추운동을 수행하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 라만렌즈구동부는, 상기 증착부의 형성 정도를 관찰하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 라만렌즈부로 집광된 상기 산란광을 분석하고 상기 증착부의 상태를 분석하는 분석부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 9, 및 청구항 11 내지 청구항 13 중 선택되는 어느 한 항에 의해 제조되는 증착챔버 일체형 라만 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치
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청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 9, 및 청구항 11 내지 청구항 13 중 선택되는 어느 한 항에 의해 제조되는 증착챔버 일체형 라만 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기판 제조 장치
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청구항 1의 증착챔버 일체형 라만 분석기를 이용한 증착 및 라만분석 방법에 있어서, i) 상기 스테이지부에 상기 기판을 고정시키는 단계;ii) 상기 증착챔버 내 압력이 조정되면서, 상기 샤워헤드부로부터 상기 증착챔버의 내부로 상기 가스가 주입되는 단계;iii) 상기 스테이지부 또는 에너지광원부의 위치를 조정한 후, 상기 에너지광원부가 상기 증착챔버의 내부로 에너지광을 조사하고, 상기 기판이 히터에 의해 가열되어, 상기 기판에 증착이 수행되는 단계;iv) 상기 증착챔버의 내부에서 상기 가스를 배출하는 단계;v) 상기 스테이지부, 상기 분석광원부, 및 상기 라만렌즈부의 위치를 조정한 후, 상기 분석광원부가 상기 기판 상 상기 증착부로 상기 분석광을 조사하고, 상기 증착부에 반사된 상기 분석광이 상기 라만렌즈부로 집광되는 단계; vi) 분석부에서 상기 증착부에 대한 라만분석을 수행하는 단계; 및vii) 상기 증착챔버의 내부에서 상기 기판을 꺼내는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 일체형 라만 분석기를 이용한 증착 및 라만분석 방법
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