| 1 |
1
침탄을 수행하는 침탄공간을 포함하는 챔버의 일측에 구비되는 모재 입출/냉각 어셈블리로서,모재를 투입하는 투입구가 형성되며, 내측에 상기 침탄공간과 연통된 수용공간이 형성된 메인바디;상기 메인바디의 하측에 구비되며, 상기 챔버에서 침탄 처리된 모재가 상기 수용공간으로부터 낙하되는 낙하경로가 형성된 하부바디;상기 하부바디의 하단부에 구비되며, 상기 하부바디를 통해 낙하된 모재가 냉각되는 냉각공간이 형성된 냉각유닛; 및일부 영역이 상기 메인바디 내측에 수용되고, 나머지 일부 영역이 상기 메인바디 외측으로 연장되되, 일단부에 상기 모재가 안착되는 안착부가 형성되며, 길이 방향으로 이동 가능하게 형성됨에 따라 상기 안착부가 상기 수용공간 및 상기 침탄공간 사이를 이동 가능하게 형성되는 이송유닛;을 포함하며,상기 하부바디는,상기 메인바디와 연결되는 제1연결부; 및상기 제1연결부와 상기 냉각유닛 사이에 구비되어 상기 제1연결부와 함께 상기 낙하경로를 형성하되, 상기 낙하경로의 기 설정된 지점을 선택적으로 차폐하는 차폐모듈을 포함하는 제2연결부;를 포함하는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 메인바디 및 상기 챔버 사이에 구비되며, 개폐 가능하게 형성되어 상기 침탄공간을 선택적으로 밀폐시키는 밀폐도어를 포함하는 연결바디를 더 포함하는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 안착부는 탈착 가능하게 형성되는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 메인바디 및 상기 제1연결부의 연결 영역에 상하 이격되도록 구비되어 사이에 예비냉각공간을 형성하며, 선택적으로 개폐 가능하게 형성된 한 쌍의 냉각도어를 더 포함하는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 예비냉각공간에 냉각용 기체를 주입하는 냉매주입모듈을 더 포함하는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 냉각유닛은 상기 하부바디에 탈착 가능하게 구비되는 침탄장치의 모재 입출/냉각 어셈블리
|
