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증착 공간을 제공하고, 내부에는 압력센서가 구비되는 증착챔버;라만분석 공간을 제공하는 분석챔버;상기 증착챔버의 일 측벽과 상기 분석챔버의 일 측벽에 결합하고, 상기 증착공간과 상기 라만분석 공간을 연결하는 통로를 제공하는 연결통로부;상기 증착챔버의 하부벽과 결합하고, 증착 대상인 기판을 지지하는 증착스테이지부;상기 증착챔버의 상부벽과 결합하고, 상기 증착챔버 내부에 가스를 주입하는 샤워헤드부;상기 분석챔버의 하부벽과 결합하고, 라만분석 대상인 증착부가 형성된 상기 기판을 지지하는 분석스테이지부;상기 분석챔버의 타 측벽에 결합하고, 상기 증착부를 향해 분석광을 조사하는 분석광원부;상기 분석광이 상기 증착부에 반사되어 산란된 산란광을 집광하고, 상하 방향으로 직선 이동을 수행하는 라만렌즈부;상기 분석챔버의 상부벽에 결합되고, 상기 라만렌즈부와 결합하여 상기 라만렌즈부를 상하 방향으로 직선 이동시키는 라만렌즈구동부; 및상기 분석챔버의 측벽에 결합하고, 상기 기판을 상기 증착 공간 또는 상기 라만분석 공간으로 운반하며, 기판과 결합하는 결합부, 사용자가 조작 가능한 손잡이부 및, 상기 결합부와 상기 손잡이부를 연결하는 연결바를 구비하는 운반부;를 포함하고, 연결된 공간인 상기 증착 공간과 상기 라만분석 공간에서 증착 공정과 라만분석 공정을 수행하며,상기 압력센서에서 감지한 상기 증착챔버 내부의 압력정보가 외부서버로 전달되고,상기 손잡이부를 조작하여 상기 결합부를 펴거나 접을 수 있으며, 상기 기판의 일 부위 두께는 상기 기판의 나머지 부위 두께보다 작게 형성되고, 상기 결합부가 상기 기판의 일 부위를 파지 또는 파지 해제함으로써, 상기 결합부가 상기 기판에 결합 또는 결합 해제되는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 증착챔버의 하부에 위치하여 상기 증착스테이지부와 결합하고, 상기 증착스테이지부를 상하 및 좌우 방향으로 직선 이동시키는 증착스테이지구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 분석챔버의 하부에 위치하여 상기 분석스테이지부와 결합하고, 상기 분석스테이지부를 상하 및 좌우 방향으로 직선 이동시키는 분석스테이지구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 증착스테이지부는, 상기 기판을 가열시키는 히터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서, 상기 증착챔버의 일 측벽에 결합하고, 상기 증착챔버의 내부로 에너지광을 조사하여 상기 가스에 에너지를 공급하는 에너지광원부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 5에 있어서,상기 에너지광원부는, 상기 에너지광원부의 외측면이 원뿔의 옆면을 그리는 원추운동을 수행하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 5에 있어서,상기 에너지광은 플라즈마 빔 또는 레이저 빔인 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서, 상기 샤워헤드부는 라만렌즈구동부의 주위를 둘러싸는 링의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 증착챔버의 내부에서 상기 가스를 배출시키는 펌프부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 9에 있어서,상기 펌프부는 상기 증착챔버의 내부에 주입된 상기 가스의 일부를 회수하여 상기 샤워헤드부로 공급하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 분석챔버의 일 측벽에 결합하고, 상기 연결통로부의 통로 공간과 상기 라만분석 공간을 연결하는 분석챔버개방구를 개방 또는 폐쇄시키는 게이트부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 분석광원부는, 상기 분석광원부의 외측면이 원뿔의 옆면을 그리는 원추운동을 수행하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 라만렌즈구동부는, 상기 증착부의 형성 정도를 관찰하는 카메라를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1에 있어서,상기 라만렌즈부로 집광된 상기 산란광을 분석하고 상기 증착부의 상태를 분석하는 분석부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기
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청구항 1 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 의해 제조되는 증착챔버 결합형 라만 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치
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청구항 1 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 의해 제조되는 증착챔버 결합형 라만 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 기판 제조 장치
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청구항 1의 증착챔버 결합형 라만 분석기를 이용한 증착 및 라만분석 방법에 있어서,i) 상기 증착스테이지부에 상기 기판을 고정시키는 단계;ii) 상기 증착챔버 내 압력이 조정되면서, 상기 샤워헤드부로부터 상기 증착챔버의 내부로 상기 가스가 주입되는 단계;iii) 상기 증착스테이지부 또는 에너지광원부의 위치를 조정한 후, 상기 에너지광원부가 상기 증착챔버의 내부로 상기 에너지광을 조사하고, 상기 기판이 히터에 의해 가열되어, 상기 기판에 증착이 수행되는 단계;iv) 상기 증착챔버의 내부에서 상기 가스를 배출하는 단계;v) 게이트부를 열어 분석챔버개방구를 개방시키고, 상기 운반부를 이동시켜, 상기 증착부가 형성된 상기 기판을 상기 운반부와 결합시키는 단계;vi) 상기 운반부를 이용하여 상기 기판을 상기 분석스테이지부로 운반하고, 상기 분석스테이지부에 상기 기판을 고정시키는 단계;vii) 상기 분석스테이지부, 상기 분석광원부, 및 상기 라만렌즈부의 위치를 조정한 후, 상기 분석광원부가 상기 기판 상 상기 증착부로 상기 분석광을 조사하고, 상기 증착부에 반사된 상기 분석광이 상기 라만렌즈부로 집광되는 단계;viii) 분석부에서 상기 증착부에 대한 라만분석을 수행하는 단계; 및ix) 상기 분석챔버의 내부에서 상기 기판을 꺼내는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버 결합형 라만 분석기를 이용한 증착 및 라만분석 방법
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