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연마패드의 표면과 마찰하면서 연마패드의 표면상태를 개선하기 위한 컨디셔너에 있어서,연마패드와 접촉하는 컨디셔닝디스크부와,상기 컨디셔닝디스크부의 경사동작이 가능하도록 하단부가 상기 컨디셔닝디스크부의 중심부와 결합축에 의해 결합된 중심샤프트와, 상기 컨디셔닝디스크부에 외력을 부가하여 상기 연마패드에 대한 컨디셔닝강도를 상기 결합축의 일측편과 타측편에서 서로 차이가 발생하도록 조절하는 가압조절부를 포함하되,상기 컨디셔닝디스크부가 상기 연마패드의 상측에서 상기 연마패드와 접촉하도록 컨디셔닝면이 하면에 형성되고,상기 가압조절부는, 상기 결합축의 일측편과 타측편 중 선택적으로 상기 컨디셔닝디스크부를 누르는 외력을 부가하는 것으로서, 상기 컨디셔닝디스크부의 상측에 설치되며,상기 가압조절부는상기 중심샤프트에 설치된 조심베어링과 결합되어 상기 중심샤프트에 대하여 상대적으로 경사작동하는 것으로서 상기 컨디셔닝디스크부의 상측에서 상기 컨디셔닝디스크부와 대향하도록 배치되어 상기 컨디셔닝디스크부와 함께 회전하는 제1부재와,회전하는 제1부재에 대하여 정지된 상태로 상기 제1부재와 연결베어링에 의해 결합되는 제2부재와,상기 제1부재가 상기 결합축의 일측편 또는 타측편으로 경사질 수 있도록 상기 제2부재와 결합되어 상기 제2부재를 경사동작시키는 경사구동기와,상기 제1부재와 상기 컨디셔닝디스크부 사이에 설치되어 상기 제1부재의 경사동작에 따라 상기 컨디셔닝디스크부를 누르는 상기 외력을 전달하는 외력전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 컨디셔너
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제1항에 있어서,상기 외력전달수단은 상기 제1부재와 상기 컨디셔닝디스크부에 양단이 지지되는 스프링이고,상기 스프링은 상기 중심샤프트를 중심으로 둘레를 따라 일정간격으로 설치된 것을 특징으로 하는 컨디셔너
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연마패드의 표면과 마찰하면서 연마패드의 표면상태를 개선하기 위한 컨디셔너에 있어서,연마패드와 접촉하는 컨디셔닝디스크부와,상기 컨디셔닝디스크부의 경사동작이 가능하도록 하단부가 상기 컨디셔닝디스크부의 중심부와 결합축에 의해 결합된 중심샤프트와, 상기 컨디셔닝디스크부에 외력을 부가하여 상기 연마패드에 대한 컨디셔닝강도를 상기 결합축의 일측편과 타측편에서 서로 차이가 발생하도록 조절하는 가압조절부를 포함하되,상기 컨디셔닝디스크부가 상기 연마패드의 상측에서 상기 연마패드와 접촉하도록 컨디셔닝면이 하면에 형성되고,상기 가압조절부는, 상기 결합축의 일측편과 타측편 중 선택적으로 상기 컨디셔닝디스크부를 누르는 외력을 부가하는 것으로서, 상기 컨디셔닝디스크부의 상측에 설치되며,상기 가압조절부는, 상기 중심샤프트를 중심으로 상기 중심샤프트에 설치된 조심베어링을 매개로 결합되어 경사작동하는 것으로서 상기 컨디셔닝디스크부의 상측에서 상기 컨디셔닝디스크부와 대향하도록 배치된 경사작동부재와,상기 경사작동부재가 상기 결합축의 일측편 또는 타측편으로 경사질 수 있도록 상기 경사작동부재를 경사동작시키는 경사구동기와,상기 경사작동부재와 상기 컨디셔닝디스크부 사이에 설치되어 상기 경사작동부재의 경사동작에 따라 상기 컨디셔닝디스크부에 상기 외력을 전달하는 외력전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 컨디셔너
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제5항에 있어서,상기 외력전달수단은 상기 경사작동부재와 상기 컨디셔닝디스크부에 각각 설치되어 서로 척력을 발생시키는 한 쌍의 자석이고,상기 한 쌍의 자석은 상기 중심샤프트를 중심으로 둘레를 따라 일정간격으로 복수개가 설치된 것을 특징으로 하는 컨디셔너
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스윙축을 구비하는 스윙구동기와, 상기 스윙구동기로부터 연마패드 측으로 연장된 스윙아암과, 상기 스윙아암의 단부에 설치되어 상기 스윙구동기의 구동에 의해 스윙(swing)운동하는 헤드를 포함하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너에 있어서,상기 헤드에는상기 연마패드와 접촉하는 컨디셔닝디스크부와,상기 연마패드에 대한 상기 컨디셔닝디스크부의 경사동작이 가능하도록 하단부가 상기 컨디셔닝디스크부의 중심부와 결합축에 의해 결합된 중심샤프트와, 상기 컨디셔닝디스크부가 회전되도록 상기 중심샤프트의 상부와 결합되어 상기 중심샤프트를 회전시키는 회전구동부와,상기 컨디셔닝디스크부에 외력을 부가하여 상기 연마패드에 대한 컨디셔닝강도를 상기 결합축의 일측편과 타측편에서 서로 차이가 발생하도록 조절하는 가압조절부를 포함하되,상기 일측편과 타측편은, 각각,상기 컨디셔닝디스크부에서 상기 헤드가 스윙운동하는 방향을 기준으로 할 때의 일측편과 타측편의 방향에 대응하는 것이고,상기 가압조절부의 작동을 제어하는 제어부가 설치되고,상기 제어부는상기 헤드가 스윙운동에 의해 일단측으로 이동시는, 상기 컨디셔닝디스크부에서 일측편이 타측편보다 더 연마패드를 가압하도록 상기 가압조절부를 제어하고, 타단측으로 이동시는, 상기 컨디셔닝디스크부에서 타측편이 일측편보다 더 연마패드를 가압하도록 상기 가압조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너
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제7항에 있어서,상기 중심샤프트와 결합되도록 설치되어 상기 제어부의 제어에 의해 상기 중심샤프트를 상하방향으로 구동시킴으로써 상기 컨디셔닝디스크부가 상기 연마패드를 가압하도록 하는 가공부하조절부가 더 설치되고,상기 제어부는상기 가공부하조절부에 의해 상기 컨디셔닝디스크부가 연마패드를 가압하는 가압력을 조절함에 있어, 상기 헤드의 스윙운동궤적의 양 단측보다 그 사이의 중간영역에서 더 작은 가압력이 발생하도록 하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너
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