맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

가스 감응형 나노 엑츄에이터 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019022983
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가스 감응형 나노 엑츄에이터 및 그 제조방법을 개시한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 감응형 나노 엑츄에이터는 복수개의 나노 필러 어레이를 포함하는 폴리머 기판 및 상기 복수개의 나노 필러 어레이의 일면에 비대칭으로 형성된 금속막을 포함하고, 상기 금속막은 외부 가스와 반응하며, 상기 반응에 따른 부피변화를 기반으로 상기 나노 필러 어레이의 형태가 변화하는 것을 통해 가스를 검지하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 7/04 (2006.01.01) G01N 27/414 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01) G01N 1/14 (2006.01.01)
CPC G01N 7/04(2013.01) G01N 7/04(2013.01) G01N 7/04(2013.01) G01N 7/04(2013.01)
출원번호/일자 1020160088902 (2016.07.13)
출원인 연세대학교 산학협력단, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1771362-0000 (2017.08.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170824) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.07.13)
심사청구항수 14

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이태윤 대한민국 서울특별시 강서구
2 한희탁 대한민국 서울특별시 서대문구
3 서정목 대한민국 서울특별시 서대문구
4 방창현 대한민국 경기도 수원시 장안구
5 김다완 대한민국 대전광역시 중구
6 백상열 대한민국 충청북도 보은군

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0680120-97
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0014111-86
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0338501-82
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.06.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0573853-92
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0573832-33
8 등록결정서
Decision to grant		 2017.07.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0529566-63
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0592898-60
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수개의 나노 필러 어레이가 형성된 폴리머 기판; 및상기 복수개의 나노 필러 어레이의 일면에 비대칭으로 형성된 금속막을 포함하고,상기 비대칭으로 형성된 금속막에 의해 상기 복수개의 나노 필러 어레이는 상기 금속막이 형성된 방향으로 휘어진 구조를 가지며,상기 금속막은 외부 가스와 반응하고, 상기 반응에 따른 부피 변화를 기반으로 상기 나노 필러 어레이의 형태가 변화하는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
2 2
제1항에 있어서,상기 금속막은 상기 부피 변화에 따라 광학적 특성이 변하고, 상기 변화된 광학적 특성을 통해 상기 외부 가스가 감지되는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
3 3
제1항에 있어서,상기 금속막은 상기 외부 가스의 농도에 대응하여 상기 부피 변화가 제어되고, 상기 제어된 부피 변화에 의해 광학적 특성이 변하는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
4 4
제1항에 있어서,상기 금속막은 상기 금속막의 두께에 대응하여 상기 부피 변화가 제어되고, 상기 제어된 부피 변화에 의해 광학적 특성이 변하는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
5 5
제1항에 있어서,상기 금속막은 상기 폴리머 기판의 표면에 대해 증착 각도를 조절하여 상기 나노 필러 어레이의 일면에 비대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
6 6
제1항에 있어서,상기 폴리머 기판은 나노 필러 패턴이 형성된 몰드에 폴리머 주입 및 경화 공정을 진행한 다음, 상기 몰드를 제거하는 주조 공정(casting process)을 이용하여, 상기 나노 필러 패턴에 대응되는 상기 복수개의 나노 필러 어레이가 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
7 7
제1항에 있어서,상기 금속막은 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 니켈(Ni), 은(Ag), 티타늄(Ti), 철(Fe), 아연(Zn), 코발트(Co), 망간(Mn), 금(Au), 텅스텐(W), 인듐(In) 및 알루미늄(Al)으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
8 8
제1항에 있어서,상기 복수개의 나노 필러 어레이는 길이가 1㎛ 내지 4㎛ 범위이고, 직경이 100㎚ 내지 400㎚ 범위인 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
9 9
제1항에 있어서,상기 금속막은 10nm 내지 120nm 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
10 10
제1항에 있어서,상기 폴리머는 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate), 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane), 에틸렌 테트라플루오로에틸렌(Ethylene Tetrafluoroethylene), 퍼플루오로알킬 아크릴레이트 (Perfluoroalkyl acrylate), 퍼플루오로폴리에터 (Perfluoropolyether) 및 폴리테트라플루오로에틸렌 (Polytetrafluoroethylene)으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
11 11
제1항에 있어서,상기 외부 가스는 수소(H2), 암모니아(NH3), 메탄(CH4) 및 포름알데하이드(HCHO)와 같은 수소(H)를 포함하는 가스인 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터
12 12
나노 필러 패턴이 형성된 몰드에 폴리머를 주입하는 단계;상기 몰드를 제거하여 상기 나노 필러 패턴에 대응하는 복수개의 나노 필러 어레이가 형성된 폴리머 기판을 준비하는 단계; 및상기 복수개의 나노 필러 어레이의 일면에 금속막을 비대칭으로 형성하는 단계를 포함하고,상기 비대칭으로 형성된 금속막에 의해 상기 복수개의 나노 필러 어레이는 상기 금속막이 형성된 방향으로 휘어진 구조를 가지며,상기 금속막은 외부 가스와 반응하고, 상기 반응에 따른 부피변화를 기반으로 상기 나노 필러 어레이의 형태가 변화하는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터의 제조방법
13 13
제12항에 있어서,상기 복수개의 나노 필러 어레이의 일면에 금속막을 비대칭으로 형성하는 상기 단계는,상기 폴리머 기판의 표면에 대해 증착 각도를 조절하여 상기 복수개의 나노 필러 어레이의 일면에 상기 금속막을 비대칭으로 형성하는 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터의 제조 방법
14 14
제13항에 있어서,상기 증착 각도는 상기 폴리머 기판의 표면에 대해 45°인 것을 특징으로 하는 가스 감응형 나노 엑츄에이터의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 연세대학교 산학협력단 산업기술혁신사업 [RCMS](주)센소니아/제스쳐/포스쳐 인식용 웨어러블 기기 구현을 위한 섬유형 유연 멀티모달 압력센서 및 인식 알고리즘의 개발(2/3)