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(a) 유전 탄성체 필름의 일측면에 전도성 물질을 도포하여 제 1 전극 패턴을 형성하는 단계;(b) 상기 제 1 전극 패턴의 일측면에 상기 유전 탄성체 필름을 도포하고 도포된 상기 유전 탄성체 필름의 일 측면에 전도성 물질을 도포하여 제 2 전극 패턴을 형성하는 단계; 및(c) 상기 (a), (b) 단계를 복수 회 반복하여, 유전 탄성체, 제 1 전극 패턴, 유전 탄성체, 제 2 전극 패턴의 순서가 복수 회 반복 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 형성하는 단계를 포함하며,상기 유전 탄성체의 상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 바깥으로 연장된 부분을 통해 이웃하는 유전 탄성체 사이는 상호 접합되어 단일체를 형성하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 접착층을 이용하여 쌓아 연결하는 단계를 더 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 유전 탄성체는 PDMS, 실리콘 또는 합성고무 중 어느 하나인 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 전극 패턴과 상기 제 2 전극 패턴에는 각각 서로 다른 일 방향으로 돌출된 돌출부가 형성되고,상기 돌출부를 연결하여 복수의 상기 제 1 전극 패턴을 연결시키고 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 연결시키는 단계를 더 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법
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제 4 항에 있어서,전극 용액을 브러싱하여 복수의 상기 제 1 전극 패턴과 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 각각 연결시키는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법
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제 4 항에 있어서,전체를 실리콘 용액으로 딥코팅하는 단계를 더 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기 제조 방법
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유전 탄성체 층, 제 1 전극 패턴, 유전 탄성체 층, 제 2 전극 패턴의 순서가 복수 회 반복 적층된 단위 스택형 유전 탄성체 구동기; 및상기 단위 스택형 유전 탄성체 구동기를 접착시켜 쌓아 연결하는 접착층을 포함하며,상기 단위 스택형 유전 탄성체 구동기에서 상기 유전 탄성체의 상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 바깥으로 연장된 부분을 통해 이웃하는 유전 탄성체 사이는 상호 접합되어 단일체를 형성하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기
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제 7 항에 있어서,상기 유전 탄성체는 PDMS, 실리콘 또는 합성고무 중 어느 하나인 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기
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제 7 항에 있어서,복수의 상기 제 1 전극 패턴을 연결하는 제 1 전극 연결부 및 복수의 상기 제 2 전극 패턴을 연결하는 제 2 전극 연결부를 더 포함하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 전극 패턴과 상기 제 2 전극 패턴에는 각각 상기 제 1 전극 연결부와 상기 제 2 전극 연결부와 연결되도록 각각 서로 다른 일 방향으로 돌출된 돌출부가 형성된 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기
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제 10 항에 있어서,상기 돌출부를 전기 용액을 브러싱하여 연결함으로써 상기 제 1 전극 연결부와 상기 제 2 전극 연결부를 형성하는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기
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제 7 항에 있어서,상기 복수 개의 스택형 유전 탄성체 구동기를 나선 방향으로 꼬아서 형성되는 단일체의 스택형 유전 탄성체 구동기
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