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폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템

  • 기술번호 : KST2019023320
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초순수가 사용되는 반도체 제조 공장과 같은 산업시설에서 배출되는 비교적 고순도의 폐수를 초순수 생산 공정에 재이용하되, 재이용되는 폐수를 전기화학적 방법으로 처리하여 폐수에 포함되어 있는 실리카(Si), 붕소(B) 및 유기물(TOC)의 함량을 낮춰 초순수 생산 공정의 부하를 경감시킴으로써 최종 생산수질을 확보할 수 있는 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템에 관한 것이다.본 발명에 따른 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템은 원수가 저장되는 제1 저장탱크와; 상기 제1 저장탱크로부터 유입되는 원수를 전처리하는 전처리부와; 상기 전처리부에서 전처리된 처리수가 저장되는 제2 저장탱크와; 상기 제2 저장탱크로부터 유입되는 처리수를 순수로 처리하는 순수처리부와; 상기 순수처리부에서 처리된 순수를 초순수로 처리하는 초순수처리부와; 상기 초순수처리부에서 처리된 초순수가 사용되는 산업시설과; 상기 산업시설로부터 배출되는 초순수 폐수를 전기화학적 처리 공정을 통해 처리하여 상기 제2 저장탱크로 보내는 전기화학적 처리부를; 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C02F 9/00 (2006.01.01) C02F 1/469 (2006.01.01) C02F 1/463 (2006.01.01) C02F 1/44 (2006.01.01) C02F 1/66 (2006.01.01) B01D 35/02 (2006.01.01) C02F 1/00 (2006.01.01) C02F 103/04 (2006.01.01) C02F 103/34 (2006.01.01)
CPC C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01) C02F 9/00(2013.01)
출원번호/일자 1020160052673 (2016.04.29)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1790875-0000 (2017.10.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171026) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.04.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍승관 미국 경기도 용인시 기흥구
2 이현경 대한민국 인천광역시 연수구
3 최종문 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인남촌 대한민국 서울특별시 종로구 새문안로*길 **, 도렴빌딩 ***호 (도렴동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0413253-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0053862-65
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0259072-10
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.06.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0538739-29
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-0538740-76
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.10.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0693226-13
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
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번호 청구항
1 1
원수가 저장되는 제1 저장탱크와;상기 제1 저장탱크로부터 유입되는 원수를 전처리하는 전처리부와;상기 전처리부에서 전처리된 처리수가 저장되는 제2 저장탱크와;상기 제2 저장탱크로부터 유입되는 처리수를 순수로 처리하는 순수처리부와;상기 순수처리부에서 처리된 순수를 초순수로 처리하는 초순수처리부와;상기 초순수처리부에서 처리된 초순수가 사용되는 산업시설과;상기 산업시설로부터 배출되는 초순수 폐수를 전기화학적 처리 공정을 통해 처리하여 상기 제2 저장탱크로 보내는 전기화학적 처리부와; 상기 산업시설로부터 배출되는 초순수 폐수를 필터를 통해 여과한 상태로 상기 제1 저장탱크로 보내 원수와 블렌딩하는 여과 처리부와; 상기 산업시설로부터 배출되는 초순수 폐수를 그대로 상기 제1 저장탱크로 보내 원수와 블렌딩하는 혼합 처리부와;상기 산업시설로부터 배출되는 초순수 폐수가 상기 전기화학적 처리부, 상기 여과 처리부 또는 상기 혼합 처리부 중 어느 하나를 통하도록 제어하는 재이용 제어부를; 포함하는 것을 특징으로 하는 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템
2 2
제1항에 있어서,상기 전기화학적 처리부에서의 전기화학적 처리 공정은 전기 탈이온(Electro Deionization), 축전식 탈염(Capacitive Deionization) 또는 전기 응고(Electro Coagulation) 공정인 것을 특징으로 하는 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템
3 3
제1항에 있어서,상기 순수처리부는, 역삼투 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템
4 4
제3항에 있어서,상기 전기화학적 처리부는, 유입된 초순수 폐수에 알카리 성분을 주입하는 것을 특징으로 하는 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서,상기 재이용 제어부는, 상기 산업시설로부터 배출되는 초순수 폐수의 전도도(Conductivity)가 설정된 기준값 미만인 경우 상기 초순수 폐수가 상기 전기화학적 처리부를 통하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템
7 7
제6항에 있어서,상기 재이용 제어부는, 상기 산업시설로부터 배출되는 초순수 폐수의 전도도(Conductivity)가 설정된 기준값 이상인 경우로서 단위 부피당 고형물량이 설정된 기준값 이상인 경우 상기 초순수 폐수가 상기 여과 처리부를 통하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 폐수 재이용을 포함하는 초순수 처리 시스템
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 ㈜앱스필 플랜트엔지니어링핵심기술개발사업 반도체급 산업용수용 초순수 생산공정기술 및 4종 소모성 기자재의 국산화 개발