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나노 스케일을 갖는 분석 장비의 보정 표준 시편

  • 기술번호 : KST2019023349
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유리기판; 상기 유리기판 위에 복수 개가 배치되며, 미리 설정되는 소정 전압이 가해지는 패드부; 적어도 2개 이상의 상기 패드부와 전기적으로 연결되며, 탐침에 의해 전류값이 측정되는 패턴부; 상기 패드부와 상기 패턴부 사이를 전기적으로 연결하는 연결부;를 포함하는 나노 스케일 분석 장비의 보정 표준 시편을 제공한다.
Int. CL G01N 1/28 (2006.01.01) G01Q 60/24 (2010.01.01) G01R 1/067 (2006.01.01)
CPC G01N 1/286(2013.01) G01N 1/286(2013.01) G01N 1/286(2013.01) G01N 1/286(2013.01)
출원번호/일자 1020160078991 (2016.06.24)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1783602-0000 (2017.09.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171010) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.24)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태근 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 전동수 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인주원 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(논현동, 건설회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0610653-35
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0179391-15
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.05.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0433088-20
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-0433087-85
5 등록결정서
Decision to grant		 2017.09.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0640406-04
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유리기판;상기 유리기판 위에 복수 개가 배치되며, 미리 설정되는 소정 전압이 가해지는 패드부; 적어도 2개 이상의 상기 패드부와 전기적으로 연결되며, 탐침에 의해 스캔되면서 전류값이 측정되는 패턴부;상기 패드부와 상기 패턴부 사이를 전기적으로 연결하는 연결부;를 포함하며,상기 패턴부는 서로 다른 방향으로 연장 형성되는 나노 스케일을 갖는 분석 장비의 보정 표준 시편
2 2
제 1항에 있어서, 상기 패턴부는일단이 상기 연결부에 접촉되고 타단이 X축 방향으로 연장 형성되는 직선라인이 대향하며 반복적으로 교차 배치되는 제1패턴부;를 포함하는 나노 스케일을 갖는 분석 장비의 보정 표준 시편
3 3
제 1항에 있어서, 상기 패턴부는일단이 상기 연결부에 접촉되고 타단이 Y축 방향으로 연장 형성되는 직선라인이 대향하며 반복적으로 교차 배치되는 제2패턴부;를 포함하는 나노 스케일을 갖는 분석 장비의 보정 표준 시편
4 4
제 1항에 있어서, 상기 연결부가 상기 패드부 각각에서 연장 형성되고,상기 패턴부는 일단이 상기 연결부에 접촉되는 공통라인; 및상기 공통라인에서 분기되는 복수 개의 분기라인;을 포함하고,상기 분기라인은 인접하는 상기 공통라인 사이에서 대향하며 반복적으로 교차 배치되는 제3패턴부;를 포함하는 나노 스케일을 갖는 분석 장비의 보정 표준 시편
5 5
제 4항에 있어서,상기 공통라인은 서로 평행하게 배치되고, 상기 분기라인은 상기 공통라인에 수직하게 배치되는 나노 스케일을 갖는 분석 장비의 보정 표준 시편
6 6
제 1항에 있어서,상기 패드부의 두께는 상기 패턴부의 두께보다 더 크게 형성되는 나노 스케일을 갖는 분석 장비의 보정 표준 시편
7 7
제 1항에 있어서,패턴부는 전도성 물질로 형성되는 나노 스케일을 갖는 분석 장비의 보정 표준 시편
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1 WO2017222116 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2017222116 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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