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증착 챔버 내에 에어로졸 상태의 전구체 및 캐리어 가스를 포함하는 소스 가스를 공급하는 단계;상기 소스 가스에 대하여 열기체를 이용하여 사이클론 기류를 형성하여 상기 증착 챔버 내의 분말들을 분산시키는 단계; 및상기 분말 및 상기 전구체를 상호 화학 결합시켜, 기재의 표면 상에 코어셀 분말을 형성하는 단계를 포함하고,상기 소스 가스에 대하여 사이클론 기류를 형성하는 단계는, 상기 증착 챔버 내부로 열기체를 공급하는 복수의 열기체 공급부들을 이용하는 수행되는 것을 특징으로 하는 에어로졸 화학 기상 증착 방법
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제1항에 있어서, 상기 열기체는 20 내지 600˚C의 온도 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 에어로졸 화학 기상 증착 방법
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제1항에 있어서, 상기 에어로졸 상태의 전구체는 액체 전구체에 대하여 초음파 진동을 인가하여 형성되는 것을 특징으로 하는 에어로졸 화학 기상 증착 방법
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제1항에 있어서, 상기 증착 챔버로부터 미반응 소스 가스 및 미반응 열기체를 선택적으로 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 에어로졸 화학 기상 증착 방법
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분말이 내부에 공급된 증착 챔버; 상기 증착 챔버 내에 에어로졸 상태의 전구체 및 캐리어 가스를 포함하는 소스 가스를 공급하는 소스 가스 공급부; 및상기 가스 공급부 및 상기 증착 챔버 사이에 구비되어, 상기 증착 챔버 내부로 열기체를 공급하여 상기 소스 가스를 사이클론 기류로 형성하도록 복수의 사이클론 형성부들을 포함하는 에어로졸 화학 기상 증착 장치
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제6항에 있어서, 상기 사이클론 형성부들은 상기 증착 챔버의 수직 높이를 기준으로 서로 다른 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 화학 기상 증착 장치
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제6항에 있어서, 상기 사이클론 형성부는,상기 열기체를 배출하는 열기체 배출부;상기 열기체 배출부 및 상기 증착 챔버 사이에 상기 열기체의 유로를 제공하는 열기체 공급 라인; 및상기 열기체 공급 라인으로부터 분기되어 상기 소스 가스 공급부와 연결되며 상기 소스 가스의 유로를 제공하는 소스 가스 공급 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 화학 기상 증착 장치
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제8항에 있어서, 상기 열기체 공급 라인 및 상기 소스 가스 공급 라인은 45 내지 90˚각도를 이루는 것을 특징으로 하는 에어로졸 화학 기상 증착 장치
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제8항에 있어서, 상기 열기체 공급 라인의 가상의 연장된 중심축 및 상기 증착 챔버의 내벽은 서로 만나며, 상기 열기체 공급 라인의 중심축은 상기 증착 챔버의 내벽 사이의 최장 거리는 100 mm 이내인 것을 특징으로 하는 에어로졸 화학 기상 증착 장치
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제8항에 있어서, 상기 열기체 공급 라인의 중심축 및 상기 증착 챔버의 외벽이 이루는 각도는 90 내지 120˚범위인 것을 특징으로 하는 에어로졸 화학 기상 증착 장치
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제6항에 있어서, 상기 증착 챔버는, 그 상부에 형성된 기체 유출구에는 상기 증착 챔버로부터 미반응 소스 가스 및 미반응 열기체를 선택적으로 배출하는 다공성 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 에어로졸 화학 기상 증착 장치
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