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레이저 광을 발생시키는 광원부;상기 광원부에서 발생된 빛을 샘플광 및 기준광으로 나누는 광분배부;관측하고자 하는 샘플을 거치하고, 상기 샘플에 입사된 샘플광에 의해 상기 샘플에 대한 이미지를 형성하는 샘플 이미지 형성부;상기 샘플 이미지 형성부를 통과한 샘플광을 회절시켜, 상기 샘플에 대한 이미지를 복사 및 이동시키는 다중 이미지 형성부; 및상기 다중 이미지 형성부를 통과한 샘플광과 상기 기준광이 합쳐져, 상기 샘플광과 상기 기준광의 간섭 현상에 의해 복수 개의 간섭 이미지를 획득하는 간섭 이미지 획득부;를 포함하고,상기 다중 이미지 형성부는 상기 샘플 이미지 형성부를 통과한 샘플광을 회절시키는 이차원 회절격자를 포함하고,상기 이차원 회절격자에 의해 상기 간섭 이미지 획득부에서 획득된 복수 개의 간섭 이미지가 서로 다른 위상을 갖게 되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제1항에 있어서,상기 복수 개의 간섭 이미지의 위상은 아래의 식에 의해 결정되고,Φ = 2π(mx+ny)/A이때, Φ는 O차 회절광에 대한 위상이고,m은 x방향으로의 회절차수이고,n은 y방향으로의 회절차수이고,A는 상기 이차원 회절격자에서 격자 사이의 간격이고,x, y는 상기 이차원 회절격자의 위치를 나타내며,상기 이차원 회절격자의 위치 조절에 의해 상기 복수 개의 간섭 이미지의 위상이 조절되는 좌표값인 홀로그래픽 현미경 시스템
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제1항에 있어서,상기 다중 이미지 형성부는,상기 샘플 이미지 형성부로부터 이격 배치된 복수 개의 렌즈;를 더 포함하고,상기 이차원 회절격자는 상기 복수 개의 렌즈 사이에 빛의 초점이 맺히는 푸리에 면 상에 배치되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제3항에 있어서,상기 다중 이미지 형성부는,상기 이차원 회절격자의 위치를 조정하는 위치 조정기;를 더 포함하고,상기 이차원 회절격자는 상기 푸리에 면 상에서 위치가 조절되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제1항에 있어서,상기 다중 이미지 형성부를 통과한 샘플광은 상기 간섭 이미지 획득부에서 기준광과 서로 평행하게 합쳐지고,상기 복수 개의 간섭 이미지는 상기 이차원 회절격자에서 X방향 또는 Y방향으로 0차 및 1차 회절에 의해 형성된 이미지인 홀로그래픽 현미경 시스템
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레이저 광을 발생시키는 광원부;상기 광원부에서 발생된 빛을 샘플광 및 기준광으로 나누는 광분배부;관측하고자 하는 샘플을 거치하고, 상기 광분배부로부터 상기 샘플을 향해 입사된 샘플광에 의해 상기 샘플에 대한 이미지를 형성하는 샘플 이미지 형성부;상기 샘플 이미지 형성부를 통과한 샘플광을 회절시켜, 상기 샘플에 대한 이미지를 복사 및 이동시키는 다중 이미지 형성부; 및상기 다중 이미지 형성부를 통과한 샘플광과 상기 기준광이 합쳐져, 상기 샘플광과 상기 기준광의 간섭 현상에 의해 복수 개의 간섭 이미지를 획득하는 간섭 이미지 획득부;를 포함하고,상기 간섭 이미지 획득부는 상기 샘플광 또는 상기 기준광을 편광시키는 복수 개의 편광 부재를 포함하고,상기 복수 개의 편광 부재에 의해 상기 간섭 이미지 획득부에서 획득된 복수 개의 간섭 이미지는 편광 선택적 이미지가 되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제6항에 있어서,상기 복수 개의 편광 부재는,상기 다중 이미지 형성부로부터 이격 배치되어, 상기 샘플광을 편광시키는 제1 편광 부재; 및상기 광분배부로부터 이격 배치되어, 상기 기준광을 편광시키는 제2 편광 부재;를 포함하고,상기 제1 편광 부재 또는 상기 제2 편광 부재의 조합에 의해 상기 샘플의 편광 특성 또는 복굴절 특성이 측정되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제7항에 있어서,상기 제1 편광 부재는,+45도의 편광 축을 갖는 제1 편광 필터; 및-45도의 편광 축을 갖는 제2 편광 필터;를 포함하고,상기 다중 이미지 형성부를 통과한 샘플광은 상기 제1 편광 필터 또는 상기 제2 편광 필터에 의해 편광되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제8항에 있어서,상기 제2 편광 부재는,+90도의 편광 축을 갖는 제3 편광 필터; 및0도의 편광 축을 갖는 제4 편광 필터;를 포함하고,상기 제3 편광 필터 또는 상기 제4 편광 필터에 의해 편광된 기준광은 상기 제1 편광 필터 또는 상기 제2 편광 필터에 의해 편광된 샘플광과 합쳐지는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제6항에 있어서,상기 간섭 이미지 획득부에 연결되어 상기 복수 개의 간섭 이미지를 분석하는 이미지 분석부;를 더 포함하고,상기 이미지 분석부에서 상기 샘플에 대한 복굴절 분포 이미지 또는 상기 샘플에 대한 편파 반응 이미지가 획득되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제6항에 있어서,상기 광원부는,Y축 방향으로 편광된 제1 레이저 광을 발생시키는 제1 광원; 및X축 방향으로 편광된 제2 레이저 광을 발생시키는 제2 광원;을 포함하고,상기 제1 레이저 광 및 상기 제2 레이저 광이 합쳐져 상기 광분배부에 전달되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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제6항에 있어서,상기 다중 이미지 형성부는,상기 샘플 이미지 형성부로부터 이격 배치된 복수 개의 렌즈; 및상기 복수 개의 렌즈 사이에 배치되어 상기 샘플 이미지 형성부를 통과한 샘플광을 X방향 또는 Y방향으로 회절시키는 이차원 회절격자;를 포함하고,상기 이차원 회절격자는 상기 복수 개의 렌즈 사이에 빛의 초점이 맺히는 면에 배치되는 홀로그래픽 현미경 시스템
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