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스테이지;일단이 상기 스테이지에 각각 고정되는 제1 및 제2 지지대;상기 제1 및 제2 지지대의 타단에 각각 고정되는 제1 및 제2 캔틸레버;상기 제1 및 제2 캔틸레버의 일단을 연결하고, 제1 시편을 지지하는 연결부재; 및상기 제1 시편이 마찰되도록 제2 시편을 이동하는 작업대;를 포함하고,상기 연결부재는 상기 제1 및 제2 캔틸레버 사이에 상호 압박 상태로 끼움 결합되는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제1항에 있어서,상기 연결부재는,양측에 상기 제1 및 제2 캔틸레버가 삽입되는 제1 및 제2 결합홈을 구비한 연결판; 및상기 연결판의 일면에 상기 제1 시편이 삽입되는 시편지지홀더;를 포함하는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제1항에 있어서,상기 스테이지는 상기 제1 및 제2 캔틸레버를 X축,Y축 및 Z축 중 적어도 어느 한 축 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 캔틸레버에 부착되는 제1 및 제2 측정장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제5항에 있어서,상기 제1 및 제2 측정장치는 캔틸레버의 변형률을 측정하는 스트레인 게이지인 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제1항에 있어서,상기 제1 시편은,플레이트; 및상기 플레이트의 일면에 간격을 두고 부착되는 복수의 마이크로 스피어;를 포함하는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제7항에 있어서,상기 복수의 마이크로 스피어들이 이루는 무게중심이 상기 플레이트의 무게중심과 일치하는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제7항에 있어서,상기 복수의 마이크로 스피어는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)공정을 통해 형성된 상기 플레이트의 부착홈에 부착되는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제7항에 있어서,상기 복수의 마이크로 스피어들은 각각 상기 플레이트로부터 동일한 돌출 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제7항에 있어서,상기 제1 시편은,상기 플레이트 상단에 추가 웨이트(weight)를 더 가지는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 캔틸레버는 각각 폴리머 필름(Polymer film) 코팅층을 형성하는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제3항에 있어서,상기 시편지지홀더는 내부 벽면에 나노 윤활제가 도포되는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제1항에 있어서,상기 작업대는 구동수단에 의해 가동되는 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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제14항에 있어서,상기 구동수단은 회전형 모터 또는 리니어 모터인 것을 특징으로 하는 저하중 정밀 마찰시험기
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