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2차원 반도체, 이의 제조 방법, 및 이를 포함하는 반도체 소자

  • 기술번호 : KST2019024024
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 두께에 따라 에너지 밴드 간격이 달라지는 특성을 갖는 2차원 반도체, 이의 제조 방법, 및 이를 포함하는 반도체 소자가 개시된다. 일 실시예에 따른 2차원 반도체는 제1 두께로 형성된 제1 레이어와, 제2 두께로 형성된 제2 레이어를 포함하고, 상기 제1 두께와 상기 제2 두께는 서로 상이하고, 상기 제1 레이어는 제1 전극과 제1 접합을 형성하고, 상기 제2 레이어는 제2 전극과 제2 접합을 형성한다.
Int. CL H01L 29/872 (2006.01.01) H01L 29/47 (2006.01.01) H01L 29/45 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 21/285 (2006.01.01)
CPC H01L 29/872(2013.01) H01L 29/872(2013.01) H01L 29/872(2013.01) H01L 29/872(2013.01) H01L 29/872(2013.01)
출원번호/일자 1020160083620 (2016.07.01)
출원인 건국대학교 산학협력단, 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1792953-0000 (2017.10.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.07.01)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정현종 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 김현철 대한민국 서울특별시 강동구
3 이한별 대한민국 경기도 시흥시 정왕시장
4 김학성 대한민국 서울특별시 양천구
5 최성율 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0640695-90
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0576935-09
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2017-0822715-74
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0822716-19
5 등록결정서
Decision to grant
2017.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0736479-99
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
2차원 반도체에 있어서,제1 두께로 형성된 제1 레이어; 제2 두께로 형성된 제2 레이어를 포함하고,상기 제1 두께와 상기 제2 두께는 서로 상이하고,상기 제1 레이어는 제1 전극과 제1 접합을 형성하고, 상기 제2 레이어는 제2 전극과 제2 접합을 형성하는 2차원 반도체
2 2
제1항에 있어서,상기 2차원 반도체는 이황화 텅스텐, 전이금속 칼코게나이드 화합물(Transition Metal Dichalcogenides(TMDs) 및 흑린(black phosphorus) 중에서 적어도 하나인 2차원 반도체
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 접합은 쇼트키 접합 및 오믹 접합 중에서 어느 하나이고, 상기 제2 접합은 쇼트키 접합 및 오믹 접합 중에서 어느 하나인 2차원 반도체
4 4
제2항에 있어서,상기 전이금속 칼코게나이드 화합물은 WSe2, WTe2, MoS2, MoSe2, 및 MoTe2 중에서 적어도 하나를 포함하는 2차원 반도체
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 레이어와 상기 제2 레이어는 반도체 성장(growth), 열 식각법, 화학적 식각법, 레이저 식각법 중에서 적어도 하나를 통해 서로 다른 두께로 형성되는 2차원 반도체
6 6
2차원 반도체 제조 방법에 있어서,제1 두께의 제1 레이어를 형성하는 단계; 및제2 두께의 제2 레이어를 형성하는 단계를 포함하고,상기 제1 두께와 상기 제2 두께는 서로 상이하고,상기 제1 레이어는 제1 전극과 제1 접합을 형성하고, 상기 제2 레이어는 제2 전극과 제2 접합을 형성하는 2차원 반도체 제조 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 2차원 반도체는 이황화 텅스텐, 전이금속 칼코게나이드 화합물(Transition Metal Dichalcogenides(TMDs) 및 흑린(black phosphorus) 중에서 적어도 하나인 2차원 반도체 제조 방법
8 8
제6항에 있어서,상기 제1 접합은 쇼트키 접합 및 오믹 접합 중에서 어느 하나이고, 상기 제2 접합은 쇼트키 접합 및 오믹 접합 중에서 어느 하나인 2차원 반도체 제조 방법
9 9
제7항에 있어서,상기 전이금속 칼코게나이드 화합물은 WSe2, WTe2, MoS2, MoSe2, 및 MoTe2 중에서 적어도 하나를 포함하는 2차원 반도체 제조 방법
10 10
제6항에 있어서,상기 제1 레이어와 상기 제2 레이어는 반도체 성장(growth), 열 식각법, 화학적 식각법, 레이저 식각법 중에서 적어도 하나를 통해 서로 다른 두께로 형성되는 2차원 반도체 제조 방법
11 11
제1 두께로 형성된 제1 레이어와 제2 두께로 형성된 제2 레이어를 포함하는 2차원 반도체;상기 제1 레이어와 제1 접합을 형성하는 제1 전극; 및상기 제2 레이어와 제2 접합을 형성하는 제2 전극을 포함하고,상기 제1 두께와 상기 제2 두께는 서로 상이한 반도체 소자
12 12
제11항에 있어서,상기 제1 접합은 쇼트키 접합이고, 상기 제2 접합은 오믹 접합인 반도체 소자
13 13
제12항에 있어서,상기 제2 두께는 제1 두께보다 큰 반도체 소자
14 14
제11항에 있어서,상기 반도체 소자는 다이오드인 반도체 소자
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1 US10777639 US 미국 FAMILY
2 US20190319096 US 미국 FAMILY
3 WO2018004046 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 US2019319096 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2018004046 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 건국대학교 산학협력단 신진연구지원사업 저차원 물질을 이용한 배리스터 소자연구
2 미래창조과학부 한국과학기술원 글로벌프런티어연구개발사업 신개념 소프트 소자 및 집적회로 아키텍쳐