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다공질의 금속산화물 나노튜브 제조 방법, 이를 통해 제조된 다공질의 금속산화물 나노튜브 및 다공질의 금속산화물 나노튜브를 포함하는 가스 센서

  • 기술번호 : KST2019024260
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 가스 센서는 기판으로부터 공중 부유된 형태의 전극을 갖는 마이크로 히터 및 전극 상에 마련된 ZnO 나노와이어를 주형으로 하여 SnF2, HF, H202 및 H3BO3 중 적어도 어느 하나를 포함하는 전구체 용액을 기초로 생성된 다공질의 금속산화물 나노튜브를 포함한다.
Int. CL C01G 19/02 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01)
CPC C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01)
출원번호/일자 1020170087793 (2017.07.11)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1912892-0000 (2018.10.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20181029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.11)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박인규 대한민국 대전광역시 유성구
2 조인철 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0662148-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0052635-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0251573-20
5 [출원서 등 보정(보완)]보정서
2018.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0571539-58
6 [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서
2018.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0571538-13
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0571537-67
8 등록결정서
Decision to grant
2018.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0619926-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 금속산화물이 성장된 전극을 마련하는 단계; 및양이온을 포함하는 전구체 용액을 이용하여 상기 제1 금속산화물의 표면에 상기 양이온을 포함하는 제2 금속산화물을 생성하는 단계를 포함하고,상기 제2 금속산화물은 상기 제1 금속산화물의 표면에 생성되면서 다공질의 나노튜브 구조를 갖는다공질의 나노튜브 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 제2 금속산화물을 생성하는 단계는,산성을 띄는 상기 전구체 용액으로 상기 제1 금속산화물을 에칭하여 상기 제1 금속산화물을 상기 전구체 용액으로 이온화시키는 단계를 포함하는다공질의 나노튜브 제조 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 전구체 용액은 pH 범위가 3이상 5미만이고, 상기 제2 금속산화물은 내부가 비어 있는 다공질의 나노튜브 구조를 갖는다공질의 나노튜브 제조 방법
4 4
제2항에 있어서,상기 전구체 용액은 pH 범위가 5이상 7미만이고, 상기 제2 금속산화물은 상기 나노튜브 구조의 내부에 상기 제1 금속산화물을 포함하는다공질의 나노튜브 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제1 금속산화물은 ZnO인다공질의 나노튜브 제조 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 전구체 용액은 SnF2, HF 및 H202을 포함하는다공질의 나노튜브 제조 방법
7 7
제6항에 있어서,상기 제2 금속산화물은 SnO2인다공질의 나노튜브 제조 방법
8 8
제6항에 있어서,상기 전구체 용액은 H3BO3을 더 포함하는다공질의 나노튜브 제조 방법
9 9
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 다공질의 나노튜브
10 10
전극을 포함하는 마이크로 히터; 및상기 전극 상에 마련되고 나노튜브 구조이며 상기 나노튜브 구조의 내부와 외부를 경계 짓는 면이 다공질로 이루어진 금속산화물을 포함하고,상기 금속산화물은 적어도 두 개 이상의 독성 가스와 반응하고, 상기 독성 가스와 반응하는 경우 저항이 변하는가스 센서
11 11
제10항에 있어서,상기 금속산화물은 SnO2인가스 센서
12 12
제10항에 있어서,상기 나노튜브 구조의 내부에 마련되고 상기 금속산화물과 다른 종류의 금속산화물을 더 포함하는가스 센서
13 13
제12항에 있어서,상기 금속산화물은 SnO2이고,상기 다른 종류의 금속산화물은 ZnO인가스 센서
14 14
제10항에 있어서,상기 마이크로 히터는,상기 전극이 기판으로부터 공중 부유된 형태를 갖는가스 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.