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후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치에 있어서,인쇄전극이 형성된 투명기판의 하부에 배치되는 광원을 포함하며,상기 광원은 하부에서 상부를 향하는 상향식으로 상기 투명기판의 후면을 광 조사하는 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치
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제 1항에 있어서,상기 광원은 300 내지 1100 nm의 파장을 가지는 고강도 펄스 광원인 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치
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제 2항에 있어서,상기 광원은 파장폭(bandwidth)이 10 nm 이상인 고강도 펄스 광원인 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치
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제 1항에 있어서,상기 투명기판은 롤투롤(roll-to-roll) 방식으로 연속적으로 공급되고, 상기 광원은 상기 투명기판의 이동경로를 따라 복수 개가 설치되며, 복수 개의 상기 광원 중 적어도 어느 하나의 상기 광원은 상향식인 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치
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제 4항에 있어서,복수 개의 상기 광원은 상향식으로 배치되는 제1광원과 하향식으로 배치되는 제2광원을 포함하며, 상기 투명기판의 이동경로를 따라 상향식으로 상기 제1광원을 설치하고, 상기 제1광원 이전의 이동경로에 하향식으로 상기 제2광원을 설치하는 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치
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제 5항에 있어서,하향식으로 배치되는 상기 제2광원은 상향식으로 배치되는 상기 제1광원보다 낮은 펄스광 에너지 또는 낮은 전력을 공급하는 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치
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제 4항에 있어서,복수 개의 상기 광원 중 상기 투명기판과 첫 번째로 대면하는 상기 광원은 상향식이며, 복수 개의 상기 광원은 상향식 및 하향식이 교차되어 배치되는 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치
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제 4항에 있어서,복수 개의 상기 광원 중 상기 투명기판과 첫 번째로 대면하는 상기 광원은 상향식이며, 복수 개의 상기 광원 두 번째 이후로는 하향식으로 배치되는 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 장치
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후면조사를 이용한 상향식 광 소결 방법에 있어서,인쇄전극이 형성된 투명기판의 하부에 광원을 배치하는 단계와;상기 광원을 하부에서 상부를 향하는 상향식으로 상기 투명기판의 후면을 광 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 방법
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제 9항에 있어서,상기 투명기판의 후면을 광조사하는 단계는,상기 투명기판이 롤투롤(roll-to-roll) 방식으로 연속적으로 공급되고, 상기 광원은 상기 투명기판의 이동경로를 따라 복수 개가 설치되며, 복수 개의 상기 광원 중 적어도 어느 하나의 상기 광원이 상향식인 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 방법
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제 9항에 있어서,상기 투명기판은,폴리에스터계 고분자, 폴리카보네이트계 고분자, 폴리이미드계 고분자, 폴리에테르술폰계 고분자, 종이, 유리 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 후면조사를 이용한 상향식 광 소결 방법
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