맞춤기술찾기

이전대상기술

두꺼운 트렌치바닥을 갖는 트렌치 게이트형 탄화규소 모스펫 제조방법

  • 기술번호 : KST2019024840
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 두꺼운 트렌치바닥을 갖는 트렌치 게이트형 탄화규소 MOSFET 제조방법에 있어서, p형 베이스의 상부에 이온주입 마스크를 배치하고, 상기 이온주입 마스크를 이용하여 p형 소스를 형성하는 단계와; 식각 마스크를 이용하여 트렌치를 식각하는 단계와; 선택 식각이 가능한 산화막 유전체로 상기 트렌치를 채우는 단계와; 상기 산화막 유전체를 식각하여 트렌치바닥을 형성하는 단계를 포함하는 것을 기술적 요지로 한다. 이에 의해 트렌치 형성을 위한 식각 마스크를 이용하여 두꺼운 트렌치바닥을 얻기 위해 트렌치 내에 채워져 있는 산화막 유전체를 식각할 때 발생하는 n형 소스 및 p형 소스의 식각을 방지하면서 두꺼운 트렌치바닥을 얻을 수 있다.
Int. CL H01L 29/423 (2006.01.01) H01L 29/16 (2006.01.01) H01L 29/66 (2006.01.01)
CPC H01L 29/4236(2013.01) H01L 29/4236(2013.01) H01L 29/4236(2013.01)
출원번호/일자 1020170087140 (2017.07.10)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0006313 (2019.01.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.03.26)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 강인호 대한민국 경상남도 진주시 강남로 **,
2 김상철 대한민국 경상남도 창원시 성산구
3 김형우 대한민국 경상남도 창원시 성산구
4 나문경 대한민국 경상남도 창원시 성산구
5 문정현 대한민국 경상남도 김해시 율하*로 **, *
6 방욱 대한민국 경상남도 창원시 성산구
7 석오균 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인부경 대한민국 부산광역시 연제구 법원남로**번길 **, *층 (거제동, 대한타워)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0657171-10
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2020.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-0318270-18
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.11.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
두꺼운 트렌치바닥을 갖는 트렌치 게이트형 탄화규소 MOSFET 제조방법에 있어서,p형 베이스의 상부에 이온주입 마스크를 배치하고, 상기 이온주입 마스크를 이용하여 p형 소스를 형성하는 단계와;식각 마스크를 이용하여 트렌치를 식각하는 단계와;선택 식각이 가능한 산화막 유전체로 상기 트렌치를 채우는 단계와;상기 산화막 유전체를 식각하여 트렌치바닥을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 두꺼운 트렌치바닥을 갖는 트렌치 게이트형 탄화규소 MOSFET 제조방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 p형 소스를 형성하는 단계에서,상기 p형 소스는, 0
3 3
제 1항에 있어서,상기 식각 마스크를 이용하여 트렌치를 식각하는 단계에서,상기 식각 마스크는, 상기 산화막 유전체와 상이한 소재로 이루어지며, 상기 산화막 유전체보다 식각 속도가 느린 소재를 사용하는 것을 특징으로 하는 두꺼운 트렌치바닥을 갖는 트렌치 게이트형 탄화규소 MOSFET 제조방법
4 4
제 3항에 있어서,상기 식각 마스크는, 질화막인 것을 특징으로 하는 두꺼운 트렌치바닥을 갖는 트렌치 게이트형 탄화규소 MOSFET 제조방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 식각 마스크를 이용하여 트렌치를 식각하는 단계에서,상기 식각 마스크는, 상기 산화막 유전체와 동일한 소재로 이루어지며, 상기 트렌치바닥보다 두꺼운 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 두꺼운 트렌치바닥을 갖는 트렌치 게이트형 탄화규소 MOSFET 제조방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 트렌치를 산화막 유전체로 채우는 단계에서,상기 산화막 유전체는, 상기 트렌치의 폭에 대해 0
7 7
제 1항에 있어서,상기 트렌치바닥을 형성하는 단계 이후에,상기 트렌치바닥 주변에 게이트 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 두꺼운 트렌치바닥을 갖는 트렌치 게이트형 탄화규소 MOSFET 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.