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기판;상기 기판에 정렬되어 결합되고, 3-아미노프로필트리에톡시실란(3-APTES) 및 글루타르알데하이드(Glutaraldehyde) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 기능성 물질이 코팅되는 복수 개의 실리콘 나노 구조체; 상기 실리콘 나노 구조체 상부에 배치된 그래핀층; 및 상기 기판의 하부 및 상기 그래핀 층의 상부에 각각 형성된 전극을 포함하고,상기 기능성 물질을 통하여 상기 실리콘 나노 구조체 표면에 부착되는 기 설정된 프로브 DNA(probe DNA)에 대하여 쌍을 이루는 타겟 DNA(target DNA)의 부착 여부에 따른 전류량 변화를 검출하여 DNA를 식별하며,상기 실리콘 나노 구조체의 표면은공유결합을 생성하며 NH2를 포함하는 상기 3-아미노프로필트리에톡시실란과, 아미노기(-NH2)와 반응하여 다리결합하는 단백질의 화학 수식제인 상기 글루타르알데하이드가 결합되어 상기 프로브 DNA와의 결합력을 높이는 그래핀/실리콘 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 실리콘 나노 구조체는상기 프로브 DNA의 결합력을 위한 상기 기능성 물질이 코팅된 것을 특징으로 하는 그래핀/실리콘 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 기능성 물질은상기 실리콘 나노 구조체의 표면 간 강한 공유결합을 생성함으로써, 상기 실리콘 나노 구조체의 표면과 상기 프로브 DNA를 부착시키는 물질인 것을 특징으로 하는 그래핀/실리콘 바이오 센서
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제1항에 있어서,상기 전극은은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 백금(Pt) 및 이들의 합금 중 적어도 어느 하나의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀/실리콘 바이오 센서
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기판, 상기 기판에 정렬되어 결합되며 3-아미노프로필트리에톡시실란(3-APTES) 및 글루타르알데하이드(Glutaraldehyde) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 기능성 물질이 코팅된 복수 개의 실리콘 나노 구조체, 상기 실리콘 나노 구조체 상부에 배치된 그래핀층, 및 상기 기판의 하부 및 상기 그래핀층의 상부에 각각 형성된 전극을 포함하는 그래핀/실리콘 바이오 센서; 및상기 기능성 물질을 통하여 상기 실리콘 나노 구조체 표면에 부착되는 기 설정된 프로브 DNA에 대하여 쌍을 이루는 타겟 DNA의 부착 여부에 따른 전류량의 변화를 검출하여 DNA를 식별하는 검출부를 포함하되,상기 실리콘 나노 구조체의 표면은공유결합을 생성하며 NH2를 포함하는 상기 3-아미노프로필트리에톡시실란과, 아미노기(-NH2)와 반응하여 다리결합하는 단백질의 화학 수식제인 상기 글루타르알데하이드가 결합되어 상기 프로브 DNA와의 결합력을 높이는그래핀/실리콘 바이오 센서를 이용한 DNA 검출 장치
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