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기판 상부에 희생층 패턴과 상기 희생층 패턴 상에 마련되는 태양전지층을 형성하는 단계;상기 태양전지층을 덮는 포토레지스트를 포토리소그래피 공정으로 패터닝하는 단계;접착력이 있는 스탬프를 사용하여 상기 태양전지층을 부착시키고, 상기 태양전지층과 상기 스탬프 사이와, 상기 태양전지층의 측면에 포토레지스트가 남겨지도록 상기 기판으로부터 상기 태양전지층을 떼어내는 단계;금속층이 증착된 유연 기판을 준비하는 단계; 상기 태양전지층이 부착된 상기 스탬프와 상기 유연 기판을 접합하는 단계; 상기 태양전지층과 상기 스탬프 사이에 형성된 포토레지스트와 상기 태양전지층의 측면에 형성된 포토레지스트를 녹이는 단계; 및상기 기판으로부터 상기 스탬프를 떼어내는 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 기판 상부에 일정한 패턴을 갖는 태양전지층을 형성하는 단계는,희생층을 포함하는 기판을 준비하고 상면에 태양전지층 및 상부 전극을 패터닝하는 단계, 상기 희생층을 상기 태양전지층 보다 큰 면적을 갖도록 패터닝하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제 2항에 있어서, 상기 태양전지층을 덮는 포토레지스트를 포토리소그래피로 패터닝하는 단계 이후에는, 상기 희생층 만을 선택적으로 제거하는 언더컷 공정을 실시하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판으로부터 태양전지층을 떼어내는 단계 이후에,상기 태양전지층 하부에 마스크를 형성하여 상기 태양전지층의 바닥면에 하부 전극을 형성하는 단계를 수행하는 태양전지의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 기판으로부터 태양전지층을 떼어내는 단계에서, 상기 태양전지층의 상면과 측면은 포토레지스트에 둘러싸인 상태로 상기 스탬프에 부착되어 기판과 분리되는 태양전지의 제조 방법
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제 5항에 있어서,상기 태양전지층은 다수개의 사각형 형상으로 패터닝되며, 상기 태양전지층의 상면에는 바 형상의 상부 전극이 패터닝되는 태양전지의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 태양전지층이 부착된 스탬프와 유연 기판을 접합하는 단계는, 상기 태양전지층을 상기 스탬프와 유연 기판 사이에 배치하고 상기 기판과 스탬프 사이에 잔존하는 공기를 제거하는 태양전지의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 태양전지층을 감싸고 있는 포토레지스트를 녹이는 단계는, 상기 포토레지스트에 80kPa의 압력과 170도의 열을 가하여 상기 포토레지스트가 상기 태양전지층의 상면과 측면을 덮도록 하는 태양전지의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 태양전지층을 감싸고 있는 포토레지스트를 녹이는 단계에서, 상기 유연 기판 상면에 마련된 금속층과 상기 태양전지의 바닥면이 접착하도록 저온접합 공정을 실시하는 태양전지의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 스탬프는 접착력을 가진 탄성 중합체 스탬프(elastomeric stamp)에 PI(polyimide) 필름, polyethylene, PET (polyethylene terephthalate), polyester 중에 선택되는 하나에 탄성 중합체 용액을 스핀 코팅하고, 이를 또다른 탄성 중합체 스탬프(elastomeric stamp)와 다시 접착한 3중 구조의 필름 스탬프인 태양전지의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 유연 기판으로 태양전지층을 전사한 후에, 상기 태양전지층 간의 전기적 연결 구조를 형성하는 과정을 수행하는 태양전지의 제조 방법
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제 11항에 있어서,상기 태양전지층 간의 전기적 연결 구조를 형성하는 과정은,상기 유연 기판 상의 금속층을 패터닝하여 전극 패턴을 형성하는 단계, 상기 유연 기판 상부에 배치된 태양전지층을 덮도록 포토레지스트를 도포하는 단계, 상기 태양전지층 상부에 마련된 상부 전극 및 하부에 마련된 전극 패턴의 일부가 노출되도록 홀을 형성하는 단계, 이웃하는 태양전지층의 전극 패턴과 상부 전극이 서로 전기적으로 연결되도록 금속 배선을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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