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기판 상에 투명막층을 형성하는 단계;상기 투명막층 상에 자기정렬된 마이크로 구슬 구조체를 형성하는 단계;상기 마이크로 구슬 구조체를 식각하여 간극을 형성하는 단계;상기 마이크로 구슬 구조체를 마스크로 이용하여, 상기 마이크로 구슬 구조체의 간극에 노출된 상기 투명막층만을 선택적으로 식각하여 주기적 구조를 갖는 나노 패턴 지지대를 형성하는 단계;상기 투명막층은 식각하지 않고 상기 마이크로 구슬의 표면만을 선택적으로 식각하는 가스를 이용하여 상기 마이크로 구슬 구조체를 2차 식각하여 나노 패턴 영역을 오픈하는 단계;상기 나노 패턴 영역에 금속을 증착하여 금속 나노 패턴을 형성하는 단계; 및상기 마이크로 구슬 구조체를 제거하는 단계를 포함하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 유리, 사파이어, 퀄츠, 실리콘, PC(Polycarbonate), PES( Polyethersulfone), PET(Polyethylene terephthalate), PEN(Polyethylene naphthalate), COC(Cyclic olefin copolymer) 및 PDMS(Polydimethylsiloxane) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 투명막층은 ZnO, TiO2, SiO2 및 ITO 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 기판 상에 상기 투명막층을 형성하는 단계는,상기 투명막층의 높이가 상기 금속 나노 패턴과 상기 기판 사이의 분리 거리가 되도록 증착하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 금속 나노 패턴과 상기 기판 사이의 분리 거리는 20nm 이상 3㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 투명막층 상에 자기정렬된 상기 마이크로 구슬 구조체를 형성하는 단계는,에탄올, 메탄올, 프로판올, 부탄올, 펜타놀 또는 그 혼합물 중 어느 하나인 용매에 상기 마이크로 구슬을 분산시켜 콜로이드 용액을 형성하는 단계;상기 콜로이드 용액을 물에 분산시켜 상기 마이크로 구슬이 물의 표면에 마이크로 구슬 단일층을 형성하는 단계;상기 마이크로 구슬 단일층이 형성된 물 표면에 계면활성제를 첨가하여 자기정렬된 마이크로 구슬 구조체를 형성하는 단계; 및상기 투명막층이 증착되어 있는 기판으로 상기 마이크로 구슬 구조체를 떠올려 상기 투명막층 상에 상기 마이크로 구슬 구조체를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 마이크로 구슬은 100nm 이상 5㎛ 이하인 나노 혹은 마이크로 크기의 구슬인 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 마이크로 구슬은 산화물, 질화물, 황화물, 또는 금속일 수 있고, 상기 투명막층과 다른 물질로 선택되어 상기 투명막층과 선택적 식각이 가능한 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 마이크로 구슬 구조체를 식각하여 간극을 형성하는 단계는,상기 투명막층은 식각하지 않고 상기 마이크로 구슬의 표면만을 선택적으로 식각하는 가스를 이용하여 상기 마이크로 구슬 사이에 주기적인 간극을 형성하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 마이크로 구슬 구조체를 2차 식각하여 나노 패턴 영역을 오픈하는 단계는,상기 마이크로 구슬의 식각 정도를 조절하여, 형성될 상기 금속 나노 패턴의 너비를 조절하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 나노 패턴 영역에 금속을 증착하여 상기 금속 나노 패턴을 형성하는 단계는,상기 기판에 대한 금속 증착 각도를 조절하여 형성되는 상기 금속 나노 패턴의 형상을 조절하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 나노 패턴은 나노링 또는 나노초승달 형상인 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 나노 패턴은 Ni, Cu, Zn, Au, Ag, Pt, Al, Ti, Pd, Cr 및 이들의 합금 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 마이크로 구슬 구조체를 제거하는 단계는,소니케이션(Sonication) 또는 물리적 박리법(tape stripping method)를 이용하여 상기 기판으로부터 상기 마이크로 구슬 구조체를 제거하는 것을 특징으로 하는 주기적 금속 나노 패턴의 제조 방법
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