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레이저 발생기로부터 광을 입력받아 복수의 안테나 소자 도파로로 분배하는 광분배부;상기 복수의 안테나 소자 도파로에 전기장을 가하여 상기 안테나 소자 도파로를 통해 전파되는 광의 위상을 변조하는 위상 변조부; 및상기 위상 변조부에서 변조된 광을 출력하는 광출력부;를 포함하고, 상기 광분배부, 상기 위상 변조부, 및 상기 광출력부는 베이스부와 상기 베이스부의 상부에 구비되고 상기 복수의 안테나 소자 도파로를 포함하는 광도파로를 포함하여 형성되고,상기 광출력부는, 상기 안테나 소자 도파로의 높이를 변화시켜 형성되되, 상기 안테나 소자 도파로의 높이를 더 높게 한 회절 격자를 복수개 이격하여 구비함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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제 1 항에 있어서, 상기 광분배부는 상기 레이저 발생기로부터의 상기 광이 입력되는 광입력부와 상기 광입력부로 입력된 광을 복수로 분할하는 광분할부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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제 2 항에 있어서, 상기 광입력부는 광이 입력되는 부분이 좁고 상기 위상 변조부 방향으로 폭이 커지는 역테이퍼 형상인 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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제 1 항에 있어서, 상기 위상 변조부는, 상기 안테나 소자 도파로에 전기장을 형성하도록 상기 안테나 소자 도파로의 양측에 구비된 제 1 전극과 제 2 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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제 1 항에 있어서,상기 베이스부는, 제 1 레이어와 상기 제 1 레이어 상부면에 형성된 제 2 레이어를 포함하고, 상기 광도파로는 상기 제 2 레이어의 상부면에 구비되는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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제 5 항에 있어서, 상기 제 2 레이어는, 비선형 광학 물질층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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7
제 6 항에 있어서, 상기 비선형 광학 물질층은 리튬 나이오베이트, 리튬 탄탈레이트, 리튬 트라이보레이트, 베타바륨 보레이트, 및 포타슘 타이타닐 포스페이트 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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8
제 6 항에 있어서, 상기 안테나 소자 도파로는 메인 도파로층과 상기 메인 도파로층의 상부에 구비된 보조 도파로층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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9
제 8 항에 있어서, 상기 메인 도파로층은 질화 실리콘을 포함하여 형성되고, 상기 도파로층은 실리콘을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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레이저 발생기로부터 광을 입력받아 복수의 안테나 소자 도파로로 분배하는 광분배부;상기 복수의 안테나 소자 도파로에 전기장을 가하여 상기 안테나 소자 도파로를 통해 전파되는 광의 위상을 변조하는 위상 변조부; 및상기 위상 변조부에서 변조된 광을 출력하는 광출력부;를 포함하고, 상기 광분배부, 상기 위상 변조부, 및 상기 광출력부는 베이스부와 상기 베이스부의 상부에 구비되고 상기 복수의 안테나 소자 도파로를 포함하는 광도파로를 포함하여 형성되고,상기 광출력부는, 상기 안테나 소자 도파로의 폭을 변화시켜 형성되되, 상기 안테나 소자 도파로의 양측에 측방향 돌출부를 복수개 구비함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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레이저 발생기로부터 광을 입력받아 복수의 안테나 소자 도파로로 분배하는 광분배부;상기 복수의 안테나 소자 도파로에 전기장을 가하여 상기 안테나 소자 도파로를 통해 전파되는 광의 위상을 변조하는 위상 변조부; 및상기 위상 변조부에서 변조된 광을 출력하는 광출력부;를 포함하고, 상기 광분배부, 상기 위상 변조부, 및 상기 광출력부는 베이스부와 상기 베이스부의 상부에 구비되고 상기 복수의 안테나 소자 도파로를 포함하는 광도파로를 포함하여 형성되고, 상기 광출력부는, 상기 안테나 소자 도파로를 절단하여 이격시킨 복수의 징검다리부를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 광 위상 배열 안테나
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레이저 발생기;제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 광 위상 배열 안테나;상기 광 위상 배열 안테나에서 방사된 후 물체에 의해 반사된 광을 수신하는 광 수신부; 및상기 광 수신부에서 수신된 신호를 처리하는 신호처리부;를 포함하는 라이다
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