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직접적인 온도 측정수단을 구비한 단결정 성장 장치 및 이를 이용한 단결정 성장 방법

  • 기술번호 : KST2019025340
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원 발명은 온도제어의 정확도를 향상시킬 수 있는 단결정 성장 장치 및 이를 이용한 단결정의 성장 방법에 대한 것으로 보다 구체적으로는 단결정 성장용 원료가 투입되는 도가니; 상기 도가니를 감싸면서 가열하는 가열수단; 상기 도가니의 온도를 측정할 수 있는 제 1 온도 측정수단; 상기 도가니 상부에 구비되고 선단에 단결정의 시드(seed)가 고정되는 단결정 인상수단; 및 상기 단결정 인상수단의 길이 방향 축을 따라 내부에 구비되며 선단의 단결정 시드 및 단결정 인상수단의 축 방향 온도 구배를 측정할 수 있는 제 2 온도 측정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치 및 상기 온도 측정수단을 이용한 온도 모니터링 결과와 단결정 성장 장치의 파워 제어장치를 연동하여 실시간으로 용융물의 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법에 대한 것이다. 본원 발명에 따른 단결정 성장장치는 결정 성장용 원료의 표면온도와 단결정 성장 장치 내부의 온도를 정확히 측정하고 단결정 성장 장치의 파워 제어장치와 연동하여 실시간으로 용융물의 온도를 제어할 수 있는 장점이 있어 작업자간 경험 및 숙련도의 차이로 인한 단결정의 품질의 편차를 줄일 수 있으므로 단결정 생산의 효율성을 향상시킬 수 있다.
Int. CL C30B 15/20 (2006.01.01) C30B 29/06 (2006.01.01) C30B 29/20 (2006.01.01) C30B 29/36 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC C30B 15/20(2013.01) C30B 15/20(2013.01) C30B 15/20(2013.01) C30B 15/20(2013.01) C30B 15/20(2013.01) C30B 15/20(2013.01)
출원번호/일자 1020150183936 (2015.12.22)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자 10-1744924-0000 (2017.06.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170608) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.12.22)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영국 대한민국 대전광역시 유성구
2 심장보 대한민국 대전광역시 서구
3 정택모 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인필앤온지 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-1258802-73
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0145579-94
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.11.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0811939-48
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0030704-62
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2017-0030703-16
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0370557-78
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
단결정 성장용 원료가 투입되는 도가니; 상기 도가니를 감싸면서 가열하는 가열수단;상기 도가니의 온도를 측정할 수 있는 제 1 온도 측정수단;상기 도가니 상부에 구비되고 선단에 단결정의 시드(seed)가 고정되며 회전하면서 생성되는 단결정을 도가니의 상부 방향으로 인상할 수 있는 단결정 인상수단; 및상기 단결정 인상수단의 길이 방향 축을 따라 내부에 구비되며 선단의 단결정 시드 및 단결정 인상수단의 축 방향 온도 구배를 측정할 수 있는 제 2 온도 측정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
2 2
청구항 1에 있어서,상기 제 1 온도 측정수단 및 제 2 온도 측정수단은 서모커플(thermocouple)인 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
3 3
삭제
4 4
청구항 1에 있어서,상기 도가니는 이리듐(Ir) 도가니인 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
5 5
청구항 1에 있어서,상기 도가니는 지르코늄산화물 버블(ZrO2 bubble)로 둘러싸인 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
6 6
청구항 1에 있어서,상기 단결정 성장장치는 지르코늄산화물(ZrO2)을 포함하는 내화물로 둘러싸인 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
7 7
도가니에 단결정 성장용 원료를 투입하는 원료투입단계;상기 도가니의 온도를 측정할 수 있는 제 1 온도 측정수단으로 온도를 측정하면서 도가니를 가열하여 단결정 성장용 원료를 용융시키는 원료용융단계;상기 도가니 상부에 구비되고 선단에 단결정의 시드(seed)가 고정되며 회전하면서 생성되는 단결정을 도가니의 상부 방향으로 인상할 수 있는 단결정 인상수단의 길이 방향 축을 따라 내부에 구비되며 선단의 단결정 시드 및 단결정 인상수단의 축 방향 온도 구배를 측정할 수 있는 제 2 온도 측정수단으로 단결정 성장 장치의 내부의 온도를 측정하는 단결정 성장 장치 내부온도 측정 단계;상기 제 1 온도 측정수단과 제 2 온도 측정 수단으로 측정된 온도로부터 굿딥(good dip) 조건 판단단계; 및상기 단결정 인상수단을 이용하여 단결정을 성장하는 단결정 성장단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법
8 8
청구항 7에 있어서,상기 제 1 온도 측정수단 및 제 2 온도 측정수단을 이용한 온도측정은 서모커플(thermocouple)을 이용한 직접적인 온도측정인 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법
9 9
삭제
10 10
청구항 8에 있어서,상기 단결정 성장 방법은 상기 서모커플을 통한 온도 모니터링 결과와 단결정 성장 장치의 파워 제어장치를 연동하여 실시간으로 용융물과 성장장치 내부의 온도를 제어하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국화학연구원 소재부품기술개발사업 (RCMS)산업 및 의료용 고출력 고체레이어 제작을 위한 6인치급 대구경 RE:YAG단결정소재개발