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거울면을 갖는 대상물에 대한 기울기 변화 각도를 측정하는 기울기 측정 센서에 있어서, 광을 제공하는 광원;상기 광원으로부터 제공된 빔을 편광 성분에 따라 제1 빔과 제2 빔으로 나누고 제1 빔과 제2 빔을 상기 대상물의 거울면을 향해 평행빔으로 출사시키도록 구성된 제1 광학 소자;상기 대상물의 거울면으로부터 반사된 제1 빔과 제2 빔이 평행빔으로 입사되고, 입사된 제1 빔과 제2 빔이 동일한 광경로로 진행되도록 구성된 제2 광학 소자; 상기 대상물의 거울면의 기울기 변화에 의해 광경로차를 갖는 상기 제1빔과 제2빔를 복조하여 제1빔과 제2빔에 대한 I 출력 신호(In-phase Signal ; vI) 및 Q 출력 신호(Quadrature-phase Signal; vQ)를 검출하여 출력하는 I/Q 복조기;를 구비하고, 제1 빔과 제2 빔은 동일한 광 경로 길이를 갖도록 구성되되, 상기 대상물의 거울면의 기울기의 변화에 의해 제2 광학 소자를 출사하는 제1 빔과 제2 빔에 광경로차가 발생되도록 구성된 것을 특징으로 하는 기울기 측정 센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 광학 소자는상기 광원으로부터 제공된 빔을 편광 성분에 따라 제1 빔과 제2 빔으로 나누고, 제1빔은 통과시켜 상기 대상물의 거울면으로 제공하고 제2 빔은 반사시켜 출력하는 제1 편광빔스플리터(PBS);제1 PBS로부터 반사되어 출력된 제2빔을 반사시켜 상기 제1 빔과 평행빔이 되도록 하여 상기 대상물의 거울면으로 제공하는 제1 광경로 변경 소자;로 구성된 것을 특징으로 하는 기울기 측정 센서
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제2항에 있어서, 상기 제1 광경로 변경 소자는 프리즘 또는 반사경으로 구성된 것을 특징으로 하는 기울기 측정 센서
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제1항에 있어서, 상기 제1 광학 소자는 측면 빔 디스플레이서(Lateral Beam Displacer)로 구성되며, 상기 측면 빔 디스플레이서는 상기 광원으로부터 제공된 빔을 편광 성분에 따라 제1 빔과 제2 빔으로 나누고, 제1 빔은 통과시켜 상기 대상물의 거울면으로 제공하고, 제2 빔은 반사시킨 후 다시 반사시켜, 제1 빔과 제2 빔이 서로 평행빔이 되어 출사되도록 하는 것을 특징으로 하는 기울기 측정 센서
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제1항에 있어서, 상기 제2 광학 소자는 제1 빔과 제2 빔이 서로 평행빔으로 입사되고, 상기 대상물의 거울면으로부터 반사된 제2 빔이 진행되는 광 경로상에 배치된 제2 PBS;상기 대상물의 거울면으로부터 반사된 제1 빔이 진행되는 경로상에 배치되되, 상기 제1빔이 상기 제2 PBS로 입사되어 제2빔과 동일한 광경로로 진행되도록 구성된 제2 광경로 변경 소자;로 구성된 것을 특징으로 하는 기울기 측정 센서
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제5항에 있어서, 상기 제2 광경로 변경 소자는 프리즘 또는 반사경으로 구성된 것을 특징으로 하는 기울기 측정 센서
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제1항에 있어서, 상기 제2 광학 소자는 측면 빔 디스플레이서(Lateral Beam Displacer)로 구성되며, 상기 측면 빔 디스플레이서는 상기 대상물의 거울면으로부터 반사된 제1 빔과 제2 빔이 평행빔으로 입사되고, 제2빔은 통과시켜 출사시키고, 제1 빔은 반사시킨 후 다시 반사시켜, 제1 빔과 제2 빔이 동일한 광경로로 출사되도록 하는 것을 특징으로 하는 기울기 측정 센서
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제1항에 있어서, 상기 I/Q 복조기는 호모다인 I/Q 복조기 또는 헤테로다인 I/Q 복조기로 구성된 것을 특징으로 하는 기울기 측정 센서
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9
거울면을 갖는 대상물에 대한 기울기 변화 각도를 측정하는 기울기 측정 장치에 있어서, 상기 대상물의 거울면의 기울기 변화에 의해 발생된 제1빔과 제2빔의 광경로차에 따른 I 출력 신호 및 Q 출력 신호를 검출하여 출력하는 기울기 측정 센서;상기 기울기 측정 센서에 의해 검출된 I 출력 신호 및 Q 출력 신호를 이용하여 상기 대상물의 거울면의 기울기 변화 각도를 측정하여 제공하는 제어부;를 구비하고, 상기 기울기 측정 센서는,광을 제공하는 광원;상기 광원으로부터 제공된 빔을 편광 성분에 따라 제1 빔과 제2 빔으로 나누고 제1 빔과 제2 빔을 상기 대상물의 거울면을 향해 평행빔으로 출사시키도록 구성된 제1 광학 소자;상기 대상물의 거울면으로부터 반사된 제1 빔과 제2 빔이 평행빔으로 입사되고, 입사된 제1 빔과 제2 빔이 동일한 광경로로 진행되도록 구성된 제2 광학 소자; 상기 대상물의 거울면의 기울기 변화에 의해 광경로차를 갖는 상기 제1빔과 제2빔를 복조하여 제1빔과 제2빔에 대한 I 출력 신호(In-phase Signal ; vI) 및 Q 출력 신호(Quadrature-phase Signal; vQ)를 검출하여 출력하는 I/Q 복조기;를 구비하고, 제1 빔과 제2 빔은 동일한 광 경로 길이를 갖도록 구성되되, 상기 대상물의 거울면의 기울기의 변화에 의해 제2 광학 소자를 출사하는 제1 빔과 제2 빔에 광경로차가 발생되도록 구성된 것을 특징으로 하는 기울기 측정 장치
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삭제
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제9항에 있어서, 상기 I/Q 복조기는 호모다인 I/Q 복조기 또는 헤테로다인 I/Q 복조기로 구성된 것을 특징으로 하는 기울기 측정 장치
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제9항에 있어서, 상기 제어부는 상기 기울기 측정 센서로부터 제공된 I 출력 신호와 Q 출력 신호를 이용하여 아래의 수학식에 따라 거울의 기울기 변화 각도를 측정하는 것을 특징으로 하는 기울기 측정 장치
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