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이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2019025618
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템 및 방법에 관한 것으로, 제1 이차원 물질 및 제2 이차원 물질의 편광 라만 신호로부터 각각의 격자방향을 검출하는 분광부와, 제1 이차원 물질을 장착하는 회전 스테이지와, 회전 스테이지와 대물렌즈 사이에 설치되어 상기 제2 이차원 물질을 장착하는 구동부 및 제1 이차원 물질과 상기 제2 이차원 물질의 격자방향을 비교하고, 비교결과에 따라 회전 스테이지를 소정 각도로 회전시켜 격자방향을 제어하며, 구동부를 하강시켜 제1 이차원 물질에 상기 제2 이차원 물질을 전사함으로써, 이종접합 물질을 형성하는 제어부를 포함하고, 제어부는 전사 공정시 제1 이차원 물질과 제2 이차원 물질이 접합을 이루기 위해 밴드구조 및 포논구조를 유지하도록 각 격자방향 사이의 각도를 보정하는 구동을 연속적으로 실행하는를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G03F 7/16 (2006.01.01) G03F 7/06 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01) G03F 7/161(2013.01)
출원번호/일자 1020160089350 (2016.07.14)
출원인 서강대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1801968-0000 (2017.11.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171228) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.07.14)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정현식 대한민국 서울특별시 강남구
2 김민정 대한민국 서울특별시 강서구
3 이재웅 대한민국 경기도 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충현 대한민국 서울특별시 서초구 동산로 **, *층(양재동, 베델회관)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서강대학교산학협력단 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0683612-63
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2016-0688983-47
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.11 수리 (Accepted) 4-1-2017-5005781-67
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.01.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.04.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0055126-26
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0323660-82
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0645064-07
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0645050-68
9 등록결정서
Decision to grant
2017.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0793530-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5014626-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1 이차원 물질 및 제2 이차원 물질의 편광 라만 신호로부터 각각의 격자방향을 검출하는 분광부; 상기 제1 이차원 물질을 장착하는 회전 스테이지;상기 회전 스테이지와 대물렌즈 사이에 설치되어 상기 제2 이차원 물질을 장착하는 구동부; 및상기 제1 이차원 물질과 상기 제2 이차원 물질의 격자방향을 비교하고, 비교결과에 따라 상기 회전 스테이지를 소정 각도로 회전시켜 격자방향을 제어하며, 상기 구동부를 하강시켜 상기 제1 이차원 물질에 상기 제2 이차원 물질을 전사함으로써, 이종접합 물질을 형성하는 제어부;를 포함하고,상기 제어부는 상기 전사 공정시 상기 제1 이차원 물질과 상기 제2 이차원 물질이 접합을 이루기 위해 밴드구조 및 포논구조를 유지하도록 상기 각 구조의 격자방향 사이의 각도를 보정하는 구동을 연속적으로 실행하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
2 2
제1항에 있어서, 상기 분광부는,상기 이차원 물질이 등방성을 가지는 물질인 경우 상기 이차원 물질의 대칭성을 깨트리고 난 후 편광 라만 분광 신호를 측정하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
3 3
제1항에 있어서, 상기 분광부는,입사하는 레이저 빔의 방향을 변화시켜주는 제1 편광자(polarizer) 및라만 산란된 신호들 중에서 특정 편광방향에 해당하는 신호만을 통과시키는 제2 편광자(analyzer)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 제어부는,상기 이종접합 물질 위에 제3 이차원 물질을 전사시키기 위해서 편광 라만 분광 신호로부터 상기 이종접합 물질과 상기 제3 이차원 물질의 격자방향을 검출하고, 상기 이종접합 물질과 상기 제3 이차원 물질을 각각 상기 회전 스테이지와 상기 구동부에 장착하고, 격자방향을 비교하며 상기 회전 스테이지의 회전을 통해 원하는 만큼의 각도를 돌려 상기 이종접합 물질의 격자방향을 제어하고, 상기 구동부의 하강 이동을 통해 상기 제3 이차원 물질을 상기 이종접합 물질에 전사시키는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
6 6
제1항에 있어서,상기 제1 이차원 물질과 상기 제2 이차원 물질은 서로 마주보는 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
7 7
제1항에 있어서, 상기 제 1 이차원 물질 및 상기 제 2 이차원 물질은,투명하고 유연한 성질의 기판 위에 투명한 탄성중합체(elastomer) 재질의 물질을 붙이고, 상기 투명한 탄성중합체 재질의 물질 위에 기계적 박리법을 이용하여 상기 제1 이차원 물질 및 상기 제2 이차원 물질을 각각 제작하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
8 8
제7항에 있어서, 상기 투명하고 유연한 성질의 기판은,아크릴 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
9 9
제7항에 있어서, 상기 투명한 탄성중합체 재질의 물질은,폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
10 10
제1항에 있어서,상기 이차원 물질을 관찰하고 초점을 맞추기 위한 상기 대물렌즈를 포함하여 구비되는 현미경을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사 시스템
11 11
제1 이차원 물질과 제2 이차원 물질의 편광 라만 분광 신호로부터 각각의 격자방향을 검출하는 단계;상기 제1 이차원 물질을 회전 스테이지부에 장착하고, 상기 제2 이차원 물질을 구동부에 장착하는 단계;상기 제1 이차원 물질과 상기 제2 이차원 물질의 격자방향을 비교하는 단계;상기 비교결과, 상기 회전 스테이지를 회전시키며 상기 제1 이차원 물질의 격자방향을 제어하는 단계; 및상기 구동부를 하강시켜 상기 제2 이차원 물질을 상기 제1 이차원 물질에 전사함으로써, 이종접합 물질을 형성하는 단계;를 포함하되,상기 전사 공정시 상기 제1 이차원 물질과 상기 제2 이차원 물질이 접합을 이루기 위해 밴드구조 및 포논구조를 유지하도록 상기 각 구조의 격자방향 사이의 각도를 보정하는 구동을 연속적으로 실행하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사방법
12 12
제11항에 있어서, 상기 격자방향을 확인하는 단계는,상기 제 1 이차원 물질 또는 상기 제 2 이차원 물질이 등방성 구조의 물질인 경우 변형력(strain)을 가하여 대칭성을 깨트린 후 라만 분광 신호를 측정하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사방법
13 13
제11항에 있어서, 상기 제1 이차원 물질을 회전 스테이지부에 장착하고, 상기 제2 이차원 물질을 구동부에 장착하는 단계는,상기 제2 이차원 물질과 상기 제1 이차원 물질이 서로 마주보도록 장착하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사방법
14 14
삭제
15 15
제11항에 있어서, 상기 이종접합 물질 위에 다른 제3 이차원 물질을 전사시키기 위해서 편광 라만 분광 신호로부터 상기 이종접합 물질과 상기 제3 이차원 물질의 격자방향을 검출하는 단계;상기 이종접합 물질과 상기 제3 이차원 물질을 각각 상기 회전 스테이지와 상기 구동부에 장착하는 단계;상기 격자방향을 비교하며 상기 회전 스테이지의 회전을 통해 원하는 만큼의 각도를 돌려 상기 이종접합 물질의 격자방향을 제어하는 단계; 상기 구동부의 하강 이동을 통해 상기 제3 이차원 물질을 상기 이종접합 물질에 전사시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사방법
16 16
제11항에 있어서,상기 제 1 이차원 물질과 상기 제 2 이차원 물질을 각각 제작하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사방법
17 17
제16항에 있어서, 상기 제1 이차원 물질과 상기 제2 이차원 물질을 제작하는 단계는,투명하고 유연한 성질의 기판 위에 투명한 탄성중합체(elastomer) 재질의 물질을 붙이는 단계; 및상기 투명한 탄성중합체 재질의 물질 위에 기계적 박리법을 이용하여 상기 제1 이차원 물질 및 상기 제2 이차원 물질을 각각 제작하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 이차원 물질의 격자방향 조절이 가능한 전사방법
18 18
제11항 내지 제13항 및 제15항 내지 제17항 중 어느 한 항의 방법을 컴퓨터에서 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 서강대학교 산학협력단 글로벌프론티어사업 그래핀 및 2D소재 물성제어 기술