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복수의 수용액에 함유된 입자와의 작용으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판을 고정하기 위한 것으로,상기 기판을 시계열적인 순서에 의해 각 용기의 수용액에 접촉시킬 수 있도록 전기적인 신호에 기초하여 상하방향으로 승강되고, 상기 승강을 위해 동력원과 연결되는 연결축; 및 상기 연결축과 함께 승강될 수 있도록 그 연결축과 연결되어 있고 상기 연결축을 중심에 두고 감싸는 형태로 배치되며, 원주방향을 따라 간격을 두고 복수의 끼움부들이 마련되어 있는 고정본체;를 포함하여 이루어지며,상기 고정본체는, 중심리브를 통해 상기 연결축과 연결되는 환 형상의 환형리브와 원주방향을 따라 간격을 두고 상기 환형리브의 내주면으로부터 상기 연결축 방향으로 돌출된 끼움리브들을 포함하고, 상기 각 끼움리브에는 상기 기판이 끼워져 결합되는 끼움홈이 형성되어 있으며,상기 환형리브와 끼움리브들을 포함하여 이루어지는 상기 고정본체는, 상하로 복수개 배치되고, 상기 복수의 고정본체들 중 인접한 한 쌍의 고정본체들은, 어느 일측의 연결축과 다른 일측의 중심리브들의 나사결합에 의해 상호 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 홀더
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복수의 수용액에 함유된 입자와의 작용으로 표면에 박막층이 형성되는 적어도 하나의 기판을 고정하기 위한 것으로,상기 기판을 시계열적인 순서에 의해 각 용기의 수용액에 접촉시킬 수 있도록 전기적인 신호에 기초하여 상하방향으로 승강되고, 상기 승강을 위해 동력원과 연결되는 연결축; 및 상기 연결축과 함께 승강될 수 있도록 그 연결축과 연결되어 있고 상기 연결축을 중심에 두고 감싸는 형태로 배치되며, 원주방향을 따라 간격을 두고 복수의 끼움부들이 마련되어 있는 고정본체;를 포함하여 이루어지며,상기 고정본체는, 상기 연결축에 결합되는 원판형의 연결부와, 상기 연결부로부터 반경방향으로 연장 형성되고 원주방향을 따라 방사형으로 복수개 형성되는 방사부들을 포함하여 이루어지고, 상기 각 방사부에는 상기 기판이 끼워져 결합되는 끼움홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 홀더
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제2항에 있어서,상기 연결부와 방사부들을 포함하여 이루어지는 상기 고정본체는, 상하로 복수개 배치되고,상기 복수의 고정본체들 중 인접한 한 쌍의 고정본체들은, 어느 일측의 연결축과 다른 일측의 연결축들 간의 나사결합에 의해 상호 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 고정용 홀더
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 기판 고정용 홀더를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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