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반도체 특성을 갖는 전도성 고분자 박막의 제조방법 및 반도체 특성을 갖는 전도성 고분자 박막을 포함하는 박막 트랜지스터

  • 기술번호 : KST2019025815
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 반도체 특성을 갖는 전도성 고분자 박막의 제조방법 및 반도체 특성을 갖는 전도성 고분자 박막을 박막 트랜지스터에서, 본 발명의 반도체 특성을 갖는 전도성 고분자 박막의 제조방법은 전도성 고분자 박막의 적어도 일부분을 표면처리제로 처리하여, 상기 표면처리제에 노출된 전도성 고분자 박막의 적어도 일부분의 전하 밀도를 감소시키는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 29/66 (2006.01.01) H01B 1/12 (2006.01.01)
CPC H01L 29/66742(2013.01) H01L 29/66742(2013.01) H01L 29/66742(2013.01) H01L 29/66742(2013.01)
출원번호/일자 1020170079330 (2017.06.22)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1918851-0000 (2018.11.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20181114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.06.22)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김선주 미국 서울특별시 서초구
2 김동욱 대한민국 서울특별시 구로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 박종수 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-0601513-86
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.11.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0036537-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0350233-67
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.04 수리 (Accepted) 4-1-2018-5125629-51
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0729464-38
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2018-0729463-93
8 등록결정서
Decision to grant
2018.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0731833-22
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전도성 고분자 박막의 적어도 일부분을 테트라키스(디메틸아미노)에틸렌(Tetrakis(dimethylamino)ethylene, TDAE), 에틸렌디아민(Ethylenediamine, EDA), 하이드라진(Hydrazine), 수소화붕소나트륨(sodium borohydride, NaBH4), 수소화알루미늄리튬(lithium aluminum hydride, LiAlH4) 및 싸이오황산나트륨(sodium thiosulfate, Na2S2O3) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 표면처리제로 처리하여, 상기 표면처리제에 노출된 전도성 고분자 박막의 적어도 일부분의 전하 밀도를 감소시키는 단계를 포함하고,상기 표면처리제에 노출된 전도성 고분자 박막의 적어도 일부분은 전하 밀도가 감소되어 반도체 특성을 갖고, 상기 표면처리제에 노출되지 않은 부분은 전도성 특성을 갖는 것을 특징으로 하는,반도체 특성을 갖는 전도성 고분자 박막의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 전도성 고분자는 폴리에틸렌디옥시티오펜(poly(3,4-ethylenedioxythiophene), PEDOT)계 고분자, 폴리아닐린(polyaniline, PANI)계 고분자 및 폴리디이미드(poly-diimide)계 고분자 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는,반도체 특성을 갖는 전도성 고분자 박막의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 전도성 고분자 박막은전도성 고분자 분산액을 기판 상에 도포하는 단계; 및기판 상에 도포된 전도성 고분자 분산액을 건조하는 단계를 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는,반도체 특성을 갖는 전도성 고분자 박막의 제조 방법
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기판;상기 기판 상에 배치된 게이트 전극;상기 게이트 전극을 커버하는 게이트 유전체 층;상기 게이트 유전체 층 상에 배치되고, 가운데 일부분이 테트라키스(디메틸아미노)에틸렌, 에틸렌디아민, 하이드라진, 수소화붕소나트륨, 수소화알루미늄리튬 및 싸이오황산나트륨 중 적어도 어느 하나를 포함하는 표면처리제로 처리되어, 표면처리된 가운데 일부분의 전하 밀도가 감소되어 반도체 특성을 나타내는 전도성 고분자 박막; 및상기 전도성 고분자 박막 상에서 상기 전하 밀도가 감소된 영역 이외의 영역에 서로 이격되어 배치된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는,박막 트랜지스터
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기판;상기 기판 상에 배치된 게이트 전극;상기 게이트 전극을 커버하는 게이트 유전체 층;상기 게이트 유전체 층 상에 배치되고, 테트라키스(디메틸아미노)에틸렌, 에틸렌디아민, 하이드라진, 수소화붕소나트륨, 수소화알루미늄리튬 및 싸이오황산나트륨 중 적어도 어느 하나를 포함하는 표면처리제로 처리되어 전하 밀도가 감소되어 반도체 특성을 나타내는 전도성 고분자 박막; 및상기 전도성 고분자 박막 상에서 서로 이격되어 배치된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는,박막 트랜지스터
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9 9
삭제
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1 WO2018235990 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2020212305 US 미국 DOCDBFAMILY
2 WO2018235990 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 중앙대학교 나노·소재기술개발 전도성 고분자 나노입자의 도핑 메커니즘 규명 및 안정성 향상을 통한 물성제어 연구