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테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치

기술번호 : KST2019025897
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	발명의 일실시에 따른 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치는 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부와, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 검사 대상 물체에 테라헤르츠파 베셀빔이 형성되도록 하는 베셀빔 형성부와, 상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과하면서 발산되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 1 렌즈와, 상기 제 1 렌즈를 통과한 테라헤르츠파를 검출기로 집광시키는 제 2 렌즈; 및 상기 제 2 렌즈에 의해서 집광된 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부를 포함한다.
Int. CL	G01N 21/3581 (2014.01.01) G01V 8/10 (2006.01.01) G01J 3/42 (2006.01.01) G02B 5/00 (2006.01.01)
CPC	G01N 21/3581(2013.01) G01N 21/3581(2013.01) G01N 21/3581(2013.01) G01N 21/3581(2013.01)
출원번호/일자	1020160144573 (2016.11.01)
출원인	한국식품연구원
등록번호/일자	10-1738395-0000 (2017.05.16)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20170522) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호	1020170014452;
심사청구여부/일자	Y (2016.11.01)
심사청구항수	10

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국식품연구원	대한민국	전라북도 완주군

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	옥경식	대한민국	경기도 오산시 여계산로 , *
2	최성욱	대한민국	전라북도 완주군
3	장현주	대한민국	서울특별시 송파구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인태하	대한민국	경기도 수원시 영통구 봉영로 **, *호(영통동, 한솔프라자)
2	전수진	대한민국	경기도 수원시 영통구 봉영로 **, *호(영통동, 한솔프라자)(특허법인태하)
3	김종승	대한민국	경기도 수원시 영통구 봉영로 **, *호(영통동, 한솔프라자)(특허법인태하)
4	윤정호	대한민국	경기도 수원시 영통구 봉영로 **, *호(영통동, 한솔프라자)(특허법인태하)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국식품연구원	대한민국	전라북도 완주군

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2016.11.01	수리 (Accepted)	1-1-2016-1067478-82
2	[우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2016.11.24	수리 (Accepted)	1-1-2016-1153169-29
3	[우선심사신청]선행기술조사의뢰서 [Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search	2016.11.28	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	[우선심사신청]선행기술조사보고서 [Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search	2016.12.08	수리 (Accepted)	9-1-2016-0049439-19
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2016.12.16	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0907844-83
6	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2017.02.01	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0107378-53
7	[분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application	2017.02.01	수리 (Accepted)	1-1-2017-0107393-38
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2017.02.01	수리 (Accepted)	1-1-2017-0107356-59
9	등록결정서 Decision to grant	2017.02.17	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0122885-33
10	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)	2017.05.15	수리 (Accepted)	1-1-2017-0458178-61
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.09.25	수리 (Accepted)	4-1-2017-5155082-90
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.07.08	수리 (Accepted)	4-1-2019-5135028-45
13	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2019.09.02	수리 (Accepted)	4-1-2019-5176835-79
14	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.02.11	수리 (Accepted)	4-1-2020-5030341-61
15	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.04	수리 (Accepted)	4-1-2020-5124131-17
16	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.09.08	수리 (Accepted)	4-1-2020-5203003-57

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부;상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 검사 대상 물체에 테라헤르츠파 베셀빔이 형성되도록 하며, 상기 테라헤르츠파 베셀빔의 직경이 상기 테라헤르츠파 생성부에서 생성된 테라헤르츠파의 파장보다 작게 형성되는 꼭지각을 갖는 제 1 엑시콘 렌즈인 베셀빔 형성부;상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과하면서 발산되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 1 렌즈;상기 제 1 렌즈를 통과한 테라헤르츠파를 검출기로 집광시키는 제 2 렌즈; 및 상기 제 2 렌즈에 의해서 집광된 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부를 포함하는, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
2	2 삭제
3	3 제 1 항에 있어서,상기 제 1 엑시콘 렌즈의 꼭지각의 최대값은,여기서, J0 : 0차 베셀 함수 ρFWHM : 포커싱된 테라헤르츠파 베셀빔의 반치폭 λ : 테라헤르츠파의 파장 α0 : 엑시콘 렌즈를 지나 교차하는 테라헤르츠파의 교차각의 절반 값 n : 제 1 엑시콘 렌즈의 굴절률 n0 : 주변 환경의 평균 굴절률 τ : 제 1 엑시콘 렌즈의 꼭지각위의 수학식을 통해 계산된 제 1 엑시콘 렌즈의 꼭지각(τ)인, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
4	4 제 1 항에 있어서,상기 제 1 엑시콘 렌즈의 꼭지각의 최소값은,제 1 엑시콘의 굴절률에 따른 전반사가 발생하지 않는 제 1 엑시콘 렌즈의 꼭지각인, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
5	5 제 1 항에 있어서,상기 제 1 렌즈는,상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 제 1 엑시콘 렌즈에 대칭되게 배치되는 제 2 엑시콘 렌즈인, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
6	6 제 5 항에 있어서,상기 제 2 엑시콘 렌즈는,상기 제 1 엑시콘 렌즈과 동일한 크기의 꼭지각을 갖는, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
7	7 제 1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경시켜 상기 베셀빔 형성부로 입사시키는 각도 변경부를 더 포함하는, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
8	8 제 5 항에 있어서,상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경시켜 상기 베셀빔 형성부로 입사시키는 제 1 볼록 렌즈인 각도 변경부를 더 포함하고,상기 제 2 렌즈는,상기 검사 대상 물체를 기준으로 상기 제 1 볼록 렌즈에 대칭되게 배치되는 제 2 볼록 렌즈인, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
9	9 제 5 항에 있어서,상기 제 2 렌즈는,상기 제 2 엑시콘 렌즈와 동일한 모양을 가지며, 광축에 수직한 축을 기준으로 상기 제 2 엑시콘 렌즈에 대칭되게 배치되는 제 3 엑시콘 렌즈인, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
10	10 제 1 항에 있어서,상기 제 1 렌즈는,상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과하면서 발산되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 3 볼록 렌즈인, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
11	11 제 10 항에 있어서,상기 제 2 렌즈는,광축에 수직한 축을 기준으로 상기 제 3 볼록 렌즈에 대칭되게 배치되는 제 4 볼록 렌즈인, 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
12	12 삭제
13	13 삭제
14	14 삭제
15	15 삭제
16	16 삭제
17	17 삭제
18	18 삭제

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	CN109891217	CN	중국	FAMILY
2	JP31536061	JP	일본	FAMILY
3	JP32177030	JP	일본	FAMILY
4	KR101738393	KR	대한민국	FAMILY
5	KR101844482	KR	대한민국	FAMILY
6	KR1020180047827	KR	대한민국	FAMILY
7	US10648864	US	미국	FAMILY
8	US20190250037	US	미국	FAMILY
9	WO2018084355	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	CN109891217	CN	중국	DOCDBFAMILY
2	JP2019536061	JP	일본	DOCDBFAMILY

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	미래창조과학부	한국식품연구원	한국식품연구원 주요사업	식품이물 검출용 테라파 고분해능 영상기술 개발

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특허 등록번호	10-1738395-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20161101 출원 번호 : 1020160144573 공고 연월일 : 20170522 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20170217 청구범위의 항수 : 10 유별 : G01N 21/3581 발명의 명칭 : 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 한국식품연구원 전라북도 완주군...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	217,500 원	2017년 05월 17일	납입
제 4 년분	금 액	130,000 원	2020년 04월 01일	납입

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2016.11.01	수리 (Accepted)	1-1-2016-1067478-82
2	[우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서	2016.11.24	수리 (Accepted)	1-1-2016-1153169-29
3	[우선심사신청]선행기술조사의뢰서	2016.11.28	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	[우선심사신청]선행기술조사보고서	2016.12.08	수리 (Accepted)	9-1-2016-0049439-19
5	의견제출통지서	2016.12.16	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0907844-83
6	[명세서등 보정]보정서	2017.02.01	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0107378-53
7	[분할출원]특허출원서	2017.02.01	수리 (Accepted)	1-1-2017-0107393-38
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2017.02.01	수리 (Accepted)	1-1-2017-0107356-59
9	등록결정서	2017.02.17	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0122885-33
10	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2017.05.15	수리 (Accepted)	1-1-2017-0458178-61
11	출원인정보변경(경정)신고서	2017.09.25	수리 (Accepted)	4-1-2017-5155082-90
12	출원인정보변경(경정)신고서	2019.07.08	수리 (Accepted)	4-1-2019-5135028-45
13	출원인정보변경(경정)신고서	2019.09.02	수리 (Accepted)	4-1-2019-5176835-79
14	출원인정보변경(경정)신고서	2020.02.11	수리 (Accepted)	4-1-2020-5030341-61
15	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.04	수리 (Accepted)	4-1-2020-5124131-17
16	출원인정보변경(경정)신고서	2020.09.08	수리 (Accepted)	4-1-2020-5203003-57

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