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테라헤르츠파 베셀빔을 이용하여 링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 제 3 렌즈를 포함하는 링빔 형성부; 및상기 제 3 렌즈로부터 출사되는 링빔의 내부에 구비되고, 상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광을 검출하는 반사 산란광 검출부를 포함하는, 산란광 검출모듈
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테라헤르츠파 베셀빔을 이용하여 링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 제 3 렌즈를 포함하는 링빔 형성부; 및상기 제 3 렌즈로부터 입사되는 링빔의 내부에 배치되고, 상기 검사 대상 물체로부터 투과되는 산란광을 검출하는 투과 산란광 검출부를 포함하는, 산란광 검출모듈
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제 8 항에 있어서,상기 제 3 렌즈는,상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광의 경로를 변경하는 경로 변경부를 포함하고,상기 반사 산란광 검출부는,상기 경로 변경부로부터 입사되는 산란광을 검출하는, 산란광 검출모듈
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테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부;상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 테라헤르츠파 베셀빔을 생성하는 베셀빔 형성부;상기 테라헤르츠파 베셀빔을 이용하여 링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 링빔 형성부; 상기 검사 대상 물체로부터 생성된 산란광을 검출하는 산란광 검출부; 및상기 검사 대상 물체를 투과한 링빔을 검출하는 링빔 검출부를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
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제 17 항에 있어서,상기 링빔 형성부는,링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 제 3 렌즈를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
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제 18 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 제 3 렌즈로부터 출사되는 링빔의 내부에 구비되고, 상기 검사 대상 물체로부터 반사되는 산란광을 검출하는 반사 산란광 검출부를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
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제 18 항에 있어서,상기 산란광 검출부는,상기 검사 대상 물체로부터 입사되는 링빔의 내부에 구비되고, 상기 검사 대상 물체로부터 투과되는 산란광을 검출하는 투과 산란광 검출부를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
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검사 대상 물체의 형상을 스캔하는 스캐너;테라헤르츠파를 생성하고, 생성된 테라헤르츠파를 검사 대상 물체에 조사하는 테라헤르츠파 광학 헤드;상기 검사 대상 물체를 투과한 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 집광 헤드;상기 스캐너에서 스캔된 검사 대상 물체의 형상에 따라, 상기 테라헤르츠파 광학헤드를 이동시키는 제 1 이송부; 및상기 제 1 이송부와 동기화되어, 상기 테라헤르츠파 집광 헤드를 상기 광학 헤드와 동일하게 이동시키는 제 2 이송부를 포함하고,상기 테라헤르츠파 광학 헤드는, 테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부; 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 테라헤르츠파 베셀빔을 생성하는 베셀빔 형성부; 및 상기 테라헤르츠파 베셀빔을 이용하여 링(ring) 빔을 형성하고, 형성된 링(ring) 빔을 검사 대상 물체로 집광시키는 링빔 형성부;를 포함하고,상기 테라헤르츠파 집광 헤드는, 상기 검사 대상 물체로부터 생성된 산란광을 검출하는 산란광 검출부; 및 상기 검사 대상 물체를 투과한 링빔을 검출하는 링빔 검출부를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
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제 21 항에 있어서,상기 제 1 이송부는,상기 생성된 테라헤르츠파의 초점 심도 내에 상기 검사 대상 물체가 놓이도록 하기 위해, 상기 스캔된 검사 대상 물체의 두께에 기초하여 상기 검사 대상 물체 및 상기 테라헤르츠파 광학 헤드가 일정한 거리를 유지되도록 상기 테라헤르츠파 광학헤드를 이동시키는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
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제 21 항에 있어서,상기 검사 대상 물체를 저온 상태로 유지시키는 급냉 장치를 더 포함하고,상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광 헤드는 상기 급냉 장치의 양 측면에 이격되어 배치되는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
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제 25 항에 있어서,상기 급냉 장치는,상기 생성된 테라헤르츠파가 투과될 수 있는 윈도우를 포함하는 하우징으로 구성되고,상기 급냉 장치의 후단에 배치되고, 상기 검사 대상 물체를 해동하는 해동 장치를 포함하는, 테라헤르츠파 베셀빔을 이용한 고분해능 검사 장치
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