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반도체 검사용 프로브에 있어서,주 몸체; 및상기 주 몸체 외부 표면에 형성된 3층 이상의 다층으로 된 코팅층; 을 포함하되,상기 코팅층 중 최내각에 형성되고, 상기 주 몸체보다 전기 전도도가 높은 제1 층;상기 코팅층 중 최외각에 형성되고, 상기 제1 층보다 마찰계수가 작은 제2 층; 및 상기 제1 층과 제2 층 사이에 형성되며, 상기 제1 층보다 경도가 높고, 상기 제2 층보다 경도가 낮은 제3 층;을 포함하는, 다층 코팅을 가진 반도체 검사용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 코팅층은 주 몸체의 전체면 또는 일부분에 형성되는, 다층 코팅을 가진 반도체 검사용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 주 몸체의 소재는, 니켈 화합물로 이루어지며, 상기 제1 층은 금 또는 구리, 백금, 팔라듐, 은 인 것을 특징으로 하는, 다층 코팅을 가진 반도체 검사용 프로브
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제 3항에 있어서,상기 제2 층은 알루미늄 산화물, 그래핀, 그래핀 산화물, 그라파이트, 이황화 몰리브덴, 이황화 몰리브덴 금속화합물, DLC, 나노크리스탈 다이아몬드, 테프론, 실리콘 질화물 중 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상인 것을 특징으로 하는, 다층 코팅을 가진 반도체 검사용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 제2 층과 제3 층은 반복 적층되는 구조로 이루어지며, 상기 제3 층은 단수 또는 복수의 층으로 이루어진, 다층 코팅을 가진 반도체 검사용 프로브
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제 6항에 있어서,상기 제3 층은 백금 또는 백금과 폴리머이며, 상기 제2 층은 알루미늄 산화물인 것을 특징으로 하는, 다층 코팅을 가진 반도체 검사용 프로브
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제 1항에 있어서,상기 프로브의 코팅층의 제작법은, 침지코팅법, 화학기상증착법, 전해도금, 무전해도금, 원자층증착법을 이용한 다층 코팅을 가진 반도체 검사용 프로브
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제 1항의 프로브를 포함하는 프로브 모듈에 있어서,타단에 탐침부가 형성되며, 복수 개가 이격 배치되는 프로브;상기 프로브의 타단이 관통되도록 제1 관통홀이 다수 개 형성되며, 상기 프로브의 타단이 노출되도록 상기 프로브의 타단부가 끼움 결합되는 제1 가이드; 및상기 프로브의 일단이 관통되도록 제2 관통홀이 다수 개 형성되며, 상기 프로브의 일단이 노출되도록 상기 프로브의 일단부가 끼움 결합되는 제2 가이드; 를 포함하되,상기 제1 또는 제2 관통홀의 내주면에도 상기 제2 층이 형성된, 다층 코팅을 가진 반도체 검사용 프로브 모듈
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