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기판이 안착되는 스테이지;상기 스테이지에 X축방향으로 이동가능하게 결합되는 갠트리;상기 기판의 상부에 위치하며, Y축방향으로 이동가능하도록 상기 갠트리에 결합되는 메인 이동블록;상기 메인 이동블록에 X축방향으로 이동가능하게 결합되는 제1 보조 이동블록;상기 기판의 상부에 위치하도록 상기 제1 보조 이동블록에 설치되며, 상기 기판의 결함을 측정하는 프로브; 및상기 갠트리를 X축방향으로 지속적으로 이동시키면서 상기 갠트리에 대한 상기 제1 보조 이동블록의 상대 속도를 제어하는 제어부를 포함하며,상기 제어부는,상기 갠트리가 기설정된 일정 속도로 이동하도록 제어하고, 상기 프로브의 측정 동작을 제어하며,상기 제1 보조 이동블록이 상기 갠트리의 이동 속도와 동일한 속도로 상기 갠트리의 이동 방향의 반대의 X축방향으로 이동되도록 제어하여, 상기 프로브가 상기 기판의 결함에 대하여 일시적으로 정지할 때 상기 기판의 결함을 측정하는 것을 특징으로 하는, 기판 결함 검사 장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 보조 이동블록은,상기 기판에 대향하며 X축방향으로 이동가능하도록 메인 이동블록에 결합되는 수평 보조 이동블록; 및상기 수평 보조 이동블록에 Z축방향으로 절곡되어 결합되는 수직 보조 이동블록을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 결함 검사 장치
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제 2항에 있어서,상기 수직 보조 이동블록에 Z축방향으로 이동가능하게 결합되는 제2 보조 이동블록을 더 포함하며,상기 프로브는 상기 기판의 상부에 위치하도록 상기 제2 보조 이동블록에 결합되는 것을 특징으로 하는, 기판 결함 검사 장치
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삭제
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제 1항에 있어서,상기 갠트리는,X축방향으로 이동하며, 상기 스테이지의 양 측에 이격되어 구비되는 한 쌍의 지지대; 및상기 지지대에 의해 지지되어 상기 스테이지의 상부에 위치하는 갠트리 본체를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 결함 검사 장치
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제 5항에 있어서,상기 메인 이동블록은, 상기 갠트리 본체에 Y축방향으로 이동가능하게 결합되는 제1 메인 이동블록 및 상기 제1 메인 이동블록에 이격되어 상기 갠트리 본체에 Y축방향으로 이동가능하게 결합되는 제2 메인 이동블록을 포함하고,상기 제1 보조 이동블록은 링크 구조에 의해 상기 제1 및 제2 메인 이동블록에 X축방향으로 이동가능하게 결합되며,상기 링크 구조는,일단이 상기 제1 메인 이동블록에 회전가능하게 연결되고 타단이 상기 제1 보조 이동블록에 결합되는 제1 링크 암; 및일단이 상기 제2 메인 이동블록에 회전가능하게 연결되고 타단이 상기 제1 보조 이동블록에 결합되는 제2 링크 암을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 결함 검사 장치
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제 5항에 있어서,상기 메인 이동블록은 상기 갠트리 본체에 Y축방향으로 이동가능하게 결합되고,상기 제1 보조 이동블록은 링크 구조에 의해 상기 메인 이동블록에 X축방향으로 이동가능하게 결합되며,상기 링크 구조는,일단이 상기 메인 이동블록에 회전가능하게 연결되는 제3 링크 암;상기 제3 링크 암에 이격되어 구비되고, 일단이 상기 메인 이동블록에 회전가능하게 연결되는 제4 링크 암;일단이 상기 제3 링크 암의 타단에 회전가능하게 연결되고 타단이 상기 제1 보조 이동블록에 결합되는 제5 링크 암; 및일단이 상기 제4 링크 암의 타단에 회전가능하게 연결되고 타단이 상기 제1 보조 이동블록에 결합되는 제6 링크 암을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 결함 검사 장치
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제 1항에 따른 기판 결함 장치를 이용한 결함 검사 방법으로서,상기 스테이지에 안착된 상기 기판의 결함의 좌표를 입력하는 단계;상기 입력된 좌표에 따라 전체 이동경로를 생성하는 단계;생성된 상기 이동경로에 따라 기설정된 일정 속도로 상기 갠트리를 X축방향으로 이동시키는 단계;상기 메인 이동블록과 상기 제1 보조 이동블록 중 적어도 어느 하나를 이동하여 상기 프로브를 상기 결함에 근접하게 위치시키는 단계;상기 프로브가 상기 기판의 결함에 대하여 일시적으로 정지되도록, 상기 제1 보조 이동블록을 상기 갠트리의 이동 속도와 동일한 속도로 상기 갠트리의 이동 방향의 반대의 X축방향으로 이동시키는 단계; 및상기 프로브가 상기 기판의 결함에 대하여 일시적으로 정지될 때 상기 기판의 결함을 측정하는 단계를 포함하는, 기판 결함 검사 방법
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제 8항에 있어서,상기 입력된 결함 좌표에 따라 이동경로를 생성하는 단계는,상기 제1 보조 이동 블록의 이동 가능 영역 내에 위치한 결함 좌표 중 현재 측정한 결함 좌표로부터 최단 거리에 위치한 결함 좌표를 다음 측정 대상으로 설정하여 최단 이동경로를 생성하는 것을 특징으로 하는, 기판 결함 검사 방법
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제 9항에 있어서,상기 기판의 결함을 측정하는 단계 이후,현재 측정한 결함 좌표가 최종 결함 좌표인지 여부를 판단하는 단계를 더 포함하며,현재 측정한 결함 좌표가 최종 결함 좌표가 아닌 경우, 상기 프로브를 현재 측정한 결함 좌표로부터 최단 거리에 위치한 결함 좌표로 이동시키는 것을 특징으로 하는, 기판 결함 검사 방법
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