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미세 소자의 제조 장치

  • 기술번호 : KST2019026040
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 미세 소자의 제조 장치는 미세 소자가 형성되는 기판과 이격되어 상방에 위치하며, 금속 액적을 만드는 금속 액적 제조부, 상기 금속 액적 제조부와 이격되어 위치하며, 상기 금속 액적의 적하를 제어하는 금속 액적 적하 제어부, 그리고 상기 기판이 탑재되며 상기 금속 액적이 상기 기판에 적하되는 위치를 제어하는 스테이지 이동부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/66 (2006.01.01) H01L 21/683 (2006.01.01) H01L 21/68 (2006.01.01) H01L 21/268 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1020160059662 (2016.05.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1801312-0000 (2017.11.20)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.16)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장원석 대한민국 대전광역시 서구
2 정소희 대한민국 대전광역시 유성구
3 김덕종 대한민국 대전광역시 서구
4 우창수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0465976-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.10.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0012219-22
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0050477-07
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.03.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0274113-44
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2017-0274112-09
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0526155-97
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0831125-57
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2017.08.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0831128-94
10 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2017.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0689402-03
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세 소자가 형성되는 기판과 이격되어 상방에 위치하며, 금속 액적을 만드는 금속 액적 제조부,상기 금속 액적 제조부와 이격되어 위치하며, 상기 금속 액적의 적하를 제어하는 금속 액적 적하 제어부, 그리고상기 기판이 탑재되며 상기 금속 액적이 상기 기판에 적하되는 위치를 제어하는 스테이지 이동부를 포함하고,상기 금속 액적 제조부는 금속선이 통과하며 상기 금속선을 가이드하는 튜브 형상의 금속선 가이드부, 그리고상기 금속선을 융해시키는 레이저부를 포함하고,상기 금속선 가이드부에 상기 금속선을 공급하는 금속선 공급부을 더 포함하며,상기 금속 액적 적하 제어부는 상기 금속선 가이드부와 상기 기판에 연결되며, 상기 금속선 가이드부와 상기 기판 사이에 전기장을 발생시키는 전기장 발생부를 포함하고,상기 금속선 가이드에 고전압 펄스가 인가되는 미세 소자의 제조 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에서,상기 금속 액적 적하 제어부는 상기 금속선 가이드부 아래에 위치하며, 상기 금속 액적이 통과하는 적하 제어 링을 더 포함하는 미세 소자의 제조 장치
4 4
제3항에서,상기 금속선 가이드부와 상기 적하 제어 링은 도전체를 포함하는 미세 소자의 제조 장치
5 5
제3항에서,상기 금속선 가이드부와 상기 적하 제어 링은 유전체, 상기 유전체의 표면에 코팅되는 도전체를 포함하는 미세 소자의 제조 장치
6 6
삭제
7 7
제1항에서,상기 금속선 공급부는 상기 금속선을 보관하는 금속선 보관부, 그리고상기 금속선 보관부와 상기 금속선 가이드부 사이에 위치하며 상기 금속선을 상기 금속선 가이드부에 삽입시키는 금속선 이송부를 포함하는 미세 소자의 제조 장치
8 8
제1항에서,상기 금속 액적 적하 제어부와 이격되어 위치하며, 상기 금속 액적의 적하 상태를 모니터링하는 모니터링부를 더 포함하는 미세 소자의 제조 장치
9 9
제1항에서,상기 스테이지 이동부는 상기 기판이 탑재되는 스테이지, 그리고상기 스테이지를 이동시키는 스테이지 구동부를 포함하는 미세 소자의 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기계연구원 주요사업 나노소재/나노역학 기반 유연.신축 에너지 소자기술 개발 (1/3)
2 미래창조과학부 기계연구원 미래부-국가연구개발사업 극한물성시스템 제조 플랫폼기술 (2/2)
3 미래창조과학부 기계연구원 미래부-국가연구개발사업 소프트기판용 고해상 전극 레이저 패터닝 기술개발 (3/3)