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요부와 철부가 형성된 제 1 기판 및 상기 요부와 철부를 마감하여 미세채널을 형성하는 제 2 기판을 포함하는 여과 구조체의 상기 미세채널 상에 미세입자를 포집하고 상기 제 1 기판으로부터 상기 제 2 기판을 분리시키는 단계; 노즐이 장착되는 개구부가 형성된 제 3 기판으로 상기 제 1 기판을 마감하는 단계; 및상기 미세채널의 상부에서 흡입력을 가하는 노즐을 이용하여 상기 포집된 미세입자를 회수하는 단계를 포함하는 미세입자 회수방법
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제 1 항에 있어서,상기 개구부의 주위에는 상기 개구부의 위치가 이동하도록 하는 자바라 구조가 형성된 미세입자 회수방법
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제 1 항에 있어서,상기 미세입자를 회수하는 단계 이전에,상기 미세채널 상에 포집된 상기 미세입자의 구속력을 완화시키도록 상기 여과 구조체에 물리적인 힘을 가하여 상기 미세채널을 변형시키는 단계를 더 포함하는 미세입자 회수방법
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제 5 항에 있어서,상기 미세채널을 변형시키는 단계는 상기 여과 구조체를 좌우로 잡아 당기는 힘을 가하여 상기 미세채널의 폭이 늘어나도록 변형시키는 미세입자 회수방법
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제 5 항에 있어서,상기 미세채널을 변형시키는 단계는 상기 여과 구조체의 양단부가 아래로 휘도록 굴곡 변형시켜 상기 미세채널이 벌어지도록 변형시키는 미세입자 회수방법
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제 1 항에 있어서,상기 미세입자를 회수하는 단계는 상기 노즐 또는 상기 여과 구조체 중 어느 하나가 이동하며 상기 미세채널의 전체 영역에 대해서 상기 미세입자를 회수하는 미세입자 회수방법
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제 1 항 및 제 4 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 미세입자는 시료인 혈액에 포함된 표적 세포인 미세입자 회수방법
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요부와 철부가 형성된 제 1 기판 및 상기 요부와 철부를 마감하여 미세채널을 형성하는 제 2 기판을 포함하고, 상기 미세채널 상에 미세입자를 포집시키는 여과 구조체; 상기 제 1 기판으로부터 상기 제 2 기판을 분리시킨 후 상기 제 1 기판을 마감하고 노즐이 장착되는 개구부가 형성된 제 3 기판; 및상기 제 3 기판의 개구부에 연결되어 상기 미세채널의 상부에서 흡입력을 가하여 상기 포집된 미세입자를 흡입하는 노즐을 포함하는 미세입자 회수장치
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미세채널이 형성되고 상기 미세채널 상에 미세입자를 포집시키는 여과 구조체; 및상기 미세채널의 상부에서 흡입력을 가하여 상기 포집된 미세입자를 회수하는 회수부를 포함하고,상기 회수부는상기 미세채널의 상부에서 상기 포집된 미세입자를 흡입하는 노즐;상기 노즐에 흡입력을 가하는 흡입력 발생부;상기 노즐로부터 흡입된 미세입자를 저장하는 회수 챔버; 및상기 노즐과 상기 회수 챔버를 연결하는 배관을 포함하는 미세입자 회수장치
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 노즐 또는 상기 여과 구조체 중 어느 하나를 이동시키는 이동부를 더 포함하는 미세입자 회수장치
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 노즐은 선형노즐인 미세입자 회수장치
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 노즐은 복수의 점노즐이 평면상으로 배열된 다점노즐인 미세입자 회수장치
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 노즐에서 회수되는 미세입자의 회수 상태를 모니터링하는 모니터링부를 더 포함하는 미세입자 회수장치
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제 15 항에 있어서,상기 모니터링부는 상기 노즐의 끝단에서 회수되는 미세입자를 확대하여 촬영하는 광학적 모니터링부; 또는상기 노즐의 내부 또는 외부에 형성된 전극으로 상기 미세입자가 상기 노즐을 통과할 때 나타나는 임피던스 또는 정전용량의 변화를 감지하여 상기 미세입자의 회수 상태를 측정하는 전기적 모니터링부 중 적어도 하나를 포함하는 미세입자 회수장치
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 노즐로부터 흡입된 미세입자를 저장하는 회수 챔버와 상기 노즐을 연결하는 배관에서 상기 회수되는 미세입자의 회수 상태를 모니터링하는 모니터링부를 더 포함하는 미세입자 회수장치
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제 17 항에 있어서,상기 모니터링부는 상기 배관에 밀착하여 회수되는 미세입자를 확대하여 촬영하는 광학적 모니터링부; 또는상기 배관의 내부 또는 외부에 형성된 전극으로 상기 미세입자가 상기 배관을 통과할 때 나타나는 임피던스 또는 정전용량의 변화를 감지하여 상기 미세입자의 회수 상태를 측정하는 전기적 모니터링부 중 적어도 하나를 포함하는 미세입자 회수장치
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제 17 항에 있어서,상기 배관에는 다수의 소채널로 분기시키는 분기채널부가 형성되고,상기 모니터링부는상기 소채널에 밀착하여 회수되는 미세입자를 확대하여 촬영하는 광학적 모니터링부; 또는상기 소채널의 내부 또는 외부에 형성된 전극으로 상기 미세입자가 상기 배관을 통과할 때 나타나는 임피던스 또는 정전용량의 변화를 감지하여 상기 미세입자의 회수 상태를 측정하는 전기적 모니터링부 중 적어도 하나를 포함하는 미세입자 회수장치
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 미세채널 상에 포집된 미세입자의 구속력을 완화시키도록 상기 여과 구조체에 물리적인 힘을 가하여 상기 미세채널을 변형시키는 여과 구조체 변형부를 더 포함하는 미세입자 회수장치
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제 11 항에 있어서,상기 여과 구조체는 요부와 철부가 형성된 제 1 기판; 및상기 요부와 철부를 마감하여 상기 미세채널을 형성하는 제 2 기판을 포함하며, 상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판은 분리가 가능한 미세입자 회수장치
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제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,상기 미세입자는 시료인 혈액에 포함된 표적 세포인 미세입자 회수장치
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