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일 열로 복수의 미세유로가 형성된 미세유로부;상기 미세유로부의 일측에 상기 미세유로부와 이격되어 상기 미세유로부의 길이 방향으로 길게 형성되어 공급유로를 형성하고, 일단에 형성된 유입구로부터 시료를 유입시키는 제 1 격벽; 및상기 미세유로부의 타측에 상기 미세유로부와 이격되어 상기 미세유로부의 길이 방향으로 길게 형성되어 회수유로를 형성하고, 일단에 형성된 유출구로 상기 시료를 배출시키는 제 2 격벽을 포함하는 단위유로구조가 병렬로 복수 개 형성되는 것을 특징으로 하는 미세유체소자에 있어서,상기 미세유체소자 내부로 상기 시료를 공급시키도록 하는 입구; 및상기 입구와 병렬로 배열된 복수의 유입구를 연결하여 상기 입구로 공급된 시료를 상기 복수의 유입구를 통해 분배시키는 분배유로를 더 포함하고, 상기 분배유로의 높이는 상기 입구에서 상기 유입구를 향하여 갈수록 작아지도록 하여 각 단위유로구조의 유입구를 통해 상기 시료가 균일하게 유입되도록 하는 고속처리 미세유체소자
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제 3 항에 있어서,상기 공급유로 또는 상기 회수유로의 크기는 상기 미세유로부의 길이 방향으로 변화하는 고속처리 미세유체소자
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제 4 항에 있어서,상기 공급유로는 상기 유입구에서 상기 미세유로부의 길이방향을 따라 점점 작아지도록 형성되고, 상기 회수유로는 상기 유출구를 향하여 상기 미세유로부의 길이방향을 따라 점점 커지도록 형성되는 고속처리 미세유체소자
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제 3 항에 있어서,제 1 단위유로구조의 제 2 격벽은 이웃하는 제 2 단위유로구조의 제 1 격벽인 고속처리 미세유체소자
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제 3 항에 있어서,상기 미세유체소자 외부로 상기 시료를 배출시키도록 하는 출구; 및상기 출구와 병렬로 배열된 복수의 유출구를 연결하여 각 유출구를 통해 유출된 시료를 병합시켜 상기 출구로 유동하도록 하는 병합유로를 더 포함하는 고속처리 미세유체소자
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제 7 항에 있어서,상기 병합유로의 높이는 상기 유출구에서 상기 출구를 향하여 갈수록 증가하는 고속처리 미세유체소자
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제 3 항에 있어서,상기 단위유로구조는 일직선의 형태로 형성되고, 상기 단위유로구조가 병렬로 복수 개 형성되는 고속처리 미세유체소자
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제 10 항에 있어서,상기 일직선의 일단에는 각각의 단위유로구조의 유입구를 통해 상기 시료를 분배시키는 분배유로가 형성되고,상기 일직선의 타단에는 각각의 단위유로구조의 유출구를 통해 유출된 시료를 병합시키는 병합유로가 형성되는 고속처리 미세유체소자
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제 3 항에 있어서,상기 단위유로구조는 호의 형태로 형성되고, 서로 다른 곡률반경을 가지는 단위유로구조가 반경 방향으로 복수 개 배열되는 고속처리 미세유체소자
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13
제 3 항에 있어서,상기 단위유로구조는 반원의 형태로 형성되고, 서로 다른 곡률 반경을 가지는 단위유로구조가 반경 방향으로 복수 개 배열되는 고속처리 미세유체소자
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제 13 항에 있어서,상기 반경 방향으로 배열되는 복수의 단위유로구조가 좌우대칭으로 형성되는 고속처리 미세유체소자
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제 12 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 단위유로구조의 일단에는 각각의 단위유로구조의 유입구를 통해 상기 시료를 분배시키는 분배유로가 형성되고,상기 복수의 단위유로구조의 타단에는 각각의 단위유로구조의 유출구를 통해 유출된 시료를 병합시키는 병합유로가 형성되는 고속처리 미세유체소자
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제 3 항에 있어서,상기 단위유로구조는 호의 형태로 형성되고, 상기 단위유로구조는 호의 방향으로 복수 개 배열되는 고속처리 미세유체소자
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제 16 항에 있어서,서로 다른 곡률 반경을 가지는 단위유로구조가 반경 방향으로도 복수 개 배열되는 고속처리 미세유체소자
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