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제1 폭을 가지는 주입구와 배출구, 상기 주입구와 배출구 사이에 위치하며 상기 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 가지는 수용부를 포함하는 본체,상기 수용부를 가로 질러 설치되어 있는 작동 전극,상기 수용부에 저장되는 유체에 잠기도록 설치되는 상대 전극 및 기준 전극,상기 작동 전극과 상기 상대 전극에 전압을 인가하는 전압 발생기,상기 작동 전극과 상기 상대 전극 사이의 전류를 측정하는 전류 측정기를 포함하고,상기 작동 전극은 전도성 필터로 이루어지는 나노 입자 검출 장치
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제1항에서,상기 전도성 필터는,고분자 물질로 이루어지는 필터,상기 필터 위에 형성되어 있는 전도성 물질을 포함하는 나노 입자 검출 장치
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제2항에서,상기 전도성 물질은 그래핀, 유리상 탄소 또는 금속으로 이루어지는 나노 입자 검출 장치
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제1항에서,상기 작동 전극은 복수로 설치되어 있는 나노 입자 검출 장치
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제1항에서,상기 수용부는 상기 배출구와 연결되어 있는 제1 부분, 상기 주입구와 연결되어 있는 제2 부분을 포함하고,상기 작동 전극의 가장자리는 상기 제1 부분의 테두리와 중첩하는 나노 입자 검출 장치
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제5항에서,상기 제1 부분의 테두리와 상기 제2 부분의 테두리는 돌출부와 오목부로 맞물려 있는 나노 입자 검출 장치
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제5항에서,상기 제1 부분은 상기 제1 부분의 테두리에 형성되어 있으며, 상기 수용부의 내부와 외부를 관통하는 홈을 더 포함하는 나노 입자 검출 장치
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제7항에서,상기 작동 전극과 상기 전압 발생기를 연결하는 신호선은 상기 홈에 위치하는 나노 입자 검출 장치
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제1항에서,상기 수용부는 일정한 간격을 두고 복수로 형성되어 있으며,이웃하는 수용부는 연결관으로 연결되어 있는 나노 입자 검출 장치
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제9항에서,상기 작동 전극은 복수로 설치되며,각각의 상기 수용부에 설치되어 있는 나노 입자 검출 장치
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제10항에서,상기 각각의 수용부에 설치되어 있는 기준 전극 및 상대 전극을 더 포함하는 나노 입자 검출 장치
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제10항에서,상기 작동 전극은 전도성 필터의 구멍이 점진적으로 변화하도록 설치되어 있는 나노 입자 검출 장치
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