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롤 스탬프의 접촉변위 제어장치

  • 기술번호 : KST2019026081
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판에서 소자를 전사받거나 또는 기판에 소자를 전사하는 과정에서 롤 스탬프와 기판 사이의 간격을 균일하게 유지시키는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치에 관한 것으로서, 롤 스탬프와, 높이조절부와, 센서부와, 제어부를 포함한다. 롤 스탬프는 기판의 전사면 상에 배치되어 기판의 이송속도와 대응되는 속도로 회전한다. 높이조절부는 롤 스탬프에 장착되어 롤 스탬프의 높이를 조절한다. 센서부는 기판이 접근하는 롤 스탬프의 전방에 배치되고, 기판의 전사면에 존재하는 하부 전사점까지의 표면거리와, 롤 스탬프가 회전되면서 하부 전사점과 만나는 롤 스탬프의 상부 전사점까지의 측부거리를 각각 측정한다. 제어부는 측부거리를 이용하여 롤 스탬프의 축 중심으로부터 상부 전사점까지의 반경거리을 산출하고, 하부 전사점과 상부 전사점이 서로 만나는 시점에 표면거리와 반경거리의 차이인 접촉변위만큼 롤 스탬프의 높이가 조절되도록 높이조절부를 제어한다.
Int. CL B41F 33/00 (2015.01.01) B41F 16/00 (2015.01.01)
CPC B41F 33/0009(2013.01) B41F 33/0009(2013.01) B41F 33/0009(2013.01) B41F 33/0009(2013.01)
출원번호/일자 1020160132260 (2016.10.12)
출원인 한국기계연구원, 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록번호/일자 10-1813145-0000 (2017.12.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171229) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.12)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장봉균 대한민국 대전광역시 유성구
2 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
3 김경식 대한민국 대전광역시 유성구
4 황보윤 대한민국 대전광역시 유성구
5 김광섭 대한민국 대전광역시 유성구
6 최병익 대한민국 대전 서구
7 이학주 대한민국 대전광역시 서구
8 이승모 대한민국 충청남도 논

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
2 이재명 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
3 박진호 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
2 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0989448-69
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0073898-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0348131-71
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.07.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0636017-50
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2017-0636016-15
7 등록결정서
Decision to grant
2017.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0750925-80
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 전사면 상에 배치되어 상기 기판의 이송속도와 대응되는 속도로 회전하는 롤 스탬프;상기 롤 스탬프에 장착되어 상기 롤 스탬프의 높이를 조절하는 높이조절부;상기 기판이 접근하는 롤 스탬프의 전방에 배치되고, 상기 기판의 전사면에 존재하는 하부 전사점까지의 표면거리와, 상기 롤 스탬프가 회전되면서 상기 하부 전사점과 만나는 상기 롤 스탬프의 상부 전사점까지의 측부거리를 상기 하부 전사점과 상기 상부 전사점이 만나기 전에 각각 측정하는 센서부; 및상기 측부거리를 이용하여 상기 롤 스탬프의 축 중심으로부터 상기 상부 전사점까지의 반경거리를 산출하고, 상기 하부 전사점과 상기 상부 전사점이 서로 만나는 시점에 상기 표면거리와 상기 반경거리의 차이인 접촉변위만큼 상기 롤 스탬프의 높이가 조절되도록 상기 높이조절부를 제어하는 제어부;를 포함하는 특징으로 하는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
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제1항에 있어서,상기 센서부는, 상기 기판의 전사면으로부터 상기 롤 스탬프의 반지름에 대응되는 거리만큼 이격되고, 상기 롤 스탬프의 축 중심으로부터 상기 롤 스탬프의 원주 길이의 1/4에 대응되는 거리만큼 이격되는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
3 3
제2항에 있어서,상기 하부 전사점은, 상기 기판의 전사면과 상기 센서부에서 상기 기판의 전사면에 내린 수선과의 교점이고, 상기 상부 전사점은, 상기 롤 스탬프의 외주면과 상기 센서부에서 상기 롤 스탬프의 외주면에 내린 수선과의 교점이며,상기 표면거리는, 상기 센서부에서 상기 기판의 전사면에 내린 수선의 길이이고,상기 측부거리는, 상기 센서부에서 상기 롤 스탬프의 외주면에 내린 수선의 길이이며, 상기 반경거리는, 상기 롤 스탬프의 축 중심에서 상기 센서부까지의 기준거리에서 상기 측부거리를 뺀 길이인 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
4 4
제3항에 있어서,상기 높이조절부는, 상기 롤 스탬프의 일단부의 높이를 조절하는 제1높이조절부와, 상기 롤 스탬프의 타단부의 높이를 조절하는 제2높이조절부를 구비하고,상기 센서부는, 상기 롤 스탬프의 일단부 측에 배치되어 상기 기판의 전사면까지의 제1표면거리와 상기 롤 스탬프의 외주면까지의 제1측부거리를 각각 측정하는 제1센서유닛과, 상기 롤 스탬프의 타단부 측에 배치되어 상기 기판의 전사면까지의 제2표면거리와 상기 롤 스탬프의 외주면까지의 제2측부거리를 각각 측정하는 제2센서유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
5 5
제4항에 있어서,상기 제어부는, 상기 제1측부거리를 이용하여 상기 롤 스탬프의 일단부 측의 제1반경거리를 산출하고, 상기 제2측부거리를 이용하여 상기 롤 스탬프의 타단부 측의 제2반경거리를 산출하며, 상기 하부 전사점과 상기 상부 전사점이 서로 만나는 시점에, 상기 롤 스탬프의 일단부 높이가 상기 제1반경거리로부터 산출된 제1접촉변위만큼 조절되고 상기 롤 스탬프의 타단부 높이가 상기 제2반경거리로부터 산출된 제2접촉변위만큼 조절되도록, 상기 제1높이조절부와 제2높이조절부를 각각 독립적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
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제3항에 있어서,상기 센서부는, 상기 표면거리를 측정하는 표면센서유닛과, 상기 측부거리를 측정하는 측부센서유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
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제3항에 있어서,상기 센서부는, 거리측정을 위해 레이저빔을 출력하는 광원과, 상기 레이저빔의 경로 상에 배치되어 상기 레이저빔을 상기 롤 스탬프를 향하는 제1분할빔과 상기 기판을 향하는 제2분할빔으로 각각 분할하고 상기 롤 스탬프에 반사된 제1분할빔과 상기 기판에 반사된 제2분할빔을 상기 광원 측으로 다시 반사하는 스플리터와, 상기 스플리터에서 반사된 상기 제1분할빔과 상기 제2분할빔을 감지하는 광검출기와, 상기 광검출기에서 감지된 상기 제1분할빔과 상기 제2분할빔을 이용하여 상기 표면거리와 상기 측부거리를 각각 산출하는 거리측정유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
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1 WO2018070802 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 극한물성시스템 기계 융합기술 (2/2)
2 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 나노소재 응용 고성능 유연소자 기술기반 구축사업 (4/5)