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기판의 일면에 형성된 자성 입자;상기 기판 내에 구비되되, 상기 기판의 깊이 방향으로 상기 자성 입자와 이격되며, 일면이 상기 자성 입자의 자기장 감지가 가능하도록 배치되며, 하중 또는 진동에 의해 이동하는 상기 자성 입자의 자속을 집속하여 길이 방향 양측 중 어느 한 측에 전달하는 자기 집속체; 및상기 기판 내에 구비되되, 상기 자기 집속체의 어느 한 측에 인접 배치되어 집속된 자속을 감지하는 자기 센서소자를 포함하는, 자기 집속을 이용한 촉각센서
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제 1항에 있어서,상기 자기 집속체는, 자성 재료이며, 단일 또는 다층 구조로 이루어진, 자기 집속을 이용한 촉각센서
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제 1항에 있어서,상기 자성 입자는, 마이크로 또는 나노 단위의 직경을 갖되, 복수 개가 상기 기판의 일면 상에 이격 배치되는, 자기 집속을 이용한 촉각센서
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제 1항에 있어서, 상기 자기 집속체는, 각각의 자성 입자들의 자기장을 감지한 만큼의 면적을 갖되, 길이 방향 양측 중 상기 자기 센서소자에 인접한 측은, 상기 자기 센서소자의 폭 또는 두께에 대응되는 크기를 갖는, 자기 집속을 이용한 촉각센서
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제 4항에 있어서,상기 자기 집속체는, 유연한 기판에 적용 가능하도록 단일 또는 다층 형태의 필름 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는, 자기 집속을 이용한 촉각센서
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기판의 일면에 형성된 자성 입자;상기 기판 내에 구비되되, 상기 기판의 깊이 방향으로 상기 자성 입자와 이격되며, 길이방향 일측이 상기 자성 입자의 자기장 감지가 가능하도록 상기 기판의 일면에 인접 배치되고, 하중 또는 진동에 의해 이동하는 상기 자성 입자의 자속을 집속하여 길이 방향 타측에 전달하되, 길이방향 타측이 상기 기판의 일면에 대향하는 대향면에 인접하도록 기판 상에 굽힘 또는 절곡 배치되는, 자기 집속체; 및상기 기판 내에 구비되되, 상기 자기 집속체의 타측에 인접 배치되어 집속된 자속을 감지하도록 상기 대향면에 인접 배치되는 자기 센서소자를 포함하는, 자기 집속을 이용한 촉각센서
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기판의 일면에 형성되고, 상기 기판의 길이 방향을 따라 이격 배치되는 자성 입자;상기 기판 내에 구비되되, 상기 기판의 깊이 방향으로 상기 자성 입자와 이격되며, 상기 자성 입자의 자기장 감지가 가능하도록 배치되며, 하중 또는 진동에 의해 이동하는 상기 자성 입자의 자속을 집속하여 길이 방향 양측 중 어느 한 측에 전달하는, 자기 집속체;상기 기판 내에 구비되되, 상기 자기 집속체의 어느 한 측에 인접 배치되어 집속된 자속을 감지하는 자기 센서소자; 및상기 자성 입자와 이웃하는 자성 입자 사이에 배치되며, 온도 센서, 전단 하중 센서 또는 진동 센서 중 선택되는 어느 하나 이상의 센서를 포함하는, 자기 집속을 이용한 촉각센서
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제 7항에 있어서,상기 진동 센서는, 상기 온도 센서 또는 하중 센서와 근접 배치되되, 상기 기판의 깊이 방향을 따라 배치되는, 자기 집속을 이용한 촉각센서
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