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두 종류 이상의 가스를 혼합하는 가스희석장치에 있어서,입구는 폐쇄되고 출구는 개방되되 출구로 갈수록 직경이 축소되는 깔대기 형상의 몸체로 이루어지며, 상기 폐쇄된 입구의 단면 중앙부에 제1가스통로(20)가 긴밀하게 삽입 및 지지될 수 있는 제1가스통로 삽입구(11)가 형성되고, 다른 두 종류 이상의 희석가스가 유입될 수 있도록 둘 이상의 희석가스 유입구(12)가 몸체의 측면에 서로 대향하게 형성되며, 상기 각 희석가스 유입구(12)에는 희석가스가 상기 몸체의 내주면을 따라 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하여 와류를 형성할 수 있도록 상기 몸체의 중심에서 일측으로 편심되는 방향으로 희석가스 유입통로(12a)가 45도 이상 ~ 90도 이하의 각도를 가지도록 각각 연설되고, 상기 제1가스통로 삽입구와 희석가스 유입구에서 각각 유입되는 제1가스와 희석가스를 동시에 유출하는 와류챔버 출구(13)가 형성되어, 하나의 출구에서 제1가스와 제1가스 주변으로 와류를 형성하는 희석가스를 동시에 유출하는 와류챔버(10);상기 제1가스의 유입과 유출을 위한 제1가스 유입구(20a)와 제1가스 유출구(20b)를 형성하되 상기 제1가스 유출구(20b)의 단면적이 상기 제1가스 유입구(20a)의 단면적보다 작은 노즐형태의 제1가스 통로를 형성하고, 상기 와류챔버(10)의 제1가스통로 삽입구(11)에 긴밀하게 삽입 및 지지되되 상기 와류챔버(10)의 내부를 길이방향으로 관통하여 제1가스 유출구(20b)가 상기 와류챔버 출구(13)까지 대응되게 내설되어 상기 와류챔버(10) 내부에서의 제1가스의 통로를 형성하며, 상기 와류챔버 출구(13)의 내주면과 접촉되는 공간에 희석가스 통과공간(14)이 마련될 수 있도록 와류챔버 출구(13)의 내경보다 작은 직경으로 형성되는 제1가스통로(20); 및,입구는 폐쇄되고 출구는 개방되되 출구로 갈수록 직경이 축소되는 깔대기 형상의 몸체로 이루어지며, 상기 폐쇄된 입구의 단면 중앙부에 상기 와류챔버 출구(13)가 긴밀하게 삽입 및 지지될 수 있는 와류챔버 출구 삽입구(31)가 형성되고, 제1가스와 희석가스가 혼합된 가스가 유출될 수 있는 혼합챔버 출구(32)가 형성되어, 하나의 출구에서 제1가스와 제1가스 주변으로 와류를 형성하는 희석가스가 혼합된 가스를 유출하는 혼합챔버(30);로 구성되되,상기 혼합챔버(30)는,상기 혼합챔버 출구(32)의 종단면이 폐쇄되고 상기 폐쇄된 출구(32)의 종단면 중앙부에 혼합가스통로 삽입구(32a)가 형성되며, 상기 혼합가스통로 삽입구(32a)에는 혼합챔버(30)의 내부에서 혼합된 가스의 통로를 형성하는 혼합가스 통로(34)가 긴밀하게 삽입되되 상기 혼합챔버 출구(32)의 내측으로 일정 길이 만큼 내삽되고, 상기 혼합가스 통로(34)는 상기 혼합챔버 출구(32)를 통과하는 혼합 가스를 일부 분리하기 위한 우회 배기공간(33)이 상기 혼합챔버 출구(32)의 내주면과의 사이에 마련될 수 있도록 상기 혼합챔버 출구(32)의 내경보다 작은 직경으로 형성되며,상기 혼합챔버 출구(32)의 몸체 일측면에는 상기 우회 배기공간(33)에 의해 분리되는 혼합된 가스의 일부를 우회 배출하기 위한 우회 배기구(35)가 형성되고, 상기 우회 배기구(35)에는 우회 배출되는 혼합 가스의 통로를 형성하는 우회 배기통로(36)가 혼합챔버 출구(32)에 대하여 수직하게 연설되는 것을 특징으로 하는 가스희석장치
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